江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司文章

• 泊蘇Type E系列主動隔振器：半導體產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定守護者2025-02-05 16:49

  

  主動隔振器通過獨特減震技術提升半導體產(chǎn)業(yè)設備精度、延長壽命、提高生產(chǎn)效率與節(jié)能減排，推動產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新與發(fā)展，實現(xiàn)更高穩(wěn)定性和運行效率。、在高度精密且技術密集型的半導體產(chǎn)業(yè)中，每一個微小的波動都可能對產(chǎn)品質量和生產(chǎn)效率產(chǎn)生重大影響。作為這一領域的創(chuàng)新技術之一，泊蘇系統(tǒng)集成TypeE系列主動隔振器以其獨特的主動減震技術，成為了半導體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定運行的堅實后盾。本文將

  半導體 設備 隔振器 579瀏覽量

• 半導體設備鋼結構防震基座安裝工藝2025-02-05 16:48

  

  半導體設備鋼結構防震基座的安裝工藝‌主要包括以下幾個步驟：測量和定位‌：首先需要測量和確定安裝位置，確保支架的具體尺寸和位置符合設計要求。材料準備‌：根據(jù)測量結果準備所需的材料，包括支架、螺栓、連接件等。安裝支架‌：按照設計圖紙和規(guī)范要求進行支架的安裝。調(diào)整和固定‌：安裝完成后，進行必要的調(diào)整和固定，確保支架穩(wěn)固。驗收檢查‌：最后進行驗收檢查，確保所有安裝步

  半導體設備 基座 605瀏覽量

• 半導體設備光刻機防震基座如何安裝？2025-02-05 16:48

  

  半導體設備光刻機防震基座的安裝涉及多個關鍵步驟和考慮因素，以確保光刻機的穩(wěn)定運行和產(chǎn)品質量。首先，選擇合適的防震基座需要考慮適應工作環(huán)境。由于半導體設備通常在潔凈的環(huán)境下運行，因此選擇的搬運工具如氣墊搬運車應能提供有效的減震效果，同時不會造成污染。氣墊搬運車通過充氣形成的氣膜來實現(xiàn)平穩(wěn)移動，有效減少振動和噪音‌。安裝過程中，需要有專業(yè)的施工團隊進行安裝。專業(yè)

  光刻機 半導體設備 基座 642瀏覽量

• 半導體設備鋼結構承重平臺：堅固支撐的關鍵力量2025-02-05 16:48

  

  一、鋼結構承重平臺的重要性（一）滿足設備承重需求半導體設備通常較為沉重，對承重平臺的要求極高。例如一些先進的半導體加工設備，其重量可能達到數(shù)噸甚至更重。鋼結構承重平臺以其強大的支撐力，能夠輕松應對這種承重需求。一般來說，鋼結構承重平臺采用高強度鋼材制作，其承重能力可以根據(jù)實際需求進行設計和調(diào)整。以中順潤達鋼制平臺貨架為例，承重可達1000-3000公斤，能夠

  SMT加工設備 半導體設備 562瀏覽量

• 如何選擇適合特定半導體設備的 Type C 系列防震基座？2025-02-05 16:48

  

  1，設備重量和尺寸考量（1）首先要準確測量半導體設備的重量。TypeC系列防震基座都有其額定的承載重量范圍。如果設備過重，超過基座的承載能力，基座可能會被壓壞，減震功能也會失效；如果設備過輕，可能無法充分發(fā)揮基座的最佳減震性能。例如，對于重量在500-1000千克之間的半導體光刻機，就需要選擇承載能力在這個重量區(qū)間且有一定余量的TypeC防震基座，一般建議選

  Type C 半導體設備 基座 591瀏覽量

• 半導體設備防震基座為什么要定制？2025-02-05 16:48

  

  一、定制化的必要性1，適應不同設備需求（1)半導體設備的種類繁多，包括光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等，每種設備的尺寸、重量、重心位置以及振動敏感程度都有所不同。例如，光刻機通常對精度要求極高，其工作時的微小振動都可能影響光刻的精度，因此需要專門設計的防震基座來滿足其高精度的要求。而刻蝕機可能由于其內(nèi)部結構和工作原理的差異，對防震基座的承載能力和阻尼特性有特殊

  半導體設備 基座 480瀏覽量

• 半導體設備為什么要安裝防震裝置？2025-02-05 16:48

  

  半導體設備安裝防震裝置主要有以下幾方面原因：一、高精度加工要求1,光刻工藝(1)光刻是半導體制造的關鍵步驟，其精度要求極高。例如，在芯片制造中，光刻設備需要將電路圖案精確地投射到硅片上?，F(xiàn)代光刻技術已經(jīng)能夠實現(xiàn)幾納米甚至更小的線寬精度。如果設備受到震動，哪怕是微小的震動，都會導致光刻圖案的偏移。這種偏移可能使芯片的電路結構出現(xiàn)缺陷，進而影響芯片的性能、功能和

  半導體制造 半導體設備 裝置 488瀏覽量

• 半導體設備在安裝防震裝置需要注意哪些事項？2025-02-05 16:47

  

  1,設備特性評估(1)重量和重心分布：首先需要精確測量半導體設備的重量，因為不同的防震裝置有不同的承載能力。例如，空氣彈簧隔振器和鋼絲繩隔振器的承載能力各有差異。同時，要確定設備的重心位置，重心分布不均勻的設備在安裝防震裝置時需要特別考慮，以確保各個防震裝置能夠均勻地分擔設備重量，避免局部壓力過大而影響隔振效果。(2)震動特性：了解設備本身產(chǎn)生的震動頻率和幅

  半導體設備 裝置 震動 477瀏覽量

• 集成電路制造設備的防震標準是如何制定的？2025-02-05 16:47

  

  集成電路制造設備的防震標準制定主要涉及以下幾個方面：1,設備性能需求分析(1）精度要求：集成電路制造設備精度極高，如光刻機的光刻分辨率可達納米級別，刻蝕機需精確控制刻蝕深度、寬度等。微小震動會使設備部件產(chǎn)生位移或變形，影響加工精度，降低芯片良品率。因此，防震標準要確保設備在運行時，震動不對其精度產(chǎn)生可察覺的影響。（2）穩(wěn)定性要求：設備需長時間穩(wěn)定運行，以保證

  制造設備 半導體 集成電路 558瀏覽量

• 如何控制半導體設備防震基座制造品管部的原材料檢驗流程中的質量風險?2025-02-05 16:47

  

  在半導體設備防震基座制造中，品管部對原材料檢驗流程質量風險的控制至關重要，可從檢驗前規(guī)劃、檢驗過程把控、檢驗后處理等環(huán)節(jié)采取措施：一：檢驗前的規(guī)劃與準備1，明確質量標準：與研發(fā)、生產(chǎn)等部門共同制定詳細、明確的原材料質量標準，涵蓋物理性能、化學性質、尺寸精度等方面。如規(guī)定鋼材的硬度范圍、橡膠的彈性指標及各類材料的允許公差等，確保檢驗有清晰的依據(jù)。2，完善檢驗流

  制造 半導體設備 基座 392瀏覽量