8～12 英寸先進(jìn)封裝技術(shù)專用勻膠設(shè)備
沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司研制的8～12 英寸先進(jìn)封裝技術(shù)專用勻膠設(shè)備獲得“2007
年中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”獎，其中12 英寸（×300mm）晶圓先進(jìn)封裝設(shè)備，于2007年7 月在我國五大先進(jìn)封裝測試廠之一的江陰長電先進(jìn)封裝有限公司通過嚴(yán)格的工藝檢測驗收，成功投入生產(chǎn)使用。實現(xiàn)了國產(chǎn)首臺IC 裝備在晶圓尺寸和新工藝應(yīng)用上的重大突破。由中科院沈陽自動化所投資興辦的沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司是躋身于集成電路裝
備行業(yè)的后起之秀。公司成立于2002 年底，幾年來，通過廣泛的國際合作加快了自主知識產(chǎn)權(quán)的IC 裝備研發(fā)進(jìn)程，目前已申請與技術(shù)產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)專利45 項，其中發(fā)明專利19 項，已授權(quán)實用新型專利11 項、軟件著作權(quán)1 項。芯源公司在引進(jìn)國際先進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上，消化吸收，創(chuàng)新提高，在勻膠顯影整體技術(shù)和單元技術(shù)創(chuàng)新改進(jìn)方面取得了多項關(guān)鍵技術(shù)突破，成功實現(xiàn)了技術(shù)的跨越式發(fā)展,使我國在集成電路制造領(lǐng)域的勻膠顯影技術(shù)提升了三個產(chǎn)品代，與國際最先進(jìn)技術(shù)的差距縮短了15 年。