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標(biāo)簽 > mems
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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智能語音技術(shù)之麥克風(fēng)的主要技術(shù)特性分析
智能語音助理成為當(dāng)紅炸子雞,作為相關(guān)應(yīng)用不可或缺的聲音感測器,麥克風(fēng)的市場規(guī)模也將出現(xiàn)明顯爆發(fā),其中又以MEMS麥克風(fēng)受惠最大。至于駐極體麥克風(fēng)(ECM...
2017-12-20 標(biāo)簽:mems麥克風(fēng)頻率響應(yīng) 1.0萬 0
什么是MEMS傳感器?mems傳感器的組成和應(yīng)用分類有哪些?
傳感器發(fā)展到今天,小型化、智能化、集成化,已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天,我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品 MEMS傳感器。 什么是MEM...
2017-11-24 標(biāo)簽:傳感器mems微機電系統(tǒng) 1.0萬 0
IHS 預(yù)期,消費者對各類可穿戴設(shè)備的強勁需求,將讓應(yīng)用在可穿戴設(shè)備中的傳感器出貨量激增,預(yù)計在2013至2019年間將成長七倍;可穿戴傳感器出貨量在 ...
2014-11-28 標(biāo)簽:傳感器MEMS可穿戴設(shè)備 1.0萬 1
超級全面!一文看懂***:MEMS傳感器及芯片制造的最核心設(shè)備
文章大綱 光刻是芯片制造最核心環(huán)節(jié),大陸自給率亟待提升 ·光刻機是芯片制造的核心設(shè)備,市場規(guī)模全球第二 ·一超兩強壟斷市場,大陸卡脖子現(xiàn)象凸顯 光刻機:...
MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進(jìn)行的MEMS制造工藝。表面微加工中,采用低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結(jié)構(gòu)單元...
MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初,當(dāng)時用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變 形,會影響其表面...
MEMS制程:簡要介紹一下前段制程的特點及涉及的設(shè)備
電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準(zhǔn)地實現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)膜材,使膜材表面原子蒸發(fā)進(jìn)而沉積在基片上;以FATRI UTC電子束蒸鍍機在MEMS制造過...
關(guān)于MEMS傳感器的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域
物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,傳感器產(chǎn)品需求大幅增加,重心也逐漸轉(zhuǎn)向技術(shù)含量較高的MEMS傳感器領(lǐng)域。
超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的性能優(yōu)勢和實用性可能性
超聲波被定義為上面的循環(huán)聲壓力人類聽覺的頻率限制,大約20 kHz。這是超聲波最明顯的特征,但不一定是最重要的。根據(jù)應(yīng)用要求,用戶可能還會關(guān)注:
基于ADXL362的運動監(jiān)測MEMS加速度計電路模塊設(shè)計
采用ADI公司三軸加速度傳感器ADXL362。ADXL362既能測量動態(tài)加速度也能測量靜態(tài)加速度,具有超低功耗,采用SPI通信。
有淺入深的介紹BLE與MEMS中的開發(fā)板設(shè)計
當(dāng)BLE遇到MEMS,就如同天使有了翅膀。本期從有淺入深的介紹BLE與MEMS的那些事,就從ST的STEVA
實現(xiàn)器件微型化的微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)
為了實現(xiàn)核心電場敏感器件“心臟”的微型化,項目組基于MEMS技術(shù),發(fā)明了新型的微結(jié)構(gòu)電場傳感器,創(chuàng)造性地發(fā)展了微型電場傳感器及其實際應(yīng)用,系統(tǒng)地解決了從...
世健結(jié)合MEMS技術(shù)的紅外光源和傳感器的紅外氣體檢測方案
使用的紅外光源EMIRS 50是通過緊湊的TO-46封裝,它可以提供帶保護(hù)帽或者帶反射面,這些結(jié)構(gòu)可以配置藍(lán)寶石或氟化鈣、氟化鋇和鍺等材料的濾光片。
濾波器是射頻微波系統(tǒng)必不可少的重要組成部分,性能優(yōu)異的濾波器模塊是射頻微波通信系統(tǒng)能正常工作的必要前提。傳統(tǒng)的微波濾波器雖然在參數(shù)指標(biāo)上有很優(yōu)秀的性能,...
加速計和陀螺儀是獲取無人機、蜂窩電話、汽車、接收機和移動物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備中加速和旋轉(zhuǎn)信息的傳感器選擇。但加速計和陀螺儀都容易有誤差,加速計可能出現(xiàn)噪音、陀螺儀...
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