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標(biāo)簽 > 微機電系統(tǒng)
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統(tǒng)。
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MEMS全稱Micro Electromechanical System,微機電系統(tǒng)。是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米...
2016-12-27 標(biāo)簽:半導(dǎo)體MEMS微機電系統(tǒng) 24.4萬 1
可能大部分對MEMS還是比較陌生,但其實MEMS在生活中早已無處不在了,智能手機、手環(huán)、汽車、無人機、VR/AR頭戴式設(shè)備等,都應(yīng)用了MEMS器件。
2018-07-15 標(biāo)簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 2.3萬 0
MEMS芯片(微電子機械系統(tǒng)芯片)是一種新型的集成芯片,也可以被稱為微機電系統(tǒng)芯片(Micro-electromechanical System Chi...
采用ADXL345實現(xiàn)功能全面的計步器設(shè)計
計步器是一種頗受歡迎的日常鍛煉進度.,可以激勵人們挑戰(zhàn)自己,增強體質(zhì),幫助瘦身。早期設(shè)計利用加重的機械開關(guān)檢測步伐,并帶有一個簡單的計數(shù)器?;蝿舆@些裝置...
2019-02-06 標(biāo)簽:傳感器微機電系統(tǒng)ADXL345 2.0萬 0
源自微電子,MEMS制造的優(yōu)勢在于批處理。就像其它任何產(chǎn)品,MEMS器件規(guī)模量產(chǎn)加大了它的經(jīng)濟效益。如同集成電路制造,MEMS制造中光刻方法往往最具成本...
2019-08-29 標(biāo)簽:微機電系統(tǒng) 1.0萬 0
MEMS與IC集成工藝介紹 NEMS器件在IC 中的應(yīng)用
現(xiàn)在微機電系統(tǒng)已經(jīng)遠遠超越了“機”和“電”的概念, 將處理熱、光、磁、化學(xué)、生物等結(jié)構(gòu)和器件通過微電子工藝及其他一些微加工工藝制造在芯片上, 并通過與...
2018-05-03 標(biāo)簽:cmosnems微機電系統(tǒng) 1.0萬 0
什么是MEMS傳感器?mems傳感器的組成和應(yīng)用分類有哪些?
傳感器發(fā)展到今天,小型化、智能化、集成化,已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天,我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品 MEMS傳感器。 什么是MEM...
2017-11-24 標(biāo)簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 1.0萬 0
設(shè)備由MEMS領(lǐng)域應(yīng)用轉(zhuǎn)化到3D集成技術(shù)領(lǐng)域,表現(xiàn)出高對準(zhǔn)精度特點。大多數(shù)對準(zhǔn)、鍵合工藝都源于微機電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù),但應(yīng)用于3D集成的對準(zhǔn)精度...
如何借助高均勻性的 SOI 優(yōu)化襯底在 MEMS 中實現(xiàn)多種設(shè)計創(chuàng)新?
微機電系統(tǒng) (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 是迄今最具潛力的 CMOS 傳感器與驅(qū)動器電子器件集成解決...
2022-04-21 標(biāo)簽:MEMS傳感器微機電系統(tǒng)SOI 5970 0
MEMS傳感器的原理和構(gòu)造深入解讀 MEMS電容式傳感器MEMS壓阻式加速度計
? MEMS傳感器是當(dāng)今最熱門的傳感器種類,MEMS技術(shù)使傳感器微型化、低功耗、集成化成為可能,是未來傳感器技術(shù)的發(fā)展方向之一。 ? 本文編譯自傳感器寶...
