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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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關(guān)于微慣性器件MEMS與ASIC系統(tǒng)集成關(guān)鍵技術(shù)的分析
MCM方案主要通過金絲鍵線或倒裝焊的方式實現(xiàn)MEMS結(jié)構(gòu)與ASIC系統(tǒng)的集成,與PCB方案相比,除了大幅改善SWaP指標之外,還能縮短信號路徑、減小寄生...
徹底顛覆機電繼電器,MEMS開關(guān)告訴你怎樣實現(xiàn)這一切?
過去30年來,MEMS開關(guān)一直被認為是性能有限的機電繼電器的出色替代器件,因為它易于使用,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GHz...
2017-09-01 標簽:mems世健系統(tǒng)MEMS開關(guān) 1.4萬 0
淺談MEMS陀螺儀技術(shù) MEMS是否取代光纖陀螺儀技術(shù)
MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀,就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種,主要作用是在GPS沒有信號時,通過陀螺儀的作用仍然能夠繼續(xù)精確導航。
基于ADI的MEMS加速度計關(guān)鍵參數(shù)和特性,選出最適合你的MEMS加速度計
最新MEMS電容式加速度計應用于傳統(tǒng)上由壓電加速度計和其他傳感器主導的應用領(lǐng)域。新一代MEMS加速度計可為CBM、結(jié)構(gòu)健康監(jiān)控(SHM)、資產(chǎn)健康監(jiān)控(...
MEMS加速度計和MEMS陀螺儀區(qū)別 常見MEMS加速度傳感器介紹
最大的區(qū)別就是:工作原理和應用的區(qū)別(具體概念看下百科),前者是利用加速度,后者是利用慣性;前者是用在測斜調(diào)平,后者是知道通過知道角速率,可以知道物體的...
從三大應用角度深度剖析MEMS加速度計的關(guān)鍵指標
為應用選擇最合適的加速度計可能并不容易,因為來自不同制造商的數(shù)據(jù)手冊可能大相徑庭,讓人難以確定最為重要的技術(shù)指標是什么。
2018-01-08 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng)無線傳感器 1.4萬 0
慣性MEMS三維集成TSV互連技術(shù)通過提供垂直貫穿慣性MEMS芯片或MEMS專用集成電路IC芯片的TSV互連為兩者層疊式立體化集成提供了便利。
前言定位是感知應用的一個重要屬性。在室內(nèi)環(huán)境中,如果位置信息可用并非??煽浚懈嗟膽脠鼍翱梢詫崿F(xiàn)的。行人航位推算(PDR) 就是這樣一種技術(shù),在室內(nèi)...
怎么實現(xiàn)基于MEMS姿態(tài)傳感器溫度補償?這篇文章告訴你
基于MEMS姿態(tài)傳感器主要用于載體姿態(tài)的調(diào)整和傾角的檢測,但是由于工作環(huán)境溫度的改變,就會導致測量精度的變化,在一些高精度檢測的要求下,則失去其檢測的效...
在物聯(lián)網(wǎng)市場的帶動下,傳感器產(chǎn)品國產(chǎn)化需求不斷增大,MEMS傳感器產(chǎn)品正在被越來越廣泛的應用。本文將介紹MEMS的傳感器種類以及國內(nèi)外MEMS運動傳感器...
加速度傳感器有兩種:一種是角加速度傳感器,是由陀螺儀改進過來的。另一種就是線加速度傳感器。它也可以按測量軸分為單軸、雙軸和三軸加速度傳感器。
駐極體電容式麥克風的參數(shù)規(guī)格及設(shè)計
ECM是指駐極體電容式麥克風,與MEMS硅麥不同,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖1所示。
MEMS系統(tǒng)設(shè)計基本理論及設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)
加速度計主要用于測量慣性的大小,進而分析傳感器加速度的大小與運行的安全性。慣性大小與物體的質(zhì)量、加速度有著直接的聯(lián)系,成正比關(guān)系,質(zhì)量相等時,加速度越大...
子理論的創(chuàng)立是 20 世紀最輝煌的成就之一 ,它揭示了微觀領(lǐng)域物質(zhì)的結(jié)構(gòu) 、性質(zhì)和運動規(guī)律,把人們的視角從宏觀領(lǐng)域引入到微觀系統(tǒng) 。一系列區(qū)別于經(jīng)典系統(tǒng)...
MEMS封裝技術(shù)進行探討研究與MEMS器件封裝優(yōu)勢
微機電系統(tǒng)是按照功能在芯片上的集成,尺寸一般是在毫米以下,制作工藝更加精密,需要更高的技術(shù),微機電系統(tǒng)早在國外就有應用,我國起步晚,在MEMS方面的投入...
“傾角傳感器”顧名思義,就是測量傾斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應用場所極多,隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,傾角傳感器得到越來越廣泛的應用。適合應用于工廠...
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