用磷酸揭示氮化硅對(duì)二氧化硅的選擇性蝕刻機(jī)理

關(guān)鍵詞:氮化硅，二氧化硅，磷酸，選擇性蝕刻，密度泛函理論，焦磷酸 介紹 信息技術(shù)給我們的現(xiàn)代社會(huì)帶來了巨大的轉(zhuǎn)變。為了提高信息技術(shù)器件的存儲(chǔ)密度，我們?nèi)A...

2021-12-28 標(biāo)簽：半導(dǎo)體蝕刻氮化硅 7718 0

中國第3代半導(dǎo)體半導(dǎo)體理想封裝材料——高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板突破“卡脖子”難題

2022年9月，威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司生產(chǎn)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板已經(jīng)達(dá)到量產(chǎn)規(guī)模，高導(dǎo)熱...

2022-11-11 標(biāo)簽：半導(dǎo)體封裝材料陶瓷基板 6168 0

碳化硅和碳氮化硅薄膜的沉積方法

本文提供了在襯底表面上沉積碳化硅薄膜的方法。這些方法包括使用氣相碳硅烷前體，并且可以釆用等離子體增強(qiáng)原子層沉積工藝。該方法可以在低于600“C的溫度下進(jìn)...

2022-02-15 標(biāo)簽：面板設(shè)備碳化硅 4330 0

簡(jiǎn)析新型氮化硅光子集成電路實(shí)現(xiàn)極低的光學(xué)損耗

據(jù)報(bào)道，光子集成電路（PIC）通常采用硅襯底，大自然中有豐富的硅原料，硅的光學(xué)性能也很好。但是，基于硅材料的光子集成電路無法實(shí)現(xiàn)所需的各項(xiàng)功能，因此出現(xiàn)...

2021-05-07 標(biāo)簽：芯片激光器氮化硅 3548 0

了解一下氮化硅陶瓷基板究竟有哪些特點(diǎn)？

眾所周知，半導(dǎo)體器件運(yùn)行產(chǎn)生時(shí)的熱量是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件失效的關(guān)鍵因素，而電絕緣基板的導(dǎo)熱性是整個(gè)半導(dǎo)體器件散熱最為關(guān)鍵的。此外，由于顛簸、振動(dòng)等復(fù)雜的機(jī)械...

2022-10-07 標(biāo)簽：電路板分立元件基板 2410 0

氮化硅陶瓷基板的市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)和未來前景

氮化硅基板是一種新型的材料，具有高功率密度、高轉(zhuǎn)換效率、高溫性能和高速度等特點(diǎn)。這使得氮化硅線路板有著廣泛的應(yīng)用前景和市場(chǎng)需求，正因?yàn)槿绱怂估ìF(xiàn)正全力...

2023-04-11 標(biāo)簽：led陶瓷基板氮化硅 2340 0

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板邂逅碳化硅功率模塊，國產(chǎn)新能源汽車開啟性能狂飆模式

新能源電動(dòng)汽車爆發(fā)式增長(zhǎng)的勢(shì)頭不可阻擋，氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊，對(duì)提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、充電速度、輕量化、電池成本等各項(xiàng)性能尤為重要。

2023-05-02 標(biāo)簽：新能源汽車半導(dǎo)體功率模塊 2288 0

氮化硅與氮化鋁陶瓷基板究竟有何區(qū)別？

隨著電子器件特別是第三代半導(dǎo)體的興起和應(yīng)用，半導(dǎo)體器件越來越小型化、集成化、多功能化，對(duì)襯底封裝性能提出了更高的要求。陶瓷基板具有高導(dǎo)熱性和耐熱性、低熱...

2022-12-09 標(biāo)簽：陶瓷基板氮化硅 2244 0

氮化硅薄膜的特性及制備方法

氮化硅（Si?N?）薄膜是一種高性能介質(zhì)材料，在集成電路制造領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。作為非晶態(tài)絕緣體，氮化硅薄膜不僅介電特性優(yōu)于傳統(tǒng)的二氧化硅，還具備對(duì)...

2024-11-29 標(biāo)簽：薄膜PECVD氮化硅 2223 0

介質(zhì)超構(gòu)表面的CMOS兼容制備工藝的進(jìn)展

超構(gòu)表面為納米光子器件賦予了更高的自由度與靈活度，使實(shí)用的微納米光子器件的實(shí)現(xiàn)成為可能。

2023-07-27 標(biāo)簽：帶通濾波器光刻機(jī)CMOS技術(shù) 2145 0

石英坩堝和石墨坩堝升級(jí)換代 可重復(fù)利用的高熱導(dǎo)氮化硅陶瓷坩堝5項(xiàng)優(yōu)勢(shì)助力我國單晶硅行業(yè)提質(zhì)增效

石英坩堝和石墨坩堝升級(jí)換代? 可重復(fù)利用的高熱導(dǎo)氮化硅陶瓷坩堝5項(xiàng)優(yōu)勢(shì)助力我國單晶硅行業(yè)提質(zhì)增效 石英坩堝在單晶硅行業(yè)的應(yīng)用 目前，國內(nèi)拉制半導(dǎo)體單晶硅...

2022-12-14 標(biāo)簽：半導(dǎo)體單晶硅氮化硅 2064 0

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊，提升新能源汽車性能優(yōu)勢(shì)

國產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊，提升新能源汽車加速度、續(xù)航里程、輕量化、充電速度、電池成本5項(xiàng)性能優(yōu)勢(shì)

2023-03-15 標(biāo)簽：新能源汽車SiC功率模塊 1973 0