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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術(shù)（半導體制造技術(shù)）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。

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mems技術(shù)

ADI公司革命性MEMS開關技術(shù)的基本原理

本文介紹ADI公司在微機電系統(tǒng)（MEMS）開關技術(shù)方面的突破。與傳統(tǒng)的機電繼電器相比，ADI公司的MEMS開關技術(shù)在RF和DC開關性能、可靠性和小型化方...

2023-01-05 標簽：adi MEMS RF 2497 0

狀態(tài)監(jiān)測中數(shù)字MEMS加速度計的混疊效應

與現(xiàn)有的壓電加速度計相比，MEMS加速度計具有低成本、重量、功耗和易用性等特點，是工業(yè)機械基于振動的狀態(tài)監(jiān)測的有吸引力的候選者。這些功能允許設備制造商嵌...

2023-01-04 標簽：傳感器 mems 加速度計 1518 0

MEMS加速度計中的振動校正

振動校正誤差（VRE）是加速度計對交流振動的響應，這些振動被糾正為直流，表現(xiàn)為加速度計偏移的異常偏移。在傾角計等應用中，這是一個重要的誤差源，其中加速度...

2023-01-04 標簽：傳感器 mems 加速度計 3420 0

MEMS振動檢測：速度到加速度

MEMS加速度計作為現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)測（CM）系統(tǒng)中的振動傳感器剛剛成熟。最近在測量范圍、帶寬和分辨率（噪聲）方面的擴展正在實現(xiàn)新的概念和系統(tǒng)架構(gòu)，因為CM開...

2023-01-04 標簽：傳感器 mems 1546 0

利用MEMS慣性感測轉(zhuǎn)變應用

例如，具有活動檢測功能的加速度計可以在確定設備在沒有移動或振動的情況下處于非活動狀態(tài)時，通過告訴設備進入最低功耗模式來啟用電源管理技術(shù)。復雜的控件和物理...

2023-01-04 標簽：傳感器 mems 736 0

突破性的5kV ESD MEMS開關技術(shù)

ADI MEMS開關技術(shù)的核心是靜電驅(qū)動、微加工、金懸臂梁開關元件的概念。MEMS開關可以被認為是微米級的機械繼電器，具有金屬對金屬觸點，通過高直流電壓...

2023-01-04 標簽：繼電器驅(qū)動器 mems 1479 0

MEMS振動監(jiān)測：從加速度到速度

這個過程從從慣性運動的角度回顧線性振動開始。在這種情況下，振動是一種平均位移為零的機械振蕩。對于那些不希望他們的機器在工廠車間移動的人來說，零平均位移非...

2023-01-04 標簽：傳感器 mems 加速度計 2524 0

為您的應用選擇最合適的MEMS加速度計

加速度計能夠測量加速度、傾斜度、振動或沖擊，因此可用于從可穿戴健身設備到工業(yè)平臺穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應用。有數(shù)百種零件可供選擇，成本和性能差異很大。本文第 1...

2023-01-03 標簽：傳感器 mems 加速度計 2650 0

可穿戴設備、狀態(tài)監(jiān)測和物聯(lián)網(wǎng)應用中的關鍵規(guī)格和功能

為您的應用選擇最合適的加速度計可能很困難，因為不同制造商的數(shù)據(jù)手冊可能有很大差異，導致對最關鍵規(guī)格的混淆。在本文的第 2 部分中，我們將重點介紹可穿戴設...

2023-01-03 標簽：mems 物聯(lián)網(wǎng)電池 1331 0

MEMS加速度計性能成熟

對MEMS工藝技術(shù)的投資，加上設計創(chuàng)新，極大地提高了MEMS性能，足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測應用的可行選擇?，F(xiàn)在，通過專門的MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技...

2023-01-03 標簽：傳感器 mems 加速度計 1807 0

用于智能基礎設施的MEMS傳感器

雖然消費類應用刺激了對這些傳感器的需求，但它們在其他市場的使用也在增加。隨著數(shù)字化或物聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn)，傳感器正在成為工業(yè)基礎設施應用的核心。在這些情況下，M...

2023-01-03 標簽：傳感器 adi mems 1274 0

X射線光刻（X-ray lithography）技術(shù)是什么意思

X射線光刻（X-ray lithography）技術(shù)是電子工業(yè)中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉(zhuǎn)移光敏光刻膠上。然后進行一系列化學...

2022-12-28 標簽：光電子 mems 加速器 6780 0

未來服務對傳感器的需求：用于狀態(tài)監(jiān)測的智能傳感器

這種預測性維護（PM）的主要元素，眾所周知技術(shù)術(shù)語，是基于狀態(tài)的監(jiān)測（CBM），通常是旋轉(zhuǎn)的渦輪機、風扇、泵和電機等機器。有了煤層氣，實時記錄有關...

2022-12-23 標簽：傳感器 mems 電機 1110 0

為工業(yè)4.0實現(xiàn)強大的有線狀態(tài)監(jiān)控

機器人和旋轉(zhuǎn)機械（如渦輪機、風扇、泵和電機）的狀態(tài)監(jiān)控（CbM）記錄與機器運行狀況和性能相關的實時數(shù)據(jù)，以實現(xiàn)有針對性的預測性維護以及優(yōu)化控制。在機...

2022-12-22 標簽：機器人 mems 1197 0

傳感器性能如何實現(xiàn)基于狀態(tài)的監(jiān)測解決方案

不平衡系統(tǒng)會產(chǎn)生過度振動，這些振動以機械方式耦合到系統(tǒng)內(nèi)的其他組件，例如軸承、聯(lián)軸器和負載，從而可能加速處于良好運行狀態(tài)的組件的劣化。

2022-12-21 標簽：傳感器半導體 mems 1074 0

SPI至RS-485/RS-422設計解決方案的詳細物理層設計注意事項

為MEMS實現(xiàn)有線物理層接口的常見挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而，當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口（如SPI）時，以及...

2022-12-21 標簽：mems emc 加速度計 6858 0

MEMS系統(tǒng)的EMC合規(guī)性提高了99%

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2022-12-16 標簽：傳感器 mems 電機 1138 0

為什么MEMS加速度計正在成為設計人員在CbM應用中的最佳選擇

全球狀態(tài)監(jiān)測（CbM）市場在過去幾年中經(jīng)歷了顯著增長，并且這種情況似乎將繼續(xù)下去。1這種增長恰逢MEMS加速度計用于振動傳感應用的快速發(fā)展，現(xiàn)在可以與曾...

2022-12-16 標簽：傳感器 mems 加速度計 2136 0

光刻技術(shù)介紹幾種常見的光刻方法

前烘就是在一定溫度下，使膠膜里的溶劑緩慢地揮發(fā)出來，使膠膜干燥，并增加其粘附性和耐磨性。

2022-12-16 標簽：mems 光刻 2822 0

用于狀態(tài)監(jiān)測的高保真振動采集平臺

希望專注于算法開發(fā)的開發(fā)人員需要準確預測資產(chǎn)故障和停機時間的信息。他們不想要設計硬件或?qū)?shù)據(jù)的完整性進行故障排除;他們只是想使用已知為高保真度的數(shù)...

2022-12-15 標簽：傳感器 mems 機器學習 1791 0

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