中圖儀器3D光學檢測設備采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，其3D重建算法，自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達亞納米級別，讓3D測量變得簡單。
產(chǎn)品功能
1）中圖儀器3D光學檢測設備設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
技術參數(shù)
產(chǎn)品型號：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-100
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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產(chǎn)品特點
1、參數(shù)測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積；
2、環(huán)境噪聲檢測：實時監(jiān)測，納米波動，也無可藏匿；
3、雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；
4、自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；
5、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。
中圖儀器3D光學檢測設備讓輪廓測量價格更為實惠，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
