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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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阻礙智能傳感器發(fā)展的主要原因!50%的問題都出在這里!什么是MEMS封裝?(附58家頭部企業(yè)名單)
相關(guān)資料顯示, 在 MEMS 系統(tǒng)中發(fā)生的可靠性問題 50% 來自封裝過程 。2001年左右, 封裝成本占MEMS器件總成本的70%~80% ,使當(dāng)時M...
MEMS工藝設(shè)計中如何實(shí)現(xiàn)應(yīng)力匹配?
相較于本征應(yīng)力,熱應(yīng)力在某些方面是可以化敵為友的。在MEMS熱敏感執(zhí)行器中,基于膜層之間的熱膨脹系數(shù)差來實(shí)現(xiàn)懸臂梁的驅(qū)動。在雙層膜形成的MEMS熱驅(qū)動器...
如何防止數(shù)字 MEMS 傳感器出現(xiàn)混疊現(xiàn)象
作者:Tom Bocchino, STMicroelectronics 過去十多年來,基于微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 的設(shè)計人員一直選擇使用數(shù)字式 MEM...
MEMS加速度計通過微結(jié)構(gòu)內(nèi)發(fā)生的電容、電阻或電荷(壓電)變化來檢測機(jī)械加速度,現(xiàn)已成為僅次于壓力傳感器,應(yīng)用量排名第二的MEMS器件。
基于微納結(jié)構(gòu)的MEMS熱輻射紅外光源技術(shù)原理
一些光柵結(jié)構(gòu)也實(shí)現(xiàn)了向二維方向的拓展,使TE、TM兩個極化方向產(chǎn)生相干的熱發(fā)射成為可能。如圖8所示為SiC交叉狹縫光柵結(jié)構(gòu)示意圖及光譜發(fā)射圖。
BMP280 氣壓傳感器是一種高精度的數(shù)字氣壓傳感器,可以用于測量大氣壓力、溫度和高度。它具有低功耗、高線性度和高分辨率的特點(diǎn),適用于各種應(yīng)用場景,如天...
磁力計LIS2MDL開發(fā)(1)----輪詢獲取磁力計數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LIS2MDL 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗(yàn)證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(4)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱為電荷變化檢測(Qvar stands for "Quasi-static VARiation"),是一種用于檢測電荷...
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(3)----讀取融合算法輸出的四元數(shù)
LSM6DSV16X 特性涉及到的是一種低功耗的傳感器融合算法(Sensor Fusion Low Power, SFLP). 低功耗傳感器融合(SF...
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(1)----輪詢獲取陀螺儀數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LSM6DSV16X 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗(yàn)證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式...
三軸加速度計LIS2DW12開發(fā)(3)----檢測活動和靜止?fàn)顟B(tài)
檢測活動和靜止?fàn)顟B(tài)主要用途是在嵌入式應(yīng)用中實(shí)時監(jiān)控加速度計的活動狀態(tài),例如在可穿戴設(shè)備、智能手機(jī)或安全系統(tǒng)中檢測用戶的動作或設(shè)備的位置變化。通過設(shè)置不同...
三軸加速度計LIS2DW12開發(fā)(2)----基于中斷信號獲取加速度數(shù)據(jù)
本文將介紹實(shí)時獲取和處理加速度數(shù)據(jù)。程序的核心流程包括初始化硬件接口、配置加速度計的參數(shù),以及通過輪詢檢查中斷信號來不斷讀取加速度數(shù)據(jù)。
三軸加速度計LIS2DW12開發(fā)(1)----輪詢獲取加速度數(shù)據(jù)
本文將介紹如何驅(qū)動和利用LIS2DW12傳感器,實(shí)現(xiàn)精確的運(yùn)動感應(yīng)功能。
隨著人們對健康和環(huán)境越來越密切的關(guān)注,溫度感應(yīng)顯得日益重要。很多設(shè)備都添加了溫度感應(yīng)功能,如醫(yī)用體溫計和智能可穿戴設(shè)備等健康檢測設(shè)備,應(yīng)用領(lǐng)域日趨廣泛。...
MEMS芯片質(zhì)量影響因素總結(jié) MEMS芯片制程技術(shù)類型
中科融合是一家國際領(lǐng)先的先進(jìn)光學(xué)智能傳感器芯片企業(yè),是國內(nèi)唯一擁有自主研發(fā)“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”,并且提供完整的AI+3D芯片以及模組產(chǎn)...
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