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半導(dǎo)體光電位置傳感器PSD( Position Sensitive Device) 是一種基于橫向光電效應(yīng)的光電位
置敏感探測(cè)器。它是一種新型的半導(dǎo)體位置敏感探測(cè)器,除了具有光電二極管陣列和CCD 定位性能外,還具有靈敏度高、分辯率高、響應(yīng)速度快和電路配置簡(jiǎn)單等特點(diǎn)。因而逐漸被人們所重視。PSD 的發(fā)展趨勢(shì)是高分辨率、高線(xiàn)性度、快響應(yīng)速度及信號(hào)采集處理等多功能集成。PSD 可用于精密尺寸、三維空間位置和角度的測(cè)量,是近程(10m 以?xún)?nèi)) 實(shí)時(shí)測(cè)量飛行器位置和距離的極佳器件,如空中加油機(jī)等空間飛行器對(duì)接中可精確提供目標(biāo)的相對(duì)位置、距離及角度姿態(tài);空間光通信中位置誤差信號(hào)的提取等。隨著光電子技術(shù)和MEMS 技術(shù)的結(jié)合,集成PSD 器件系統(tǒng)的應(yīng)用將更加廣泛。
置敏感探測(cè)器。它是一種新型的半導(dǎo)體位置敏感探測(cè)器,除了具有光電二極管陣列和CCD 定位性能外,還具有靈敏度高、分辯率高、響應(yīng)速度快和電路配置簡(jiǎn)單等特點(diǎn)。因而逐漸被人們所重視。PSD 的發(fā)展趨勢(shì)是高分辨率、高線(xiàn)性度、快響應(yīng)速度及信號(hào)采集處理等多功能集成。PSD 可用于精密尺寸、三維空間位置和角度的測(cè)量,是近程(10m 以?xún)?nèi)) 實(shí)時(shí)測(cè)量飛行器位置和距離的極佳器件,如空中加油機(jī)等空間飛行器對(duì)接中可精確提供目標(biāo)的相對(duì)位置、距離及角度姿態(tài);空間光通信中位置誤差信號(hào)的提取等。隨著光電子技術(shù)和MEMS 技術(shù)的結(jié)合,集成PSD 器件系統(tǒng)的應(yīng)用將更加廣泛。
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