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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS光開關(guān)簡介 MEMS光開關(guān)控制的基本工作原理
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))是指將微型機(jī)械、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路等集于一體的可批量...
2018-05-19 標(biāo)簽:mems光開關(guān)開關(guān)控制 8370 1
作為20世紀(jì)最偉大的發(fā)明之一,激光器已經(jīng)走過了50多年,飛秒量級(jí)的激光脈沖在20世紀(jì)70年代首先在染料激光器中實(shí)現(xiàn)。
由于MEMS傳感器測量的外部信號(hào)不同,不同類型的MEMS傳感器技術(shù)差異較大。MEMS慣性傳感器主要檢測物體的運(yùn)動(dòng),需要將傳感器安裝在載體上用于檢測載體的...
自動(dòng)駕駛技術(shù)IMU的基礎(chǔ)知識(shí)和應(yīng)用場景
我們經(jīng)常會(huì)看到DOF,自由度的概念, 今天我們就從DOF開始進(jìn)一步理解IMU的基礎(chǔ)知識(shí)和應(yīng)用場景。
2019-06-01 標(biāo)簽:MEMSIMU自動(dòng)駕駛 8207 0
許多MEMS 驅(qū)動(dòng)器都是利用靜電力作用驅(qū)動(dòng)力。在很多微型電動(dòng)機(jī)和制動(dòng)器的設(shè)計(jì)工作中,準(zhǔn)確的估算靜電力大小是非常重要的。
2022-12-13 標(biāo)簽:傳感器驅(qū)動(dòng)器mems 8100 0
顧杰斌團(tuán)隊(duì)研發(fā)的MEMS-Casting?技術(shù)實(shí)現(xiàn)了MEMS和鑄造的完美結(jié)合
MEMS技術(shù)與鑄造的結(jié)合,緣自它們之間的一個(gè)共通點(diǎn):兩者都是機(jī)械部件制造技術(shù),區(qū)別在于尺度上存在幾個(gè)數(shù)量級(jí)差異。相對(duì)于其他機(jī)械加工方法,例如車,銑,拋等...
隨著我們對(duì)音頻無反應(yīng)項(xiàng)目的日益復(fù)雜,我們可能決定用提供自動(dòng)增益控制的麥克風(fēng)代替簡單的MEMS麥克風(fēng)加放大器。 這是我以前與MSGEQ7相關(guān)的文章的后續(xù)文...
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件,針對(duì)定制IC、AMS和MEMS設(shè)計(jì)
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件是一套針對(duì)定制集成電路(IC)、模擬/混合信號(hào)(AMS)和MEMS設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。對(duì)物聯(lián)網(wǎng)(IoT)...
基本平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)中MEMS IMU頻率響應(yīng)分析
無人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺(tái),
MEMS麥克風(fēng)的內(nèi)部組成及應(yīng)用優(yōu)勢分析
MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng)) 麥克風(fēng)是基于MEMS技術(shù)制造的麥克風(fēng),簡單的說就是一個(gè)電容器集成在微硅晶片上,使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC,...
TU Wien開發(fā)一款硅基MEMS電場測量傳感器 其優(yōu)勢是干擾正在測量的電場
MEMS電場傳感器的測量原理“目前用于測量電場強(qiáng)度的設(shè)備具有一些顯著的缺陷,” TU Wien傳感器和執(zhí)行器系統(tǒng)研究院的Andreas Kainz解釋稱...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結(jié)構(gòu)在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結(jié)構(gòu)部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
2022-10-13 標(biāo)簽:mems芯片設(shè)計(jì)微機(jī)械 7916 0
微流控技術(shù)是下一代醫(yī)療診斷顛覆性技術(shù),聚合物的微加工方法
然而對(duì)于微尺度結(jié)構(gòu)的加工,尤其是高深寬比結(jié)構(gòu)的填充,注塑成型通常做的不如熱壓成型填充率高,對(duì)于微結(jié)構(gòu)的填充最有效的辦法是使用變模溫注塑技術(shù),即在一個(gè)循環(huán)...
基于3D MEMS OXC的基本結(jié)構(gòu)與應(yīng)用范圍分析
實(shí)現(xiàn)OXC的第二種技術(shù)方案是基于MEMS微鏡陣列的Cross-Bar光開關(guān),日本東京大學(xué)的H. Toshiyoshi和H. Fujita于1996年報(bào)道...
機(jī)械光開關(guān)和MEMS光開關(guān)的工作原理及應(yīng)用對(duì)比
光開關(guān)具有一個(gè)或多個(gè)可選擇的傳輸窗口,可分為2×2,1×N,M×N多種端口配置形式。光開關(guān)在光纖通信系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用,其實(shí)現(xiàn)技術(shù)多種多樣,包括:機(jī)械...
MEMS 麥克風(fēng)技術(shù)簡介 — 模擬麥克風(fēng)與數(shù)字麥克風(fēng)
MEMS硅麥克風(fēng)廣泛應(yīng)用于手機(jī)、助聽器、智能揚(yáng)聲器、計(jì)算機(jī)和車輛等各個(gè)領(lǐng)域。了解它們的工作原理、用途和可用內(nèi)容的基礎(chǔ)知識(shí)。 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)使用最...
線性度有時(shí)被視為靈敏度的子集。把它單獨(dú)提出是有原因的。如果舉一個(gè)機(jī)器人性能與靈敏度和線性度的關(guān)系的示例,可能更有說服力。這一點(diǎn)務(wù)必請注意,因?yàn)槿绻徺I線...
基于MEMS加速度計(jì)的振動(dòng)監(jiān)控解決方案
MEMS加速度計(jì)終于達(dá)到了能夠測量廣泛機(jī)器平臺(tái)振動(dòng)的階段。其最近的能力進(jìn)步,加上MEMS加速度計(jì)已有的相對(duì)于傳統(tǒng)振動(dòng)傳感器的諸多優(yōu)勢(尺寸、重量、成本、...
受益于LED技術(shù)的廣泛應(yīng)用,汽車照明市場將以超預(yù)期的增長速度在2022年增長至359億美元
LED技術(shù)過去僅在高端汽車使用,并且需要和鹵素?zé)?、氙氣燈等傳統(tǒng)光源競爭。LED改進(jìn)的性能、更低的功耗以及靈活的設(shè)計(jì),是其贏得競爭的主要優(yōu)勢。另外,降低的...
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