--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖白光干涉儀粗糙度儀用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品功能
1)中圖白光干涉儀粗糙度儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
應(yīng)用范例:

中圖白光干涉儀粗糙度儀以白光干涉技術(shù)原理,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。比如測量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度,測量材料的磨損性能(通過白光干涉儀測量磨損輪廓和粗糙度)。
結(jié)果組成
1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;
6、微電子表面分析和MEMS表征。

粗糙度分析操作步驟:
1. 將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
2. 將夾具放置在載物臺上;
3. 檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
4. 使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5. 完成掃描設(shè)置和命名等操作;
6. 點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);
7. 進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“去除外形",采用默認(rèn)參數(shù),點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8. 進(jìn)入分析工具模塊,點(diǎn)擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),增刪參數(shù)類型;
9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
10. 進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面"圖標(biāo),選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提??;
11. 進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“參數(shù)分析"圖標(biāo),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
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