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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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聲光偏轉(zhuǎn)器的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用
在上一期的小課堂,《聲光偏轉(zhuǎn)器及其應(yīng)用連載一:聲光偏轉(zhuǎn)器原理》中我們?cè)敿?xì)的介紹了聲光偏轉(zhuǎn)器的相關(guān)基礎(chǔ)理論和主要性能指標(biāo),這一期的連載我們來(lái)談一談聲光偏轉(zhuǎn)...
2022-08-31 標(biāo)簽:mems聲光電光效應(yīng) 5050 0
基于MEMS的IMU設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)應(yīng)用
設(shè)備激活至少兩秒后,傾斜改變至少 35 度時(shí),此事件就生成中斷。 傾斜功能可用于不同場(chǎng)景。 例如,手機(jī)放在口袋中,當(dāng)手機(jī)持有者從坐姿變?yōu)檎玖⒒驈恼玖⒆優(yōu)?..
2022-08-25 標(biāo)簽:傳感器mems應(yīng)用處理器 2610 0
MEMS 振蕩器:實(shí)現(xiàn)更小、更低功耗的物聯(lián)網(wǎng)和可穿戴設(shè)備
SiTime 為 MEMS 振蕩器與基于石英晶體的時(shí)鐘源提供了一個(gè)案例。
STMicroelectronics 深入研究了用于工業(yè)環(huán)境狀態(tài)監(jiān)測(cè)的振動(dòng)傳感器的 KPI。
2022-08-17 標(biāo)簽:mems智能傳感器振動(dòng)傳感器 3965 0
基于微流控系統(tǒng)開(kāi)發(fā)單細(xì)胞生物芯片平臺(tái)
超聲基因轉(zhuǎn)移比其他細(xì)胞轉(zhuǎn)移技術(shù)更有優(yōu)勢(shì),因?yàn)槌暡恢苯幼饔糜诩?xì)胞,而是通過(guò)聲孔效應(yīng)將細(xì)胞周?chē)幕蚱瓮迫爰?xì)胞。據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,近日,一支由中國(guó)廣西大...
總之,決定使用哪種材料不僅取決于成本,還主要取決于每種應(yīng)用所需的特定屬性。然而,在評(píng)估材料時(shí),還應(yīng)考慮制造的預(yù)期產(chǎn)量和生產(chǎn)規(guī)模選項(xiàng),因?yàn)樗鼈儠?huì)影響設(shè)計(jì)、...
導(dǎo)語(yǔ):傳感器發(fā)展到今天,小型化、智能化、集成化,已經(jīng)是升級(jí)換代的必由之路。今天,我們來(lái)為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品——--MEMS傳感器。 ...
10kHz MEMS加速度計(jì)適合狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用
狀態(tài)監(jiān)控(CbM)是一種預(yù)測(cè)性維護(hù)方式,其利用各種傳感器來(lái)評(píng)估設(shè)備隨時(shí)間的運(yùn)行狀態(tài)。收集的傳感器數(shù)據(jù)用于建立基線(xiàn)趨勢(shì),從而幫助診斷甚至預(yù)測(cè)故障。與傳統(tǒng)的...
如何通過(guò)應(yīng)力和應(yīng)變管理實(shí)現(xiàn)高精度傾斜/角度檢測(cè)性能
本文探討采用加速度計(jì)的高精度角度/傾斜檢測(cè)系統(tǒng)的性能指標(biāo)。我們首先從微觀角度分析傳感器設(shè)計(jì),以便更好地了解微米級(jí)別應(yīng)力和應(yīng)變的影響。分析表明,如果不遵循...
傳感器性能如何實(shí)現(xiàn)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案
下面重點(diǎn)介紹幾種常見(jiàn)故障類(lèi)型及其特征,以深入了解開(kāi)發(fā)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案時(shí)必須考慮的一些關(guān)鍵系統(tǒng)要求。這些包括但不限于不平衡、不對(duì)中、齒輪故障和滾動(dòng)軸承缺陷。
2022-07-05 標(biāo)簽:傳感器mems電動(dòng)機(jī) 1093 0
如何為激光雷達(dá)開(kāi)發(fā)MEMS技術(shù)
為了獲得高分辨率數(shù)據(jù),可靠地識(shí)別小目標(biāo),激光必須準(zhǔn)直地?fù)糁心繕?biāo),這是通過(guò)在激光器前面放置一個(gè)透鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
智能模塊和/或 SiP 集成是關(guān)鍵,將允許大規(guī)模部署連接的設(shè)備。為此,價(jià)值鏈中不同參與者之間的早期合作以及簡(jiǎn)化的供應(yīng)鏈非常重要。系統(tǒng)集成商必須開(kāi)發(fā)并...
MEMS器件在真無(wú)線(xiàn)立體聲耳塞中的應(yīng)用
我們?cè)谥鞍l(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風(fēng)技術(shù)與設(shè)計(jì)》中指出, MEMS麥克風(fēng)的需求是由客戶(hù)所要求的音頻功能驅(qū)動(dòng)的,如立體聲、語(yǔ)音識(shí)別、聲音指向性、噪音...
2022-05-27 標(biāo)簽:mems無(wú)線(xiàn)耳塞 1690 0
如何推導(dǎo)電容式MEMS加速度計(jì)中使用的傳遞函數(shù)
在本文中,我們將了解如何推導(dǎo)電容式 MEMS 加速度計(jì)中使用的質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
在環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療診斷和工業(yè)產(chǎn)品制造等領(lǐng)域,能夠?qū)Χ喾N分析物進(jìn)行選擇性檢測(cè)的高性能氣體/化學(xué)傳感器是近些年研究關(guān)注的熱點(diǎn)。
如何實(shí)現(xiàn)完整的MEMS信號(hào)鏈模擬
現(xiàn)代MEMS傳感器解決方案的體積小、集成度高,并且放置在振動(dòng)源附近,用于測(cè)量振動(dòng)頻率。
2022-04-06 標(biāo)簽:mems連接器運(yùn)算放大器 2190 0
微機(jī)械結(jié)構(gòu)硅片的機(jī)械減薄研究
本文提出了一種用于實(shí)現(xiàn)貫穿芯片互連的包含溝槽和空腔的微機(jī)械晶片的減薄方法。通過(guò)研磨和拋光成功地使晶圓變薄,直至達(dá)到之前通過(guò)深度反應(yīng)離子蝕刻蝕刻的空腔。研...
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