SuperViewW1廣東3d光學輪廓儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
優(yōu)點
一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；
二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；
三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；
四是對高深寬比的溝槽結(jié)構，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。
SuperViewW1廣東3d光學輪廓儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。其雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝?，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。
部分參數(shù)
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性：0.1nm
表面形貌重復性：0.1nm
臺階測量:重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%
在3C領域，SuperViewW1廣東3d光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，SuperView W1可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，SuperView W1可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，SuperView W1可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，SuperView W1可以測量臺階高度和表面粗糙度；
在軍事領域，SuperViewW1廣東3d光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。
深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術企業(yè)，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術積累和發(fā)展實踐，專業(yè)覆蓋面廣，專項技術能力強，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。
