據(jù)麥姆斯咨詢報道，專注于研發(fā)和生產(chǎn)車規(guī)級MEMS掃描微鏡的蘇州希景微機電科技有限公司（以下簡稱：希景科技）近日宣布，公司自主開發(fā)的二維MEMS掃描微鏡實現(xiàn)成功量產(chǎn)。這款二維MEMS掃描微鏡的鏡面直徑為5mm（可根據(jù)客戶需求進行定制），具有體積小、驅動功耗低、掃描頻率高、扭轉轉角大、生產(chǎn)成本低等特點，主要應用領域包括汽車激光雷達（LiDAR）等3D掃描應用。

圖1 希景科技展示鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡

在這輪自動駕駛發(fā)展熱潮中，激光雷達普遍被認為是實現(xiàn)完全自動/無人駕駛的核心賦能技術之一。傳統(tǒng)的三維激光雷達是在單點測距的基礎上，通過二維掃描實現(xiàn)三維空間的深度信息測量，因此激光束掃描是激光雷達系統(tǒng)設計的核心環(huán)節(jié)。但傳統(tǒng)的機械式掃描激光雷達通常會有較大的體積、重量和功耗，同時成本高昂。因此，采用MEMS掃描微鏡的混合固態(tài)激光雷達，被業(yè)界認為是最有望快速走向大規(guī)模量產(chǎn)及應用的解決方案。

同時，希景科技提供MEMS掃描微鏡控制套件，可以滿足廣泛的客戶應用需求，極大地縮短客戶的產(chǎn)品開發(fā)時間。希景科技的二維MEMS掃描鏡的鏡面直徑通常為數(shù)毫米，鏡面采用金反射薄膜，可以滿足大功率紅外激光應用的要求。

希景科技在MEMS掃描微鏡上集成了角度傳感器，通過控制電路采集傳感器的反饋信號以實現(xiàn)對MEMS掃描微鏡的閉環(huán)控制。此外，希景科技還能夠根據(jù)客戶需求，提供如單軸諧振型微鏡、單軸準靜態(tài)微鏡、指向型微鏡等定制化產(chǎn)品及服務。希景科技開發(fā)的鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡已經(jīng)進入量產(chǎn)階段，其主要性能指標如下：

表1 希景科技二維MEMS掃描微鏡指標參數(shù)

為了加速客戶的產(chǎn)品上市，方便客戶更快地導入MEMS掃描微鏡，希景科技還提供了基于MEMS掃描微鏡的激光脈沖掃描開發(fā)模組。通過這款開發(fā)模組，用戶可以設定激光脈沖掃描角度、掃描幀率、掃描線數(shù)，以及掃描脈沖的水平分辨率等參數(shù)。

圖2 希景科技的激光雷達開發(fā)模組驅動板

圖3 希景科技的激光雷達開發(fā)模組的軟件控制界面

關于希景科技

蘇州希景微機電科技有限公司成立于2017年，位于江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)，是一家依托于中科院的高科技企業(yè)，主要從事MEMS掃描微鏡的開發(fā)和生產(chǎn)，并提供激光雷達核心掃描模組和發(fā)射模組?，F(xiàn)公司自主開發(fā)的鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡已經(jīng)進入量產(chǎn)階段，同時提供激光雷達開發(fā)模組和軟件。