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統(tǒng)及原理雙束聚焦離子束系統(tǒng)可簡單地理解為是單束聚焦離子束和普通SEM之間的耦合。單束聚焦離子束系統(tǒng)包括離子源,離子光學柱,束描畫系統(tǒng),信號采集系統(tǒng),樣品...
聚焦離子束雙束系統(tǒng) FIB - SEM 的技術剖析與應用拓展
技術原理與核心優(yōu)勢聚焦離子束雙束系統(tǒng)(FIB-SEM)是一種集成多種先進技術的高端設備,其核心構(gòu)成包括聚焦離子束(FIB)模塊、掃描電子顯微鏡(SEM)...
系統(tǒng)構(gòu)成與工作原理FIB-SEM雙束系統(tǒng)是一種集微區(qū)成像、加工、分析、操縱于一體的綜合型分析與表征設備。其基本構(gòu)成是將單束聚焦離子束系統(tǒng)與掃描電子顯微鏡...
聚焦離子束技術的崛起近年來,F(xiàn)IB技術憑借其獨特的優(yōu)勢,結(jié)合掃描電鏡(SEM)等高倍數(shù)電子顯微鏡的實時觀察功能,迅速成為納米級分析與制造的主流方法。它在...
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