日韓事件持續(xù)發(fā)酵,其中對(duì)向韓國(guó)出口幾種化學(xué)材料的監(jiān)管被各大媒體報(bào)道。韓國(guó)三星電子(SAMSUNG)和SK海力士受影響程度被嚴(yán)重放大,儼然被看成是下一個(gè)“華為事件”。因?yàn)榻\(yùn)材料主要是用于芯片和智能手機(jī)生產(chǎn)。
我們知道的是,自7月1日開(kāi)始,日本加強(qiáng)了對(duì)向韓國(guó)出口材料的監(jiān)管,限制主要包括氟化聚酰亞胺,用于電視和智能手機(jī)的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)屏幕,以及用于制造半導(dǎo)體的光刻膠和氟化氫。
根據(jù)韓國(guó)國(guó)際貿(mào)易協(xié)會(huì)的數(shù)據(jù),韓國(guó)進(jìn)口的抗蝕劑占91.9%,蝕刻氣體占43.9%,日本的聚酰亞胺含量為93.7%,這意味著這些貿(mào)易限制可能會(huì)迫使韓國(guó)科技制造公司對(duì)其產(chǎn)生重大轉(zhuǎn)變。例如供應(yīng)鏈端生產(chǎn)運(yùn)行的影響。
圖1-資料來(lái)源:韓國(guó)國(guó)際貿(mào)易協(xié)會(huì)
如上(圖1)數(shù)據(jù)顯示,2019年1月~5月韓國(guó)從日本購(gòu)買了10352萬(wàn)美元的光刻膠,4400萬(wàn)美元的蝕刻氣體和1214萬(wàn)美元的氟化聚酰亞胺。
當(dāng)封禁的消息公布后,韓國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)出現(xiàn)微小震蕩。其中代表性科技企業(yè)如三星電子,LG電子等股市K線略有下滑,但后續(xù)又出現(xiàn)反彈跡象。
還有人猜測(cè)被限制的光刻膠材料對(duì)韓國(guó)三星電子和SK海力士的DRAM和NAND芯片生產(chǎn)產(chǎn)生影響,甚至影響到用于制造智能手機(jī)和電視的顯示器市場(chǎng)。那么究竟真正的影響情況是如何呢?
光刻膠,對(duì)存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)沒(méi)有影響
光致抗蝕劑是光敏聚合物,其涂覆在硅晶片上并通過(guò)光掩模用光刻系統(tǒng)(光源)圖案化以形成構(gòu)成集成電路的特定結(jié)構(gòu)。
圖2:不同類型的光刻技術(shù)在不同波長(zhǎng)下工作。
如圖2所示,EUV使用極短波長(zhǎng)為13.5nm的光源。這一點(diǎn)至關(guān)重要,因?yàn)殛P(guān)于禁運(yùn)的新聞文章忽略了日本對(duì)韓國(guó)光刻膠的禁運(yùn)只涉及EUV。然而,ArF光刻技術(shù)是三星,SK海力士(以及所有其他存儲(chǔ)器制造商)大量使用的方式,并未被禁運(yùn)所覆蓋。
根據(jù)METI條例的規(guī)定事項(xiàng),禁運(yùn)光刻膠定義如下:
(1)對(duì)于使用小于193nm且大于15nm的光波長(zhǎng)而優(yōu)化的正抗蝕劑
(2)抗蝕劑優(yōu)化使用小于15nm和超過(guò)1nm的光波長(zhǎng)
參照?qǐng)D2可知,EUV是小于193nm(ArF浸沒(méi))和小于15nm且大于1nm的。因此,禁運(yùn)抗蝕劑用于EUV光刻,而非主流193浸沒(méi)DUV光刻。
圖3說(shuō)明了IC器件發(fā)展路線圖和設(shè)備使用情況。NAND不會(huì)使用EUV,因?yàn)樗某叽缣蟛⑶也痪邆涑杀拘б妗6鳧RAM是另一回事,三星和SK海力士正在努力探索EUV的使用。
圖3
然而,涉及光刻膠的EUV將影響三星的代工業(yè)務(wù)。三星曾指出,“它已經(jīng)完成了7nm工藝技術(shù)的開(kāi)發(fā),并已開(kāi)始生產(chǎn)其革命性工藝晶圓節(jié)點(diǎn),投產(chǎn)7nm LPP(低功率Plus)工藝,并將首次應(yīng)用到EUV光刻技術(shù)?!?/p>
