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摘要：闡述了一種新型的HE-NE激光位移傳感器，具有自校準功能以及沒有原理上的誤差。利用頻率分裂技術(shù)，將一個縱模間隔分為4個寬度相等的區(qū)間，在這4個區(qū)間內(nèi)激光器具有不同的光功率輸出。當一個頻率移動過這樣的一個區(qū)間，相當于激光器的一個腔鏡移動了X/8可移動的反射鏡與被測工件相連。這樣，一支HE-NE激光器變成了一個不用干涉現(xiàn)象的位移傳感器，其測量范圍可達10MM,測量精度可達0.079UM并具有判向的功能。
關(guān)鍵詞：頻率分裂? 位移測量與傳感? HE-NE激光? 縱模間隔
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