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標(biāo)簽 > mems
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、±400g微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),以2560Hz...
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、3軸微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計(jì),在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...
傾角計(jì)是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機(jī),從保障安全的工程機(jī)械到預(yù)警地質(zhì)災(zāi)害的系統(tǒng),都能看到它的身影。MEMS傾角...
2025-06-20 標(biāo)簽:mems工業(yè)自動(dòng)化傾角計(jì) 66 0
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),具有可選...
在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機(jī)將...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),采用An...
鉆井與測井作業(yè)對定向和井眼軌跡控制要求較高,傳統(tǒng)光纖陀螺儀和磁性測斜儀體積大、抗干擾能力弱、成本高。MEMS陀螺儀憑借其微型化、高可靠性和環(huán)境適應(yīng)性,成...
應(yīng)用場景MEMS傳感器在打氣泵中的應(yīng)用主要集中在壓力監(jiān)測和流量控制方面。通過集成MEMS壓力傳感器和流量傳感器,打氣泵可以實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)的氣壓控制和流量調(diào)節(jié)...
高精度六軸MEMS運(yùn)動(dòng)跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計(jì)
ADIS16470微型MEMS慣性測量單元(IMU)英文手冊立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
這款微型MEMS IMU如何做到戰(zhàn)術(shù)級測量?
在無人機(jī)、機(jī)器人、無人車輛等智能設(shè)備快速發(fā)展的今天,高精度姿態(tài)測量和穩(wěn)定控制成為核心需求。然而,傳統(tǒng)慣性測量單元(IMU)往往面臨體積大、重量重、環(huán)境適...
助推國產(chǎn)MEMS聲學(xué)傳感器邁向世界,華芯邦賦能消費(fèi)電子升級
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))聲學(xué)麥克風(fēng)是采用微型化設(shè)計(jì),通過電容式傳感技術(shù)將聲波信號精準(zhǔn)轉(zhuǎn)化為電信號。主要分為模擬信號MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字信號MEMS麥克風(fēng),...
MEMS IMU為什么能在嚴(yán)苛環(huán)境中實(shí)現(xiàn)高精度測量?
在無人機(jī)、自動(dòng)駕駛和衛(wèi)星通信等領(lǐng)域,高精度慣性測量單元是核心組件,但傳統(tǒng)慣性測量單元往往面臨體積大、重量重、環(huán)境適應(yīng)性差等痛點(diǎn)。ERICCO的ER-MI...
瑞之辰:全金屬封裝+MEMS傳感技術(shù)雙輪驅(qū)動(dòng)重塑格局
上至宇宙的航天器,下至地下管網(wǎng),傳感器,已經(jīng)滲透進(jìn)生活的每個(gè)角落。傳感器正在全球范圍內(nèi),為各產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級不斷提振活力。然而,當(dāng)一臺咖啡機(jī)的壓力傳感器因溫...
MEMS技術(shù)如何在小巧體積內(nèi)實(shí)現(xiàn)抗磁高精度測量? ——微型化與抗干擾的定向測量突破
ER-MNS-09的特點(diǎn)及性能優(yōu)勢
2025-06-26 標(biāo)簽:MEMS 95 0
MEMS 組合導(dǎo)航系統(tǒng)如何做到持續(xù)高精導(dǎo)航?
如何在控制成本的前提下,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜環(huán)境下的持續(xù)高精度導(dǎo)航? ER-GNSS/MINS-03 MEMS組合導(dǎo)航系統(tǒng),正憑借以下三大技術(shù)突破,重新定義性價(jià)比與...
國產(chǎn)MEMS聲學(xué)傳感器微型化趨勢,華芯邦核心技術(shù)突破助力“中國智造”
MEMS麥克風(fēng)元件集成芯片市場長期被英飛凌、樓氏等國際企業(yè)壟斷。近年來國產(chǎn)廠商快速崛起,如深圳市華芯邦科技有限公司2014年切入傳感器研發(fā)已形成溫濕度、...
2025-06-25 標(biāo)簽:mems聲學(xué)傳感器 118 0
Melexis壓力傳感器技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域
在科技飛速發(fā)展的今天,壓力傳感器技術(shù)正悄然改變著我們的生活與工作方式。今天,就帶大家深入了解壓力傳感器技術(shù)及其在多領(lǐng)域的精彩應(yīng)用。
我國著名MEMS晶圓代工廠芯聯(lián)集成并購重組項(xiàng)目過會(huì) 欲收購芯聯(lián)越州
6月23日晚,芯聯(lián)集成電路制造股份有限公司(以下簡稱“芯聯(lián)集成”)公告稱,公司發(fā)行股份及支付現(xiàn)金購買芯聯(lián)越州集成電路制造(紹興)有限公司(以下簡稱“芯聯(lián)...
2025-06-25 標(biāo)簽:mems晶圓代工廠芯聯(lián)集成 232 0
瑞之辰多樣化MEMS傳感器,打造工業(yè)級智能打氣泵解決方案
在智能制造2025戰(zhàn)略推動(dòng)下,中國工業(yè)裝備領(lǐng)域正迎來傳感器技術(shù)升級的“黃金窗口期”。深圳市瑞之辰科技有限公司依托自主MEMS核心技術(shù)矩陣,推出面向智能打...
型號 | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊 | 參考價(jià)格 |
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MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價(jià)格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價(jià)格
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