中圖儀器SuperViewW1系列白光干涉儀采用經國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據標準差）。其掃描模塊和內部抗振設計，可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，具有測量精度高、分析功能強大、使用方便、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。
SuperViewW1系列白光干涉儀可以對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、平面度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、表面缺陷、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
在大多數(shù)的場景中，只需檢測一個數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，借助中圖儀器SuperView W1白光干涉儀的自動拼接功能，就能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。
