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1、引言微波移相器是相控陣?yán)走_(dá)、衛(wèi)星通信、移動通信設(shè)備中的核心組件，它的工作頻帶、插入損耗直接影響著這些設(shè)備的抗干擾能力和靈敏度，以及系統(tǒng)的重量、體積和成本，因此研究寬帶、低插損的移相器在軍事上和民用衛(wèi)星通信領(lǐng)域具有重要的意義。近年來，隨著RF MEMS開關(guān)的研究不斷取得進(jìn)展，使MEMS開關(guān)替代傳統(tǒng)的鐵氧體開關(guān)、p-i-n二極管、FET，設(shè)計制造寬帶、低插損RF MEMS移相器成為可能。因此采用MEMS微波開關(guān)技術(shù)的單片集成RF MEMS移相器，具有較低的插入損耗、寬帶寬、小體積的特點，是實現(xiàn)上萬單元相控陣天線的關(guān)鍵技術(shù)，對衛(wèi)星組網(wǎng)技術(shù)、戰(zhàn)術(shù)、戰(zhàn)略偵察、制導(dǎo)均有重要意義。
2、發(fā)展現(xiàn)狀
由于相控陣?yán)走_(dá)、衛(wèi)星通信等領(lǐng)域應(yīng)用的需要，RF MEMS移相器在國際上有眾多的研究者，工作頻段從幾GHz到上百GHz，采用的結(jié)構(gòu)有DMTL型、開關(guān)線型和反射型。
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