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標(biāo)簽 > mems
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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單晶硅是最先嘗試使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化學(xué)惰性和熱穩(wěn)定性,而且硅的微細(xì)加工技術(shù)已趨成熟。即使復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu),也可用整體和表面微加工技術(shù)進(jìn)...
基于MEMS麥克風(fēng)陣列的四通道語(yǔ)音采集系統(tǒng)設(shè)計(jì)
單個(gè)孤立麥克風(fēng)作為傳統(tǒng)的語(yǔ)音拾取工具,在噪聲處理、聲源定位和跟蹤,語(yǔ)音增強(qiáng)等方面存在不足,在噪聲環(huán)境下會(huì)嚴(yán)重影響語(yǔ)音質(zhì)量。一些文章探討了多通道麥克風(fēng)的降...
2015-07-02 標(biāo)簽:DSPmemsMEMS麥克風(fēng) 1.2萬(wàn) 0
波束成形陣列若包含多個(gè) MEMS 麥克風(fēng),則可以通過(guò)增強(qiáng)某一方向的聲音并衰減其他方向的聲音來(lái)克服這一問(wèn)題。該方法將麥克風(fēng)信號(hào)疊加,借由延遲插入、放大和濾...
導(dǎo)航和AHRS系統(tǒng)、機(jī)器健康狀況檢測(cè)的振動(dòng)監(jiān)控、基礎(chǔ)設(shè)施的結(jié)構(gòu)健康狀況監(jiān)控和平臺(tái)穩(wěn)定、井下定向鉆探的傾斜監(jiān)控、施工行業(yè)平路機(jī)和勘測(cè)設(shè)備的調(diào)平、吊車穩(wěn)定系...
什么是MEMS?MEMS深度文章從原理制造到應(yīng)用全講透
MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及,我們身邊的智能手機(jī)、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無(wú)不包含,然而大部分人對(duì)MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)...
MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初,當(dāng)時(shí)用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動(dòng)膜在壓力下變形,會(huì)影響其表面的...
2018-01-17 標(biāo)簽:mems 1.2萬(wàn) 0
重力傳感器簡(jiǎn)稱GV-sensor,輸出重力數(shù)據(jù)。 在地球上,重力數(shù)值為9.8,單位是m/s^2。 坐標(biāo)系統(tǒng)與加速度傳感器相同。 當(dāng)設(shè)備復(fù)位時(shí)...
MEMS諧振傳感器新范式:熱噪聲驅(qū)動(dòng)的傳感器的可行性與動(dòng)態(tài)檢測(cè)性能
近日,上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院張文明教授團(tuán)隊(duì)在國(guó)際微納領(lǐng)域權(quán)威期刊《Microsystem& Nanoengineering》上發(fā)表了題目為“Th...
封裝的目的之一就是使芯片免受外部氣體的影響,因此,封裝的形式可分為氣密性封裝和非氣密性封裝兩類。
2023-03-31 標(biāo)簽:處理器mems機(jī)電系統(tǒng) 1.1萬(wàn) 0
微機(jī)械加工工藝分為硅基加工和非硅基加工。下面主要介紹體加工工藝、硅表面微機(jī)械加工技術(shù)、結(jié)合加工、逐次加工。
2013-01-30 標(biāo)簽:ICMEMS微機(jī)械系統(tǒng) 1.1萬(wàn) 1
固體電解質(zhì)氣敏傳感器有電流型和電壓型兩種,電流型的靈敏度高,測(cè)量范圍大,溫漂小。但它的輸出電流和敏感性能與電極尺寸關(guān)系密切。傳統(tǒng)的燒結(jié)體型器件難于控制電...
MEMS開關(guān)基本原理及性能優(yōu)勢(shì)
本文介紹ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)。與傳統(tǒng)機(jī)電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關(guān)技術(shù)使RF和DC開關(guān)性能、可靠性及小型化實(shí)現(xiàn)了跨...
MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的,目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域,從而進(jìn)行...
傾角測(cè)量的原理 雙軸傾角設(shè)計(jì)及其應(yīng)用
MAV由于體積和負(fù)載能力極為有限,因此,減小和減輕飛控導(dǎo)航系統(tǒng)的體積及重量,就顯得尤為重要。本文基于MEMS加速度傳感器,設(shè)計(jì)一種雙軸傾角計(jì),該裝置精度...
通過(guò)不同加速度傳感器的原理、制作工藝及應(yīng)用展開全面了解
MEMS壓阻式加速度傳感器的敏感元件由彈性梁、質(zhì)量塊、固定框組成。壓阻式加速度傳感器實(shí)質(zhì)上是一個(gè)力傳感器,他是利用用測(cè)量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時(shí)產(chǎn)生...
近幾年,各種智能穿戴設(shè)備興起,其中智能手環(huán)、腕表更是花樣繁多,但究其根本,在核心硬件原理上,都大同小異,而傳感器作更是其中必不可少的一環(huán),下面筆者就為大...
2015-03-19 標(biāo)簽:MEMS智能手環(huán) 1.1萬(wàn) 1
在雙線式麥克風(fēng)電路中使用MEMS麥克風(fēng)
如今MEMS麥克風(fēng)正逐漸取代音頻電路中的駐極體電容麥克風(fēng)(ECM)。ECM和MEMS這兩種麥克風(fēng)的功能相同,但各自和系統(tǒng)其余部分之間的連接卻不一樣。本應(yīng)...
評(píng)估MEMS陀螺儀信號(hào)中常見噪聲源的簡(jiǎn)單流程
當(dāng)MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)用作運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中的反饋傳感器時(shí),你,必須了解陀螺儀的噪聲情況,因?yàn)?,它?huì)在所監(jiān)視的平臺(tái)上造成不必要的物理運(yùn)動(dòng)。
基于MEMS磁傳感器在制備過(guò)程設(shè)計(jì)及應(yīng)用
在這些傳感器中,雖然SQUID可探測(cè)極小磁感應(yīng)強(qiáng)度(fT),但裝置需要低溫冷卻,并且易受電磁干擾,為此需要復(fù)雜的外圍設(shè)備。
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