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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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關(guān)于ADI新型RF MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)的基本知識(shí)
p>ADI MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù),是開(kāi)關(guān)解決方案發(fā)展史上的一次革命,可以滿足RF儀器儀表和測(cè)試系統(tǒng)的需要,瞄準(zhǔn)的是繼電器替代需求。2016年國(guó)際電子展嵌入式...
當(dāng)外界環(huán)境溫度變化時(shí), MEMS芯片上的硅烷偶聯(lián)劑與硅膠表面結(jié)合發(fā)生化學(xué)反應(yīng),使硅烷的化學(xué)性質(zhì)也隨之發(fā)生變化,當(dāng)此變化超過(guò)硅烷的臨界值時(shí),將引起硅烷偶聯(lián)...
視頻分享的新世界中,微型投影儀任何時(shí)間和地點(diǎn)都可使用。一些創(chuàng)新的應(yīng)用,例如虛擬鍵盤(pán),舞臺(tái)上虛擬人物、看手上的血管、汽車(chē)前擋風(fēng)玻璃上的地圖等。投影主要有三...
細(xì)數(shù)加速度傳感器的7大應(yīng)用場(chǎng)景
加速度傳感器有兩種:一種是角加速度傳感器,是由陀螺儀改進(jìn)過(guò)來(lái)的。另一種就是線加速度傳感器。它也可以按測(cè)量軸分為單軸、雙軸和三軸加速度傳感器。
基于MEMS姿態(tài)傳感器主要用于載體姿態(tài)的調(diào)整和傾角的檢測(cè),但是由于工作環(huán)境溫度的改變,就會(huì)導(dǎo)致測(cè)量精度的變化,在一些高精度檢測(cè)的要求下,則失去其檢測(cè)的效...
MEMS封裝技術(shù)主要源于IC封裝技術(shù)。IC封裝技術(shù)的發(fā)展歷程和水平代表了整個(gè)封裝技術(shù)(包括MEMS封裝和光電子器件封裝)的發(fā)展歷程及水平。MEMS中的許...
使用MEMS傳感器進(jìn)行振動(dòng)監(jiān)測(cè)
振動(dòng)監(jiān)測(cè) (VM) 已經(jīng)問(wèn)世很長(zhǎng)一段時(shí)間,并且已被用于監(jiān)測(cè)機(jī)器、設(shè)備或結(jié)構(gòu)的健康狀況。在機(jī)器運(yùn)行過(guò)程中,可以利用專(zhuān)用傳感器收集其振動(dòng)數(shù)據(jù)以對(duì)其進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)...
2022-03-24 標(biāo)簽:傳感器mems電動(dòng)機(jī) 5389 0
技術(shù)探究:微流控芯片技術(shù)為什么這樣強(qiáng)悍?
微流控芯片采用類(lèi)似半導(dǎo)體的微機(jī)電加工技術(shù)在芯片上構(gòu)建微流路系統(tǒng),將實(shí)驗(yàn)與分析過(guò)程轉(zhuǎn)載到由彼此聯(lián)系的路徑和液相小室組成的芯片結(jié)構(gòu)上,加載生物樣品和反應(yīng)液后...
英屬哥倫比亞大學(xué)研究員開(kāi)發(fā)了聚合物基MEMS技術(shù)
據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,為了使醫(yī)療市場(chǎng)上超聲波換能器更便宜,研究人員開(kāi)發(fā)了聚合物基MEMS技術(shù)!
淺析MEMS開(kāi)關(guān)在電路上的應(yīng)用
微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)一直被標(biāo)榜為性能有限的機(jī)電繼電器的出色替代器件,因?yàn)樗子谑褂?,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GH...
微機(jī)械干簧開(kāi)關(guān)的MEMS解決方案
微型干簧開(kāi)關(guān)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了各種各樣的應(yīng)用,要求高可靠性,小尺寸和低成本。簡(jiǎn)單地說(shuō),微機(jī)械加工技術(shù)是利用半導(dǎo)體制造設(shè)備以創(chuàng)造微機(jī)械的方式為特定目的服務(wù)的系統(tǒng)。...
MEMS麥克風(fēng)技術(shù)滿足音量市場(chǎng)的性能要求
MEMS麥克風(fēng)含一個(gè)可移動(dòng)的膜片和靜態(tài)背板,采用常見(jiàn)的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔,允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設(shè)計(jì)是為...
2017-08-30 標(biāo)簽:傳感器mems語(yǔ)音識(shí)別 5317 0
為何說(shuō)MEMS傳感器在結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)中決定性作用
可用于測(cè)量?jī)A斜度變化、振動(dòng)分析以及線性或圓周運(yùn)動(dòng)——即使在極端條件下也能測(cè)量。通過(guò)此類(lèi)傳感器可以執(zhí)行預(yù)測(cè)性維護(hù),更好地利用可用資源并幫助避免服務(wù)故障和中斷。
應(yīng)用領(lǐng)域超廣的mems技術(shù)是什么來(lái)頭?這篇文章講得夠詳細(xì)
什么是MEMS? 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱(chēng)為微系統(tǒng)技術(shù),或在日本被稱(chēng)為微機(jī)械,是一類(lèi)器件,其特點(diǎn)是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征...
2017-12-15 標(biāo)簽:mems 5302 0
固態(tài)激光雷達(dá)的研發(fā)及生產(chǎn)解決方案
最近幾年,自動(dòng)駕駛成為人們關(guān)注的焦點(diǎn),許多諸如谷歌、百度等企業(yè)家都不遺余力地發(fā)展自動(dòng)駕駛,以期能夠?qū)崿F(xiàn)這項(xiàng)造福人類(lèi)的技術(shù)。
應(yīng)用高級(jí)傳感器和算法進(jìn)行低成本運(yùn)動(dòng)跟蹤
高性能運(yùn)動(dòng)跟蹤技術(shù)已經(jīng)從深?yuàn)W的軍事、航空電子設(shè)備、海洋和工業(yè)應(yīng)用遷移到不斷擴(kuò)大的消費(fèi)應(yīng)用范圍。盡管如此,將高性能運(yùn)動(dòng)跟蹤引入消費(fèi)市場(chǎng)通常會(huì)迫使設(shè)計(jì)人員協(xié)...
這款最新類(lèi)型的MEMS加速度計(jì)具有低噪聲、高工作頻率性能,針對(duì)條件監(jiān)測(cè)可實(shí)現(xiàn)全新的產(chǎn)品設(shè)計(jì)。MEMS加速度計(jì)采用單電源工作,具有穩(wěn)定的靈敏度、抗沖擊、低...
壓電微機(jī)械超聲換能器(PMUT)設(shè)計(jì)
近年來(lái),基于MEMS的超聲換能器技術(shù)一直處于快速發(fā)展和增長(zhǎng)階段,廣泛應(yīng)用于醫(yī)療陣列成像、手勢(shì)識(shí)別、內(nèi)窺成像、指紋識(shí)別等領(lǐng)域。
了解相比基于VCM的傳統(tǒng)方法,該光學(xué)圖像穩(wěn)定(OIS)解決方案如何提供更快穩(wěn)定性、更高精度和更低功耗。
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