隨著近代光學(xué)、電子學(xué)的發(fā)展和各種新穎光源（激光、紅外光等）相繼出現(xiàn)，電磁波測(cè)距技術(shù)得到迅速的發(fā)展，出現(xiàn)了以激光、紅外光和其他光源為載波的光電測(cè)距儀和以微波為載波的微波測(cè)距儀。因?yàn)楣獠ê臀⒉ň鶎儆陔姶挪ǖ姆懂?，故它們又統(tǒng)稱為電磁波測(cè)距儀。

　　由于光電測(cè)距儀不斷地向自動(dòng)化、數(shù)字化和小型輕便化方向發(fā)展，大大地減輕了測(cè)量工作者的勞動(dòng)強(qiáng)度，加快了工作速度，所以在工程控制網(wǎng)和各種工程測(cè)量中，多使用各種類型的光電測(cè)距儀。

　光電測(cè)距儀按儀器測(cè)程大體分三大類：

　?。?）短程光電測(cè)距儀：測(cè)程在 3km 以內(nèi)，測(cè)距精度一般在 lcm 左右。這種儀器可用來測(cè)量三等以下的三角鎖網(wǎng)的起始邊，以及相應(yīng)等級(jí)的精密導(dǎo)線和三邊網(wǎng)的邊長(zhǎng)，適用于工程測(cè)量和礦山測(cè)量。這類測(cè)程的儀器很多，如瑞士的 ME3000，精度可達(dá)±（0.2mm+0.5 ×10-6 D ）；DM 502、 DI3S、DI4，瑞典的 AGA-112、AGA-116，美國(guó)的 HP3820A，英國(guó)的 CD6，日本的 RED2，SDM3E，原西德的 ELTA 2，ELDI2 等，精度均可達(dá)±（5mm+5×10-6 D ）；原東德的 EOT 2000，我國(guó)的 HGC-1、DCH-2、DCH3、DCH-05 等。

　　短程光電測(cè)距儀，多采用砷化鎵（GaAs 或 GaAlAs）發(fā)光二極管作為光源（發(fā)出紅外熒光），少數(shù)儀器也用氦-氖（He-Ne）氣體激光器作為光源。砷化鎵發(fā)光二極管是一種能直接發(fā)射調(diào)制光的器件，即通過改變砷化鎵發(fā)光二極管的電流密度來改變其發(fā)射的光強(qiáng)。