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真空技術廣泛應用于當今的工業(yè)體系，尤其在半導體工業(yè)中不可或缺，可以毫不夸張地說，半導體工業(yè)就是建立在真空環(huán)境下的一門物理、化學相結合的工業(yè)。大連理工大學半導體集成電路實驗室擁有多臺集成電路加工設備，在這些半導體加工設備中，都是采用真空傳感器來完成真空度的測量。這些真空傳感器都是進口產品，廠家只能提供給半導體設備供應商而不能直接出售給學校，當設備過了保修期之后，大學本身是很難購買到設備上所用的傳感器產品，非常不方便設備維護與維修‘-陽。所以高校實驗室的工作人員，有必要開發(fā)自主知識產權的真空傳感器。經過多年的開發(fā)，本文已經成功利用標準CMOS 工藝開發(fā)了皮拉尼真空傳感器系統(tǒng)，量程可以覆蓋10-～10-1 Pa，可以對腔室的真空度進行測試。自制實驗設備不僅彌補了市售產品的限制，同時也培養(yǎng)和鍛煉了高校實驗技術人員隊伍，充實了產學研的合作內容，是雙師型教師培養(yǎng)的重要途徑。
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工商網監(jiān)
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