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泊蘇 Type C 系列防震基座在半導(dǎo)體光刻加工電子束光刻設(shè)備的應(yīng)用案例2025-01-07 15:13
某大型半導(dǎo)體制造企業(yè)專(zhuān)注于高端芯片的研發(fā)與生產(chǎn)，其電子束光刻設(shè)備在芯片制造的光刻工藝中起著關(guān)鍵作用。然而，企業(yè)所在園區(qū)周邊存在眾多工廠(chǎng)，日常生產(chǎn)活動(dòng)產(chǎn)生復(fù)雜的振動(dòng)源，包括重型機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)、車(chē)輛行駛以及建筑物內(nèi)部的機(jī)電設(shè)備運(yùn)行等，這些振動(dòng)嚴(yán)重影響了電子束光刻設(shè)備的精度與穩(wěn)定性。 -
半導(dǎo)體設(shè)備光刻機(jī)防震基座在 LCD 面板制造曝光機(jī)中的成功應(yīng)用案例2024-12-24 14:43
在 LCD（Liquid Crystal Display）面板制造領(lǐng)域，曝光機(jī)是核心設(shè)備之一。它的作用是通過(guò)高精度的光刻技術(shù)，將設(shè)計(jì)好的電路圖案精確地轉(zhuǎn)移到玻璃基板上，這一過(guò)程的精度直接關(guān)系到 LCD 面板的顯示質(zhì)量和性能。