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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)器正是利用形狀記憶效應(yīng)將恢復(fù)形狀產(chǎn)生的巨大位移與回復(fù)力作為驅(qū)動(dòng)執(zhí)行元件運(yùn)動(dòng)的原動(dòng)力。形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)器相比其他MEMS驅(qū)動(dòng)器具有許多優(yōu)勢...
2023-01-03 標(biāo)簽:驅(qū)動(dòng)器mems機(jī)械 3707 0
磁傳感器受益汽車智能化 13家國產(chǎn)磁傳感器主要廠商都有誰?
今年以來,傳感器領(lǐng)域投融資市場持續(xù)火熱,受國產(chǎn)替代、人工智能AI、人形機(jī)器人、自動(dòng)駕駛等事件影響,包括MEMS傳感器、六維力矩傳感器、柔性傳感器、激光雷...
數(shù)字隔離器是一種在電氣隔離器狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)數(shù)字信號傳遞的器件,充當(dāng)提供電流隔離數(shù)字信號路徑的基本功能。引入隔離不可避免的會(huì)帶來延遲、功耗、成本和尺寸等方面的...
無人機(jī)的市場規(guī)模和范圍持續(xù)蓬勃發(fā)展,新應(yīng)用程序不斷涌現(xiàn)。
本視頻介紹三軸、高g MEMS加速度計(jì)ADXL372的三種常用工作模式。該器件針對撞擊和沖擊檢測而設(shè)計(jì);具有超低功耗特性,100Hz輸出數(shù)據(jù)速率時(shí)的功耗...
MEMS壓力傳感器在工業(yè)氣動(dòng)控制系統(tǒng)的應(yīng)用
在工業(yè)制造領(lǐng)域,氣動(dòng)技術(shù)是實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化和自動(dòng)化控制的重要工程技術(shù)之一。其基本原理是:以空氣壓縮機(jī)為動(dòng)力源,以壓縮空氣為系統(tǒng)的工作介質(zhì),進(jìn)行能量傳遞或信...
2022-07-25 標(biāo)簽:控制系統(tǒng)mems壓力傳感器 3684 0
要使無人機(jī)超越玩具的范疇,高品質(zhì)MEMS傳感器和先進(jìn)軟件至關(guān)重要。無人機(jī)的慣性測量單元(IMU)、氣壓傳感器、地磁傳感器、應(yīng)用特定型傳感器節(jié)點(diǎn)(ASSN...
IC Insights認(rèn)為MEMS傳感器、執(zhí)行器價(jià)格走穩(wěn)
在2018年,MEMS傳感器的出貨量預(yù)期較去年成長約11%,達(dá)到111億,也較2016年成長19%,此外,2018年MEMS執(zhí)行器預(yù)計(jì)將帶來59億美元的銷售額。
南洋理工大學(xué)嘗試開發(fā)一款MEMS芯片來預(yù)防心血管疾病
在新加坡南洋理工大學(xué),醫(yī)學(xué)研究人員正嘗試?yán)靡豢钚麻_發(fā)的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)微流控芯片,來實(shí)現(xiàn)研究心血管疾病的成因和預(yù)防。
2018-01-05 標(biāo)簽:mems 3673 0
賽微電子:MEMS代工產(chǎn)能提升30%,MEMS晶圓價(jià)格快速上漲
由于不同產(chǎn)品的高度差異化、定制化以及工藝復(fù)雜、代工難度較高,規(guī)模效應(yīng)的發(fā)揮需要一定的過程,MEMS芯片代工制造的產(chǎn)能利用率和良率一般低于傳統(tǒng)IC制造的水...
baw濾波器國產(chǎn)現(xiàn)狀 賽微電子BAW濾波器正式量產(chǎn)!
SAW 工藝更加類似傳統(tǒng)集成電路,而BAW 工藝則需要MEMS 聲學(xué)結(jié)構(gòu)以及壓電材料的長期積累,所需工藝制造步驟數(shù)倍于SAW,技術(shù)難度較高且單價(jià)更高。
近期,該所傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室李昕欣團(tuán)隊(duì)將諧振微懸臂梁集成于透射電鏡(TEM)原位微反應(yīng)器芯片中,實(shí)現(xiàn)了原位實(shí)時(shí)的熱力學(xué)/動(dòng)力學(xué)特性分析與參數(shù)測量,并...
傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析
在當(dāng)前MEMS并購和融資的低谷時(shí)期,與壓電MEMS技術(shù)相關(guān)的公司卻獲得更多的資金。這也反映了公眾/主流對這項(xiàng)技術(shù)的興趣程度。具體來說,2018年,主要壓...
無錫勝脈電子萊頓電子等4家傳感器企業(yè)一年融了數(shù)億元
? 隨著經(jīng)濟(jì)下行以及政策環(huán)境變化,數(shù)據(jù)顯示,2024上半年我國投融資市場共發(fā)生3033起,同比下降37.6%,投資金額2567.03億元,同比下滑38....
微電子機(jī)械系統(tǒng)加速度計(jì)輻照效應(yīng)與輻照機(jī)理國內(nèi)外現(xiàn)狀
由于驅(qū)動(dòng)原理(靜電電容、電磁、壓阻/壓電、電熱、光學(xué)敏感)和制備材料(硅、陶瓷/玻璃、金屬、光刻膠、橡膠硅)的選擇很多,MEMS加速度計(jì)多種多樣,調(diào)研總...
2020-08-31 標(biāo)簽:mems微電子MEMS加速度計(jì) 3658 0
智芯傳感全力推動(dòng)高端壓力傳感器國產(chǎn)化進(jìn)程
摘要:近期,芯片、半導(dǎo)體等前沿科技領(lǐng)域可謂是陰云密布、暗流涌動(dòng),芯片產(chǎn)業(yè)全球化進(jìn)程因西方某發(fā)達(dá)國家的封鎖、壓制而導(dǎo)致碎片化、地域化,使得各國在高科技領(lǐng)域...
MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器在使用過程中常見的失效情況
在人工智能、大數(shù)據(jù)以及物聯(lián)網(wǎng)的進(jìn)一步發(fā)展之下,數(shù)據(jù)的收集顯得尤為重要,而與收集數(shù)據(jù)息息相關(guān)的傳感器市場將更加廣闊。尤其是物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,傳感器產(chǎn)品需求大幅...
村田斥資50億日元在芬蘭新建工廠,增加MEMS傳感器產(chǎn)能
因自動(dòng)駕駛需求看俏、帶動(dòng)MEMS傳感器全球需求攀升,村田制作所旗下研發(fā)/生產(chǎn)子公司Murata Electronics Oy將投資50億日元在芬蘭新建工...
NTS對4Sight M傳感器進(jìn)行50G以上的機(jī)械沖擊測試
4Sight已經(jīng)是AEye推出的第5代傳感器,基于AEye強(qiáng)大的iDAR平臺(tái)。AEye獨(dú)特的專利系統(tǒng)設(shè)計(jì)簡單而精密,它整合了一個(gè)激光器、一個(gè)MEMS掃描...
移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)時(shí)代 MEMS的前世今生
無論是博世(Bosch)還是意法半導(dǎo)體(ST),都沒能在2017年MEMS市場排名中拔得頭籌。當(dāng)今世界上最大的MEMS供應(yīng)商竟然是他……誰想得到呢?
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