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為實(shí)現(xiàn)微隔振平臺(tái)的自適應(yīng)控制，設(shè)計(jì)了具有驅(qū)動(dòng)和傳感功能的第三代壓電致動(dòng)器，針對(duì)其直接應(yīng)用于微隔振系統(tǒng)隔振效果不是很理想的現(xiàn)狀，從理論上分析了導(dǎo)致結(jié)果不理想的原因，提出一種改進(jìn)方法，通過理論建模分析和試驗(yàn)研究，結(jié)果表明：該方法雖然降低了致動(dòng)器位移增益，但具有較好的隔振效果。
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