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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測(cè)量?jī)x器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

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光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用

型號(hào)： SuperView W1系列

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 影像系統(tǒng) 1024×1024
  • 光學(xué)ZOOM 0.5×，（0.75×，1×可選）
  • 干涉物鏡 10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
  • XY平臺(tái) 尺寸320×200mm，行程140×110mm
  • Z軸行程 100mm，電動(dòng)
  • Z向掃描范圍 10mm
  • Z向分辨率 0.nm
  • 可測(cè)樣品反射率 0.05%-100%
  • 粗糙度RMS重復(fù)性 0.005nm
  • 臺(tái)階高測(cè)量 準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

--- 產(chǎn)品詳情 ---

如果采用接觸式輪廓儀來(lái)測(cè)量表面質(zhì)量等級(jí)非常高的玻璃和各種光學(xué)鏡片等超精密加工產(chǎn)物，會(huì)劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)測(cè)量方法沒有辦法克服“高透明度特性”。為滿足客戶需求，深圳市中圖儀器股份有限公司以白光干涉技術(shù)為基礎(chǔ)，研發(fā)生產(chǎn)出達(dá)到納米級(jí)檢測(cè)精度的SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀，主要用于樣品表面微觀形貌的檢測(cè)，能快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌圖像和數(shù)據(jù)，為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
 

產(chǎn)品參數(shù)

 

光學(xué)3D表面輪廓儀的應(yīng)用

  1.  玻璃屏檢測(cè)
    生活中智能手表、平板電腦、智能手機(jī)等產(chǎn)品中常見的玻璃屏，需要檢測(cè)其表面粗糙度和輪廓。以手機(jī)玻璃屏為例：
     
玻璃屏表面粗糙度檢測(cè)

 

2. 玻璃表面臺(tái)階檢測(cè)
透明玻璃表面鍍有一層金屬膜，膜層厚度的精度都是在納米級(jí)別的，而且因?yàn)槠浞峭该魈匦?，薄膜測(cè)厚儀測(cè)不了膜層厚度。不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺(tái)階儀，都會(huì)存在測(cè)量誤差，而SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，測(cè)量精度達(dá)到亞納米級(jí)，能對(duì)膜層厚度進(jìn)行一鍵測(cè)量。

 

儀器軟件對(duì)兩臺(tái)階高的檢測(cè)

 

3. 光學(xué)透鏡檢測(cè)
球面透鏡在可見光領(lǐng)域是一種基礎(chǔ)光學(xué)器件，其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響，中圖儀器SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀可以對(duì)這兩項(xiàng)參數(shù)同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)。

某型號(hào)雙膠合透鏡的曲率半徑和表面粗糙度檢測(cè)

 

SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡，因而可直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過(guò)重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

 

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