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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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全部技術資訊資料帖子視頻產(chǎn)品方案企業(yè) 數(shù)據(jù)手冊

mems技術

一文帶你深入了解機械耐用、功耗低的MEMS開關

解決大問題需要開創(chuàng)性的技術。機電繼電器早在電報問世之初就已存在，但沒有其他替代的開關技術可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務、醫(yī)療保健...

2017-09-01 標簽：mems 機電繼電器 7192 0

MEMS超聲波換能器為何是現(xiàn)在進入大眾市場？

解釋上述時間因素主要有四點。首先，市場應用正在推動MEMS超聲波換能器發(fā)展。由于更便宜且更小的探頭誕生，醫(yī)療超聲波成像將實現(xiàn)平民化，全科醫(yī)生甚至家庭都可...

2018-10-09 標簽：mems 超聲波換能器 7189 0

Micralyne即將推出下一代小型化低功耗氣體傳感器的MEMS技術平臺

據(jù)麥姆斯咨詢報道，MEMS代工廠Micralyne展示了用于開發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術平臺——標準的硅工藝技術和工藝模塊。

2017-10-16 標簽：mems 氣體傳感器 7158 0

Blickfeld基于MEMS微鏡的固態(tài)LiDAR

據(jù)麥姆斯咨詢報道，位于德國慕尼黑的LiDAR（激光雷達）創(chuàng)業(yè)公司Blickfeld近日宣布將其種子輪融資提高到了1000萬美元，包括OSRAM（歐司朗）...

2018-09-06 標簽：傳感器 MEMS LiDAR 7124 0

陀螺儀機械性能：最重要的參數(shù)

選擇陀螺儀是基于最大誤差源最小化的有意義的——在大多數(shù)應用中，這將是振動靈敏度。其他參數(shù)可以通過校準或平均多個傳感器輕松增強。偏置穩(wěn)定性是誤差預算中較小...

2023-01-29 標簽：傳感器 mems 陀螺儀 7120 0

【器件篇】MEMS氣體傳感器基礎知識詳解

許多氣體傳感器的工作原理是通過將氣體分子吸附到金屬氧化物（MOS）元件的表面，吸附的氣體分子與這種金屬氧化物表面相互作用，

2023-12-15 標簽：mems 氣體傳感器 MOS 7089 0

淺析MEMS傳感器在汽車上的應用

。在汽車領域，MEMS壓力傳感器營業(yè)收入2013年預計達到12.6億美元，占當年總體產(chǎn)業(yè)營業(yè)收入的74%。

2018-08-09 標簽：傳感器 MEMS 7030 0

陀螺儀是什么？陀螺儀工作原理

因為ST選用了音叉方法設計陀螺儀，其差分特性使系統(tǒng)本身對作用在傳感器上的無用線性加速度和雜亂振動的敏感度低于市場上現(xiàn)有的其它類型陀螺儀。當這些無用的信號...

2023-10-08 標簽：mems 陀螺儀角速度傳感器 6978 0

MEMS的概念和特點_MEMS的發(fā)展歷程和全球格局

2020年6月2日，上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市委員會審議通過蘇州敏芯微電子技術股份有限公司發(fā)行上市申請。

2020-08-31 標簽：MEMS MEMS技術 6952 0

監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中MEMS振動傳感器的構建

監(jiān)控工業(yè)系統(tǒng)中的振動可以提供有關設備健康狀況的寶貴數(shù)據(jù)，并可以節(jié)省成本的先發(fā)制人的維護，但是有許多不同的方法來構建這樣的系統(tǒng)?？梢允褂煤唵蔚膲弘娬駝觽鞲?..

2019-03-14 標簽：傳感器 mems 監(jiān)控 6931 0

基于MEMS工藝實現(xiàn)簡易快速地制備不同的微陣列結(jié)構

當前以MEMS為基礎的細胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術在基底上構建微尺度的圖形結(jié)構，并通過物理化學修飾對表面進行改性，使得細胞在特定區(qū)...

2018-01-25 標簽：mems 微陣列 6892 0

SPI至RS-485/RS-422設計解決方案的詳細物理層設計注意事項

為MEMS實現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而，當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口（如SPI）時，以及...

2022-12-21 標簽：mems emc 加速度計 6858 0

犧牲層技術大致包含哪幾個步驟

犧牲層技術自20世紀80 年代美國加州大學伯克利分校開發(fā)至今，得到了快速發(fā)展。犧牲層技術是 MEMS 工藝設計中有別于傳統(tǒng)IC制造工藝技術之一

2022-10-25 標簽：多晶硅 mems 壓力傳感器 6822 0

X射線光刻（X-ray lithography）技術是什么意思

X射線光刻（X-ray lithography）技術是電子工業(yè)中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉(zhuǎn)移光敏光刻膠上。然后進行一系列化學...

2022-12-28 標簽：光電子 mems 加速器 6780 0

國際首臺機載激光三維強度關聯(lián)遙感試驗樣機研制成功

“十三五”期間，該技術有望在新體制車載激光三維成像雷達自動駕駛等相關領域進行成果轉(zhuǎn)化。

2017-10-16 標簽：激光 mems 遙感 6771 0

使用 MEMS 射頻開關解決高級無線應用的設計和集成問題

在千兆赫以上頻段的射頻設計，以及建立模型和 S 參數(shù)用于仿真時，合適的評估板是必要的設計工具，因為不存在完美的模型，也不可能抓住實際設計中所有瑣碎細節(jié)

2019-08-30 標簽：射頻 mems 無線 6686 0

一文解析MEMS和傳感器封裝的挑戰(zhàn)

MEMS和傳感器設備推動了物聯(lián)網(wǎng)（IoT）在電子技術的眾多應用中部署數(shù)十億個傳感器，這將改善我們周圍的世界并改善人類狀況。

2021-04-29 標簽：傳感器 mems 傳感器系統(tǒng) 6672 0

一文讀懂CMP拋光墊

在現(xiàn)代工業(yè)中，表面加工是至關重要的一環(huán)。為了達到所需的表面粗糙度、光潔度和平整度等要求，往往需要進行拋光處理。

2023-06-08 標簽：半導體 mems 晶體管 6658 0

MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應用

壓力傳感器有多種不同的應用，其中最常見的應用是氣象監(jiān)測。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里！是的，在你的手機里就有一個。你的手機使用壓...

2018-11-28 標簽：mems 物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 6626 0

反射式MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應用

可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無源器件,本內(nèi)容詳細介紹了MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應用。

2012-12-11 標簽：MEMS 光通信 VOA 6615 0

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IoT是Internet of Things的縮寫，字面翻譯是“物體組成的因特網(wǎng)”，準確的翻譯應該為“物聯(lián)網(wǎng)”。物聯(lián)網(wǎng)（Internet of Things）又稱傳感網(wǎng)，簡要講就是互聯(lián)網(wǎng)從人向物的延伸。
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MPU-6000（6050）為全球首例整合性6軸運動處理組件，相較于多組件方案，免除了組合陀螺儀與加速器時間軸之差的問題，減少了大量的封裝空間。
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