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聚焦離子束(FIB)技術:半導體量產(chǎn)中的高精度利器
技術原理與背景聚焦離子束(FIB)技術是一種先進的納米加工和分析工具。其基本原理是在電場和磁場作用下,將離子束聚焦到亞微米甚至納米量級,通過偏轉(zhuǎn)和加速系...
聚焦離子束(FIB)技術在納米科技里很重要,它在材料科學、微納加工和微觀分析等方面用處很多。離子源:FIB的核心部件離子源是FIB系統(tǒng)的關鍵部分,液態(tài)金...
2025-04-11 標簽:fib掃描系統(tǒng)離子束 221 0
聚焦離子束雙束系統(tǒng) FIB - SEM 的技術剖析與應用拓展
技術原理與核心優(yōu)勢聚焦離子束雙束系統(tǒng)(FIB-SEM)是一種集成多種先進技術的高端設備,其核心構(gòu)成包括聚焦離子束(FIB)模塊、掃描電子顯微鏡(SEM)...
系統(tǒng)構(gòu)成與工作原理FIB-SEM雙束系統(tǒng)是一種集微區(qū)成像、加工、分析、操縱于一體的綜合型分析與表征設備。其基本構(gòu)成是將單束聚焦離子束系統(tǒng)與掃描電子顯微鏡...
聚焦離子束技術的崛起近年來,F(xiàn)IB技術憑借其獨特的優(yōu)勢,結(jié)合掃描電鏡(SEM)等高倍數(shù)電子顯微鏡的實時觀察功能,迅速成為納米級分析與制造的主流方法。它在...
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