掃描電鏡在微納加工中的應用

本文是A. N. BROERS關于掃描電鏡在微納加工中應用的研究回顧，重點記錄了他從1960年代開始參與電子束加工技術(shù)開發(fā)的歷程。文章詳細記錄了EBL技...

2025-06-20 標簽：過濾器電子束光刻技術(shù) 174 0

晶圓表面缺陷類型和測量方法

在半導體制造領域，晶圓堪稱核心基石，其表面質(zhì)量直接關乎芯片的性能、可靠性與良品率。

2025-05-29 標簽：半導體晶圓電子束 717 0

電子束對Low-K材料有什么影響

指介電常數(shù)較低的材料。這種材料廣泛運用于集成電路中，可以減少漏電電流、降低導線之間的電容效應，并減少集成電路的發(fā)熱問題? ，在高頻基板和高速電路設計中尤...

2025-05-27 標簽：集成電路材料fib 264 0

什么是透射電子顯微鏡？

透射電子顯微鏡透射電子顯微鏡（簡稱透射電鏡）是一種利用加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，通過電子與樣品原子的碰撞產(chǎn)生立體角散射來成像的儀器。散射角...

2025-05-23 標簽：電子束電子顯微鏡透射電子顯微鏡 221 0

帶你了解什么是透射電鏡？

透射電鏡的工作原理透射電鏡是基于電子束與超薄樣品相互作用。它利用電子加速槍產(chǎn)生高能電子束，經(jīng)過電磁透鏡聚焦和準直后照射到超薄樣品上。樣品中不同區(qū)域的原子...

2025-05-19 標簽：電磁電子束透射電鏡 339 0

電子顯微鏡中的磁透鏡設計

十九世紀末，科學家首次觀察到軸對稱磁場對陰極射線示波器中電子束產(chǎn)生的聚焦作用，這種效應與光學透鏡對可見光的聚焦作用驚人地相似。基于此，Ruska等人在1...

2025-05-15 標簽：示波器光源電子束 1024 0

一文詳解電子束光刻技術(shù)

本文系統(tǒng)梳理了直寫式、多電子束與投影式EBL的關鍵技術(shù)路徑，涵蓋掃描策略、束流整形、鄰近效應校正與系統(tǒng)集成等方面，并探討其在精度、效率與成本間的技術(shù)矛盾...

2025-04-30 標簽：工藝光刻電子束 1038 0

FIB-SEM雙束系統(tǒng)：多領域應用的前沿技術(shù)

系統(tǒng)構(gòu)成與工作原理FIB-SEM雙束系統(tǒng)是一種集微區(qū)成像、加工、分析、操縱于一體的綜合型分析與表征設備。其基本構(gòu)成是將單束聚焦離子束系統(tǒng)與掃描電子顯微鏡...

2025-03-28 標簽：SEMfib電子束 323 0

半導體材料介紹 | 光刻膠及生產(chǎn)工藝重點企業(yè)

光刻膠（Photoresist）又稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增...

2025-03-18 標簽：半導體材料電子束光刻膠 948 0

SEM是掃描電鏡嗎？

SEM是掃描電鏡，英文全稱為ScanningElectronMicroscope。以下是關于掃描電鏡的一些基本信息：1、工作原理：掃描電鏡是一種利用電子...

2025-02-24 標簽：SEM電子束掃描電鏡 556 0

桌面式掃描電鏡是什么？

桌面式掃描電鏡是掃描電子顯微鏡的一種類型，它在結(jié)構(gòu)設計、功能特點等方面都有自身獨特之處，以下從其定義、原理、特點、應用場景等方面進行具體介紹：1、定義與...

2025-02-12 標簽：電子束電子顯微鏡掃描電鏡 553 0

材料的哪些性質(zhì)會影響掃描電鏡下的成像效果？

材料的物理和化學等諸多性質(zhì)都會影響掃描電鏡下的成像效果，以下是具體介紹：1、物理性質(zhì)（1）導電性：-對于導電性良好的材料，如金屬，電子束轟擊材料表面產(chǎn)生...

2025-02-12 標簽：測量材料電子束掃描電鏡 544 0

全面解析電子背散射衍射技術(shù)：原理、應用與未來趨勢

EBSD技術(shù)概述電子背散射衍射（EBSD）是一種尖端的材料分析技術(shù)，它依托于高能電子與材料表面晶體結(jié)構(gòu)的交互作用，通過捕捉和解析由此產(chǎn)生的背散射電子的衍...

2025-01-24 標簽：晶體測量電子束 524 0

一文帶你讀懂EBSD

電子背散射衍射（ElectronBackscatterDiffraction，簡稱EBSD）技術(shù)是一種基于掃描電子顯微鏡（SEM）的顯微分析技術(shù)，它能夠...

2025-01-14 標簽：SEM顯微鏡電子束 1188 0

透射電子顯微鏡（TEM）快速入門：原理與操作指南

無法被清晰地觀察。為了解決這一問題，科學家們開始探索使用波長更短的光源來提高顯微鏡的分辨率。1932年，德國科學家恩斯特·魯斯卡（ErnstRuska）...

2025-01-09 標簽：顯微鏡電子束TEM 1641 0

泊蘇 Type C 系列防震基座在半導體光刻加工電子束光刻設備的應用案例

某大型半導體制造企業(yè)專注于高端芯片的研發(fā)與生產(chǎn)，其電子束光刻設備在芯片制造的光刻工藝中起著關鍵作用。然而，企業(yè)所在園區(qū)周邊存在眾多工廠，日常生產(chǎn)活動產(chǎn)生...

2025-01-07 標簽：半導體電子束光刻設備 764 0

獲得良好的衍射圖譜的前提是制備出優(yōu)質(zhì)的EBSD樣品

電子背散射衍射技術(shù)（EBSD）在材料科學領域，電子背散射衍射技術(shù)（EBSD）自20世紀90年代末期以來，已經(jīng)成為一種創(chuàng)新且不可或缺的分析工具。EBSD技...

2025-01-03 標簽：SEM電子束電子顯微鏡 505 0

電子顯微鏡下的納米世界

在當今時代，納米科學因其在眾多行業(yè)中引發(fā)的變革性應用，已然成為促進人類文明向前發(fā)展的重要驅(qū)動力。無論是在生物醫(yī)學、能源存儲還是航空宇宙領域，納米技術(shù)都展...

2025-01-02 標簽：SEM電子束電子顯微鏡 461 0

FIB系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及其實際應用

雙束技術(shù)：FIB與SEM的協(xié)同工作雙束聚焦離子束顯微鏡的關鍵在于其雙束技術(shù)，離子束（FIB）用于樣品的精確切割和蝕刻，而電子束（SEM）則捕捉樣品的高分...

2024-12-30 標簽：SEMfib電子束 581 0

如何操作才能使樣品在掃描電鏡中清晰成像？

要使樣品在掃描電鏡中清晰成像，需要注意以下操作要點：1、樣品制備-清潔處理：確保樣品表面沒有灰塵、油污和其他雜質(zhì)。比如對于金屬樣品，可以使用有機溶劑（如...

2024-12-25 標簽：電子束掃描電鏡 1228 0