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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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明皜傳感再次受到行業(yè)的一致好評(píng),榮獲“MEMS十強(qiáng)企業(yè)”稱號(hào)
大會(huì)以“開(kāi)放合作、世界同芯”為主題,議題涵蓋產(chǎn)業(yè)發(fā)展新趨勢(shì)、產(chǎn)業(yè)新機(jī)遇、前沿新技術(shù)等,旨在積極應(yīng)對(duì)新冠肺炎疫情對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來(lái)的影響,共同探討后疫情...
2020-09-01 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)mems智能模塊 2587 0
MEMS與傳統(tǒng)CMOS刻蝕與沉積工藝的關(guān)系
CMOS器件是在硅材料上逐層制作而成的。雖然蝕刻和沉積是標(biāo)準(zhǔn)工藝,但它們主要使用光刻和等離子蝕刻在裸片上創(chuàng)建圖案。另一方面,MEMS是采用體硅加工工藝嵌...
基于二維MEMS掃描振鏡的激光雷達(dá)設(shè)計(jì)了發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)和接收光學(xué)系統(tǒng)
光學(xué)系統(tǒng)作為MEMS激光雷達(dá)重要組成部分,分為發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)和接收光學(xué)系統(tǒng),發(fā)射光學(xué)系統(tǒng)的主要任務(wù)是減小發(fā)射光束的發(fā)散角,使其光束質(zhì)量更好,主要設(shè)計(jì)難點(diǎn)是...
2020-09-01 標(biāo)簽:mems光學(xué)系統(tǒng)激光雷達(dá) 1.1萬(wàn) 0
村田開(kāi)發(fā)了ASIL D的系統(tǒng)的6軸一體封裝、3D MEMS慣性力傳感器
失效安全功能是SCHA600系列產(chǎn)品的特點(diǎn),它運(yùn)用參考信號(hào)進(jìn)行監(jiān)控,檢測(cè)通信異常、檢驗(yàn)bit錯(cuò)誤的校驗(yàn)以及飽和、超出額定范圍等異常信號(hào)。已取得專利的村田...
隨著柔性和可穿戴電子設(shè)備的快速發(fā)展,以及無(wú)線傳感器節(jié)點(diǎn)和可植入設(shè)備的進(jìn)步,市場(chǎng)對(duì)能夠提供毫瓦/微瓦級(jí)能量輸出的能量收集器件提出了很大的需求。近年,各種能...
2020-09-01 標(biāo)簽:mems發(fā)電機(jī)可穿戴 6.7萬(wàn) 0
微電子機(jī)械系統(tǒng)加速度計(jì)輻照效應(yīng)與輻照機(jī)理國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀
由于驅(qū)動(dòng)原理(靜電電容、電磁、壓阻/壓電、電熱、光學(xué)敏感)和制備材料(硅、陶瓷/玻璃、金屬、光刻膠、橡膠硅)的選擇很多,MEMS加速度計(jì)多種多樣,調(diào)研總...
2020-08-31 標(biāo)簽:mems微電子MEMS加速度計(jì) 3615 0
淄博高新區(qū)打造全球領(lǐng)先的國(guó)際化MEMS產(chǎn)業(yè)示范基地和千億級(jí)產(chǎn)業(yè)園區(qū)
MEMS產(chǎn)業(yè)基地是淄博高新區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園的重要組成部分,占地448畝,建筑面積48.2萬(wàn)平方米。其中,二期占地298畝,建筑面積33.5萬(wàn)平米,現(xiàn)已全...
西人馬已經(jīng)研發(fā)出2款中溫壓力芯片,能夠在-40℃~260℃的環(huán)境中使用
中高溫芯片一直是壓力芯片中難度較大的一個(gè)領(lǐng)域,迫于技術(shù)壓力,國(guó)內(nèi)很少有企業(yè)成功研發(fā)并生產(chǎn)出中高溫壓力芯片,民用航空領(lǐng)域一直使用國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品,價(jià)格較為昂貴。
Sofant將RF MEMS用于其取得專利的高效MEMS天線平臺(tái)
Sofant將RF MEMS(射頻微機(jī)電系統(tǒng))用于其取得專利的高效MEMS天線平臺(tái),可解決無(wú)線通信系統(tǒng)面臨的若干挑戰(zhàn)。其最初目標(biāo)是用于衛(wèi)星通信和5G,利...
賽微電子的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)繼續(xù)快速發(fā)展且整體盈利良好
2020年上半年,賽微電子基本每股收益0.0182元,較上年同期下降79.53%;加權(quán)平均凈資產(chǎn)收益率0.41%,較上年同期下降0.75%(絕對(duì)數(shù)值變動(dòng)...