受此禁運(yùn)影響的的公司包括日本東京Ohka Kogyo,信越化學(xué)和JSR。
蝕刻氣體,對(duì)存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)影響最小
氟化氫主要用作清潔氣體,用于去除膜沉積后粘附在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)部的不必要的化學(xué)物質(zhì)。如上所述,它還用于等離子體蝕刻設(shè)備中,以在光刻膠圖案化之后蝕刻細(xì)槽或孔。
據(jù)悉,日本Stella Chemifa和Morita Chemical為三星和SK海力士提供高純度的氟化氫。受此次禁運(yùn)影響,韓國(guó)科技公司有可能改變從日本進(jìn)口氟化氫的渠道。例如,Stella Chemifa在***芯片代工公司TSMC(TSM)附近設(shè)有工廠。
韓國(guó)氟化氫供應(yīng)商包括Soulbrain和ENF Technology,后者擁有與Morita Chemical合資的Fem Technology 46%股權(quán)。
另外,三星和SK海力士也在考慮從中國(guó)進(jìn)口氟化氫產(chǎn)品,以取代日本供應(yīng)商,特別是純度。如圖1所示,中國(guó)向韓國(guó)供應(yīng)了46.3%的蝕刻氣體。
氟化聚酰亞胺,對(duì)三星Galaxy Fold的影響最小
透明聚酰亞胺(PI)膜是可折疊OLED的最流行的覆蓋材料。聚酰亞胺薄膜是柔軟的,因此在頂部和底部施加硬涂層以補(bǔ)償。這種結(jié)構(gòu)取代了傳統(tǒng)的不可折疊LCD和OLED智能手機(jī)的鋼化玻璃蓋(如康寧大猩猩玻璃)。
同時(shí),三星電子選擇了日本住友化學(xué)作為可折疊智能手機(jī)的透明聚酰亞胺供應(yīng)商。韓國(guó)Sumwoomo 100%子公司Dongwoo Fine-Chem將硬涂層應(yīng)用于住友的PI膜。最初爭(zhēng)奪贏得三星可折疊手機(jī)業(yè)務(wù)的是韓國(guó)Kolon Industries。
因此,來(lái)自日本的任何貿(mào)易限制對(duì)三星的影響微乎其微,原因有三:三星在科隆有一個(gè)替代來(lái)源,該公司一直在競(jìng)爭(zhēng)這項(xiàng)業(yè)務(wù);三星延遲推出Fold智能手機(jī)將使公司有時(shí)間評(píng)估其他來(lái)源;PI的替代方案正在評(píng)估中。這包括康寧(GLW)和朝日玻璃。
總結(jié):日本對(duì)韓國(guó)的材料禁運(yùn)對(duì)內(nèi)存芯片和顯示器的生產(chǎn)幾乎沒(méi)有影響。筆者認(rèn)為日本對(duì)韓國(guó)的限制可能適得其反,韓國(guó)有可能會(huì)提高向日本銷售存儲(chǔ)芯片的價(jià)格或關(guān)稅來(lái)啟動(dòng)對(duì)策,從而使全球內(nèi)存市占為第三的美光以及新生的中國(guó)存儲(chǔ)器市場(chǎng)受益。
同時(shí),這場(chǎng)貿(mào)易戰(zhàn)也是對(duì)韓國(guó)人的一次警告。他們?nèi)跣〉谋就粱?yīng)鏈無(wú)法創(chuàng)建一個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帝國(guó)。設(shè)備和材料供應(yīng)鏈一環(huán)仍是其短板之一。
需要注意一點(diǎn)的是,日韓貿(mào)易爭(zhēng)端開(kāi)啟之后,內(nèi)存芯片市場(chǎng)NAND價(jià)格卻上漲逾10%。此前多家主要內(nèi)存芯片制造商的提振措施都無(wú)法改變低迷的全球存儲(chǔ)市場(chǎng)。想想這是一件奇怪的事情。但對(duì)全球三大主要制造商三星,SK海力士和美光來(lái)說(shuō)無(wú)疑是利好信息。至少價(jià)格上來(lái)了那么一丟丟!
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