WD4000無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)自動測量 Wafer 厚度 、表面粗糙度 、三維形貌 、單層膜厚 、多層膜厚 。使用光譜共焦對射技術(shù)測量晶圓 Thickness 、TTV 、LTV 、BOW 、WARP 、TIR 、SORI 等參數(shù)， 同時生成 Mapping 圖； 采用白光干涉測量技術(shù)對 Wafer 表面進(jìn)行非接觸式掃描同時建立表面 3D 層析圖像， 顯示 2D 剖面圖和 3D 立體彩色視圖， 高效分析表面形貌 、粗糙度及相關(guān) 3D 參數(shù)； 基于白光干涉圖的 光譜分析儀， 通過數(shù)值七點相移算法計算， 達(dá)到亞納米分辨率測量表面的局部高度， 實現(xiàn)膜厚測量功能； 紅外傳感器發(fā)出的探測光在 Wafer不同表面反射并形成干涉， 由此計算出兩表面間的距離（即厚度）， 可 適用于測量 Bonding Wafer 的多層厚度 。該傳感器可用于測量不同材料的厚度， 包括碳化硅 、藍(lán)寶石 、氮化鎵 、硅等。
WD4000無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于襯底制造 、 晶圓制造 、及封裝工藝檢測 、3C 電子玻璃 屏及其精密配件、光學(xué)加工 、顯示面板 、MEMS 器件等超精密加工行業(yè) 。可測各類包括從光滑到粗糙 、低 反射率到高反射率的物體表面， 從納米到微米級別工件的厚度 、粗糙度 、平整度 、微觀幾何輪廓 、曲率等， 提供依據(jù) SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT 四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計 300 余種 2D 、3D 參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、非接觸厚度 、三維維納形貌一體測量
WD4000無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)集成厚度測量模組和三維形貌 、粗糙度測量模組， 使用一臺機器便可完成厚度 、TTV 、LTV、
BOW 、 WARP 、粗糙度 、及三維形貌的測量。
2、高精度厚度測量技術(shù)
采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對 Wafer 進(jìn)行高效掃描 。
搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤， 晶圓規(guī)格最大可支持至 12 寸 。
采 用 Mapping 跟隨技術(shù)， 可編程包含多點 、 線 、 面的自動測量 。
3、高精度三維形貌測量技術(shù)
采用光學(xué)白光干涉技術(shù) 、精密 Z 向掃描模塊和高精度 3D 重建算法，Z 向分辨率高可到 0. 1nm；
隔振設(shè)計降低地面振動和空氣聲波振動噪聲， 獲得高測量重復(fù)性 。
機器視覺技術(shù)檢測圖像 Mark 點， 虛擬夾具擺正樣品， 可對多點形貌進(jìn)行自動化連續(xù)測量 。
4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺
大行程龍門結(jié)構(gòu) (400x400 x75mm)， 移動速度 500mm/s。
高精度花崗巖基座和橫梁， 整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定 、 可靠 。
關(guān)鍵運動機構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引 、AC 伺服直驅(qū)電機驅(qū)動， 搭配分辨率 0. 1μm 的光柵
系統(tǒng)， 保證設(shè)備的高精度 、 高效率 。
5、操作簡單 、輕松無憂
集 成 XYZ 三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄， 可快速完成載物臺平移 、 Z 向聚焦等測量前
準(zhǔn)工作。
具備雙重防撞設(shè)計， 避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況 。
具備電動物鏡切換功能， 讓觀察變得快速和簡單 。
應(yīng)用場景
1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量
通過非接觸測量，將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建，強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。
2、無圖晶圓粗糙度測量
Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像，用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片，細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次測量數(shù)據(jù)計算重復(fù)性為0.046987nm，測量穩(wěn)定性良好。
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
部分技術(shù)規(guī)格
型號 | WD4200 |
厚度和翹曲度測量系統(tǒng) | |
可測材料 | 砷化鎵 、氮化鎵 、磷化 鎵、鍺、磷化銦、鈮 酸 鋰 、藍(lán)寶石 、硅 、碳化 硅 、玻璃等 |
| 測量范圍 | 150μm~2000μm |
| 測量參數(shù) | 厚度、TTV(總體厚度變 化) 、LTV 、BOW、WARP 、平面度、線粗糙度 |
三維顯微形貌測量系統(tǒng) | |
| 測量原理 | 白光干涉 |
| 測量視場 | 0.96mm×0.96mm |
| 可測樣品反射率 | 0.05%~ 100% |
| 測量參數(shù) | 顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大 類300余種參數(shù) |
系統(tǒng)規(guī)格 | |
| 晶圓尺寸 | 4" 、6" 、8" 、 12" |
| 晶圓載臺 | 防靜電鏤空真空吸盤載臺 |
| X/Y/Z工作臺行程 | 400mm/400mm/75mm |
| 工作臺負(fù)載 | ≤5kg |
| 外形尺寸 | 1500× 1500×2000mm |
| 總重量 | 約 2000kg |
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