研究發(fā)現(xiàn)采用壓電薄膜可大大提高陀螺儀的靈敏度
據(jù)了解,團(tuán)隊(duì)提出了一種改進(jìn)的MEMS振動(dòng)環(huán)陀螺儀的設(shè)計(jì)方案,在環(huán)周面上加上一層壓電薄膜,以改善陀螺儀的剛度。他們通過(guò)數(shù)值算例發(fā)現(xiàn),采用壓電薄膜可以大大提...
2020年上半年,蘇州固锝共實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入72,196.53萬(wàn)元
江蘇艾特曼電子科技有限公司主要從事晶圓級(jí)MEMS器件封裝工藝及相關(guān)核心技術(shù)的開(kāi)發(fā)、代工服務(wù),以及物聯(lián)網(wǎng)傳感器系統(tǒng)技術(shù)的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用推廣,以專業(yè)的技術(shù)、優(yōu)質(zhì)...
如何推進(jìn)我國(guó)MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展?
MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈包括用戶、產(chǎn)品公司和制造體系。由于MEMS傳感器的個(gè)性化特點(diǎn),其產(chǎn)品開(kāi)發(fā)必須與用戶密切結(jié)合,用戶是其產(chǎn)業(yè)鏈中的一個(gè)重要環(huán)節(jié);產(chǎn)品公...
汽車MEMS受挫嚴(yán)重 5G會(huì)帶來(lái)新動(dòng)力
Yole在最新的一份《2020年MEMS產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)》報(bào)告中預(yù)期,仔細(xì)研究了全球MEMS市場(chǎng),并提出了對(duì)該產(chǎn)業(yè)及其未來(lái)趨勢(shì)的全面評(píng)估。報(bào)告對(duì)超過(guò)15種不同設(shè)...
意法半導(dǎo)體推出基于MEMS加速度計(jì)的高精度IIS2ICLX傾角儀
在結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)中,使用IIS2ICLX準(zhǔn)確測(cè)量?jī)A斜度和振動(dòng)可以幫助評(píng)估結(jié)構(gòu)的完整性,例如高層建筑和橋梁或隧道等基礎(chǔ)設(shè)施。
2020-08-25 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體傾斜傳感器 1859 0
2020年值得關(guān)注的20家初創(chuàng)公司
8power由劍橋大學(xué)微系統(tǒng)技術(shù)教授Ashwin Seshia等人于2015年1月共同創(chuàng)立,致力于基于參量共振的振動(dòng)能量收集技術(shù)(通過(guò)MEMS技術(shù)收集)的應(yīng)用。
將微電子技術(shù)與精密機(jī)械技術(shù)結(jié)合發(fā)展出來(lái)的工程技術(shù)
相比傳統(tǒng)的機(jī)械傳感器與致動(dòng)器,MEMS 具有微型化、重量低、功耗低、成本低、多功能等競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),可通過(guò)微納加工工藝進(jìn)行批量制造、封裝、測(cè)試,因而 MEMS...
國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)狀是怎樣的?這些MEMS企業(yè)實(shí)力幾何?
MEMS被認(rèn)為是21世紀(jì)最有前途的技術(shù)之一,如果半導(dǎo)體微制造被視為第一次微制造革命,MEMS則是第二次革命。通過(guò)結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù),ME...
2020-08-25 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈 5309 0
推動(dòng)氣體傳感器市場(chǎng)快速增長(zhǎng)的六個(gè)關(guān)鍵因素
現(xiàn)在市場(chǎng)上有各種氣體傳感器,被廣泛應(yīng)用于民用、工業(yè)環(huán)境監(jiān)測(cè)和日常生活中。具體來(lái)說(shuō),當(dāng)前氣體傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)的關(guān)鍵原因主要有以下幾個(gè):一是由于醫(yī)療設(shè)施對(duì)強(qiáng)化...
2020-08-24 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 612 0
國(guó)內(nèi)MEMS傳感器正加緊技術(shù)研發(fā)升級(jí)
而MEMS國(guó)產(chǎn)代工龍頭——賽微電子通過(guò)內(nèi)生發(fā)展及外延并購(gòu),以MEMS傳感器為戰(zhàn)略性業(yè)務(wù)進(jìn)行聚焦發(fā)展。日前,賽微電子公開(kāi)表示:“北京MEMS產(chǎn)線基地廠房建...
2020-08-24 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 552 0
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