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微型慣性測量組合是對六維慣性參量進行集成的微型慣性測量組合器件，它采用mems的設(shè)計方法和加工工藝、微封裝工藝等多種先進的工藝手段，將多軸加速度檢測與多軸角速度檢測集成在一起，具有結(jié)構(gòu)堅固、體積小、重量輕、能耗低、響應(yīng)快等優(yōu)點。正是由于這種器件具有這些突出優(yōu)點，使它成為常規(guī)武器智能化和實現(xiàn)自尋的的關(guān)鍵，同時也是新型戰(zhàn)術(shù)武器、防空反導武器中必不可少的重要制導慣性部件。另外，該項技術(shù)還可應(yīng)用于汽車安全、超精密制造、以及智能家電等領(lǐng)域慣性參數(shù)檢測，具有重要的經(jīng)濟和社會價值。
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