重力傳感器(G-sensor)原理與應(yīng)用立即下載
類別:傳感器技術(shù)論文 2011-09-06 標(biāo)簽:微機電系統(tǒng)重力傳感器G-sensor 6758 4
微機電系統(tǒng)(MEMS)慣性傳感器的設(shè)計及其實用方法的介紹立即下載
類別:傳感與控制 2017-10-23 標(biāo)簽:mems慣性傳感器微機電系統(tǒng) 1472 0
類別:通信網(wǎng)絡(luò) 2018-06-12 標(biāo)簽:傳感器WSN微機電系統(tǒng) 1354 1
AN2344 - 采用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的Microchip振蕩器和時鐘立即下載
類別:機電一體化技術(shù)論文 2018-03-21 標(biāo)簽:振蕩器微機電系統(tǒng) 1258 0
類別:嵌入式開發(fā) 2014-10-27 標(biāo)簽:MEMS微機電系統(tǒng)Kalman濾波 1221 1
類別:機電一體化技術(shù)論文 2018-01-24 標(biāo)簽:微機電系統(tǒng) 1135 0
類別:測試測量論文 2017-09-08 標(biāo)簽:微機電系統(tǒng)安培型免疫傳感器 975 0
微機電系統(tǒng)在個人和消費電子領(lǐng)域的應(yīng)用立即下載
類別:電源技術(shù) 2017-08-10 標(biāo)簽:傳感器消費電子微機電系統(tǒng) 944 0
新型微機電系統(tǒng)實現(xiàn)智能手機的光學(xué)變焦能力立即下載
類別:傳感與控制 2017-10-26 標(biāo)簽:微機電系統(tǒng)光學(xué)變焦 923 0
類別:汽車電子 2017-11-22 標(biāo)簽:汽車安全聲波微機電系統(tǒng) 917 0
傳統(tǒng)傳感器的唯一替代:MEMS產(chǎn)業(yè)鏈一覽
微機電系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical System)是指尺寸在幾毫米乃至更小的傳感器裝置,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,是一...
2016-11-29 標(biāo)簽:傳感器MEMS微機電系統(tǒng) 3.7萬 0
陽極鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于MEMS器件的制備過程中
1969年,美國的Wallis和Pomerantz兩位研究人員首次提出了陽極鍵合技術(shù),其鍵合方法如圖1所示。陽極鍵合目前在硅片與玻璃鍵合中得到了較為廣泛...
2020-06-17 標(biāo)簽:壓力傳感器微機電系統(tǒng)MEMS器件 1.4萬 0
MEMS發(fā)展迅速,Yole Development預(yù)計2023年市場規(guī)模超300億美元
MEMS 產(chǎn)業(yè)鏈一般由芯片設(shè)計企業(yè)、晶圓制造廠商、封裝測試廠商和終端應(yīng)用企業(yè)構(gòu)成,芯片設(shè)計企業(yè)專注于 MEMS 芯片及其產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的設(shè)計,完成設(shè)計后交由第...
2020-11-10 標(biāo)簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 1.4萬 0
低成本聚合物微流控芯片加工領(lǐng)域的最新技術(shù)和成果
微流控技術(shù)最初源自于微機電系統(tǒng)(micro-electromechanical system, MEMS)在微量流體操控方面的研究,形成于20世紀(jì)90年...
2019-05-27 標(biāo)簽:傳感器微流控芯片微機電系統(tǒng) 9156 0
MEMS電容式加速度傳感器(簡介) MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域,與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、...
2020-04-16 標(biāo)簽:mems電容式微機電系統(tǒng) 7612 0
微機電設(shè)備的尺寸通常在20微米到一毫米之間,它們內(nèi)部通常包含一個微處理器和若干獲取外界信息的微型傳感器。
2020-03-07 標(biāo)簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 7142 0
國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)狀是怎樣的?這些MEMS企業(yè)實力幾何?
MEMS被認為是21世紀(jì)最有前途的技術(shù)之一,如果半導(dǎo)體微制造被視為第一次微制造革命,MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù),ME...
2020-08-25 標(biāo)簽:mems微機電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈 5299 0
USound推基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的對患者安全的揚聲器
為個人設(shè)備和可穿戴技術(shù)開發(fā)微機電系統(tǒng)(MEMS)揚聲器的全球性公司USound宣布進軍健康科技行業(yè),將推出完全適用于磁共振成像兼容耳機和配件的MEMS揚...
2022-04-06 標(biāo)簽:mems揚聲器微機電系統(tǒng) 4858 0
成熟的供應(yīng)鏈以及設(shè)計和制造基礎(chǔ)設(shè)施,結(jié)合成功的商業(yè)化背景和更廣闊的市場需求,為MEMS領(lǐng)域的初創(chuàng)公司提供了一個充滿活力的發(fā)展環(huán)境。
2019-04-16 標(biāo)簽:IEEE微機電系統(tǒng) 4781 0
微機電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械...
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機電系統(tǒng) 4742 0
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