中圖激光干涉儀通用長度測量工具sj6000利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
產品功能
（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。
動態(tài)測量應用
基于時間的動態(tài)測量
機器運動控制性能評價：
1.運動控制器PID控制參數測試與設置
2.高速運動后機器的穩(wěn)定性測試與評價
3.高性能運動控制器的微小步幅的測試
振動監(jiān)視
1.掃描應用：用于定位精度不重要，但恒速對實現高質量成像非常關鍵的場合
2.機床應用：典型應用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運動的高質量表面精加工
振動頻率分析
1.被測對象的振動頻率分析
2.FFT快速傅立葉變換分析
基于距離的動態(tài)測量
基于距離的動態(tài)測量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶間隔進行數據采集。
提供脈沖觸發(fā)方式采集
CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運動軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照間隔位置進行數據采集。
產品特點
1、使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)；
2、以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級；
3、使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s；
4、配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；
5、分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變。
在機床領域中的應用
中圖激光干涉儀通用長度測量工具sj6000是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點，在機床加工領域有著廣泛的應用。
1.測量機床導軌的直線度和平行度。
導軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導后續(xù)的優(yōu)化和調整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過中圖激光干涉儀通用長度測量工具sj6000測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時進行調整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。
3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。
機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求，從而為后續(xù)的機床調整和校準提供依據。
4.其它
除了上述應用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況，及時發(fā)現機床的故障和異常狀態(tài)，保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。
對數控機床進行螺距誤差補償
部分技術規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項：
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
