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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical System),是指可將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理...
博世最新推出的交互式激光投影掃描儀BML050不僅實(shí)現(xiàn)了免聚焦激光投影,更可將所有表面轉(zhuǎn)化為虛擬用戶界面。目前輸出流明只能達(dá)到25lm,圖像分辨率720...
據(jù)麥姆斯咨詢報道,希景科技自主開發(fā)的二維MEMS掃描微鏡實(shí)現(xiàn)成功量產(chǎn)。
從“芯”出發(fā),“智”慧無限——第三屆中國MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會在蚌埠召開
在蚌埠市人民政府、中國兵器科學(xué)研究院、中國兵器技術(shù)研究院的指導(dǎo)和支持下,2019 第三屆中國MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會在安徽省蚌埠市龍子湖迎賓館順利召開。
8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項(xiàng)目落戶蚌埠
蚌埠發(fā)布消息顯示,蚌埠與214所共同建設(shè)的8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)周期為2年、總投資10億元,建設(shè)目標(biāo)是打造國內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEM...
首款可在175°C高溫環(huán)境下使用的MEMS陀螺儀——ADXRS645
MEMS陀螺儀利用科氏加速度來測量角速率。關(guān)于科氏效應(yīng)的解釋,從圖1開始。設(shè)想自己站在一個旋轉(zhuǎn)平臺上,站在靠近中心的位置。您相對于地面的速度以藍(lán)色箭頭的...
TDK于2021年1月發(fā)布了革命性的產(chǎn)品:InvenSense TCE-11101
TCE-11101獨(dú)特地將材料開發(fā)與MEMS工藝相結(jié)合,同時還集成了人工智能(AI)與機(jī)器學(xué)習(xí)(ML)能力,提供比傳統(tǒng)傳感器體積小幾個數(shù)量級的解決方案。...
針對多點(diǎn)調(diào)平系統(tǒng)的不足,設(shè)計(jì)了電機(jī)式3點(diǎn)自動校準(zhǔn)平臺,簡化了控制模型。在分析了調(diào)平過程中可能遇到的干擾因素后,采用相應(yīng)的軟硬件抑制方法,提高了系統(tǒng)適應(yīng)復(fù)...
睿創(chuàng)微納籌建新型半導(dǎo)體技術(shù)研究院,打造8寸MEMS中試線
通過成立公共服務(wù)平臺,建設(shè)化合物半導(dǎo)體及MEMS工藝平臺,開發(fā)可產(chǎn)業(yè)化且具備市場競爭力的新材料、新器件、新技術(shù)和新應(yīng)用,推動本地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。堅(jiān)持...
2020-07-31 標(biāo)簽:mems半導(dǎo)體技術(shù) 4043 0
當(dāng)椅子、杯子也有了“眼睛”和“皮膚”……瘋狂暢想MEMS產(chǎn)業(yè)
如果有一天,你坐的椅子,喝水用的杯子也“長”了“眼睛”和“皮膚”,請不要詫異,這可能是MEMS新技術(shù)。
耐威科技發(fā)布2018年業(yè)績報告 MEMS業(yè)務(wù)成最大營收來源
4月18日,耐威科技發(fā)布其2018年業(yè)績報告。數(shù)據(jù)顯示,耐威科技2018年實(shí)現(xiàn)營收7.12億元,同比增長18.65%;實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤9456.67萬元,...
受全球經(jīng)濟(jì)疲軟以及國家謹(jǐn)慎的宏觀政策影響,2011年中國MEMS傳感器市場增速出現(xiàn)放緩的跡象,但仍然明顯高于全球增速,而到2014年,中國的MEMS傳感...
理想與現(xiàn)實(shí)的碰撞:當(dāng)下激光雷達(dá)量產(chǎn)的最優(yōu)解
傳統(tǒng)激光行業(yè)可以提供包括激光發(fā)射與接收部分的成熟零組件,行業(yè)內(nèi)這些零組件都有超過 15 年的技術(shù)沉淀,像 1550 納米的激光接收二極管。
中國首條MEMS 8英寸線成功投入運(yùn)營,中國MEMS產(chǎn)業(yè)的里程牌
Douglas Sparks博士在發(fā)言中介紹,罕王微電子投資建設(shè)的中國首條也是唯一一條專注于MEMS的8英寸大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線已經(jīng)成功投入運(yùn)營。通過此前...
為了解決重力儀面臨的大加速度載荷和高精度之間的矛盾,研究人員利用雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)中的負(fù)剛度性質(zhì)設(shè)計(jì)了非線性的彈簧,利用它的負(fù)剛度性質(zhì)和正剛度彈簧進(jìn)行匹配獲得極...
我國工業(yè)傳感面臨的挑戰(zhàn)和工業(yè)常用傳感器分析
傳感器技術(shù)發(fā)展迅速,探測精度提高、制作成本降低、芯片體積減小,應(yīng)用非常廣泛。傳感器技術(shù)甚至已成我國工業(yè)領(lǐng)域發(fā)展瓶頸,國產(chǎn)化要求迫切。
有很多上班族,長時間坐在辦公室很難實(shí)行身體力行的日行萬步計(jì)劃。這當(dāng)中的計(jì)步器扮演了相當(dāng)重要的角色,也就是MEMS的加速度傳感器所執(zhí)行的計(jì)步的工作。如果沒...
在上一篇文章《MEMS壓力傳感器該如何選型?智芯傳感告訴您(一)》中,我們重點(diǎn)介紹了壓力傳感器選型需要考慮的三個方面的因素,即壓力傳感器的用途、壓力量程...
蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司成功登陸科創(chuàng)板
截至2019年12月31日,敏芯股份共擁有境內(nèi)外發(fā)明專利38項(xiàng)、實(shí)用新型專利19項(xiàng),正在申請的境內(nèi)外發(fā)明專利32項(xiàng)、實(shí)用新型專利24項(xiàng)。公司依靠核心技術(shù)...
2020-08-17 標(biāo)簽:mems核心技術(shù)科創(chuàng)板 3937 0
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