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針對(duì)傳統(tǒng)的擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)的溫度控制精度、生產(chǎn)工藝控制能力等較低的現(xiàn)狀,提出了一種以PLC 為核心的擴(kuò)散爐智能控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)將模糊控制算法引入傳統(tǒng)的擴(kuò)散爐控制系統(tǒng),利用模糊控制規(guī)則自適應(yīng)地在線對(duì)量化因子進(jìn)行修改。應(yīng)用結(jié)果表明:該系統(tǒng)有效地實(shí)現(xiàn)了對(duì)多工位擴(kuò)散爐溫度工藝曲線和輔助工藝的自動(dòng)控制,提高了溫度控制精度以及工作效率。

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