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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅(qū)動或摩擦的作用下,殘余電荷會集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器設(shè)計
硅薄膜式測風(fēng)傳感器的設(shè)計示意圖如圖1所示。薄膜式風(fēng)速風(fēng)向傳感器主要是利用風(fēng)吹薄膜對薄膜產(chǎn)生風(fēng)壓,風(fēng)壓導(dǎo)致薄膜形變,薄膜上的應(yīng)變電阻就會感應(yīng)到薄膜的形變。...
TowerJazz和Crocus合作量產(chǎn)TMR磁傳感器
據(jù)麥姆斯咨詢報道,TowerJazz和TMR磁傳感器技術(shù)及嵌入式MRAM(磁隨機存儲器)領(lǐng)先開發(fā)商Crocus公司,近日共同宣布雙方將利用TowerJa...
SiTime推出MEMS參考時鐘支持新物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市場部執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia指出:“SiTime獨到的時序產(chǎn)品致力于為最嚴峻挑戰(zhàn)的設(shè)計提供解決方案。伴隨著物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,...
2018-02-02 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng)sitime 6181 0
日立新型MEMS加速度計比商用MEMS加速度計靈敏度跟高,且功耗降低50%
日立通過在MEMS質(zhì)量塊上制作貫通孔來降低空氣阻力,并且貫通孔的直徑在上層和下層之間是變化的。上層為電極部分,下層為重量較大的運動層。上述方法可將空氣阻...
干法刻蝕解決RIE中無法得到高深寬比結(jié)構(gòu)或陡直壁問題
在 MEMS 制造工藝中,常用的干法刻蝕包括反應(yīng)離子刻蝕 (Reactive lon Etching, RIE)、深反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reacti...
醫(yī)學(xué)傳感器技術(shù)把握了現(xiàn)代健康設(shè)備的脈動
在更接近患者的傳感器層面,MEMS、納米技術(shù)、超低功耗傳感器、無線充電和新通信協(xié)議的持續(xù)發(fā)展都會產(chǎn)生重大影響。此外,醫(yī)療設(shè)備設(shè)計人員正在關(guān)注傳感器融合和...
由于MEMS開關(guān)是采用半導(dǎo)體制造工藝制成的,因此它們采用表面安裝之類的封裝技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)極小的外形尺寸。采用已有的批量制造技術(shù),并且積極改進工藝從而在產(chǎn)量...
“要保證動車組高速平穩(wěn)行駛,首先要由加速度傳感器對來自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應(yīng)力進行實時監(jiān)測,并將電信號傳輸給列車指揮系統(tǒng)?!北本┙煌ù髮W(xué)教授...
Piezoelectricity這詞來源于希臘語piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國物理學(xué)家(Pierre,Paul-Jacques Cu...
硅與MEMS振蕩器正在加入到高度分化的振蕩器市場中石英晶體與陶瓷諧振器的行列。選擇正確的應(yīng)用器件不需要水晶球,不過一些相關(guān)事實會有所幫助。
應(yīng)用與音頻設(shè)計的MEMS麥克風(fēng)技術(shù)介紹
使用CMOS技術(shù)還可以在同一芯片上實現(xiàn)標準接口,增加集成度并降低系統(tǒng)功耗,因為芯片到芯片的連接和整體材料清單都很少。隨著可靠性的提高,這些因素促使該技術(shù)...
意法半導(dǎo)體推出的9軸運動位置傳感器LSM9DS1模塊介紹
意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬產(chǎn)品、MEMS及傳感器產(chǎn)品事業(yè)總經(jīng)理Benedetto Vigna表示:“這款高性能9軸微型模塊基于我們最新的MEMS技術(shù),讓...
2019-10-04 標簽:mems意法半導(dǎo)體位置傳感器 5852 0
應(yīng)用利用加速度傳感器的信號判斷手機的狀態(tài)是平放,還是有一定角度?顯示屏是向上還是向下?
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