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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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TCL布局半導(dǎo)體領(lǐng)域,加大投入支持中環(huán)邁向全球領(lǐng)先
中環(huán)股份主要從事光伏硅片與半導(dǎo)體硅片的研發(fā)與生產(chǎn),而硅材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最為基礎(chǔ)的材料,從產(chǎn)業(yè)鏈來(lái)看其位于整個(gè)電子產(chǎn)業(yè)的最上游。
三菱電機(jī)推出新的LiDAR解決方案,有助于實(shí)現(xiàn)安全的自動(dòng)駕駛
據(jù)悉,新的LiDAR解決方案通過激光照射物體,并使用雙軸(水平和垂直)MEMS鏡來(lái)掃描反射光,從而生成車輛和行人的三維圖像。三菱電機(jī)希望這種緊湊、性價(jià)比...
2020-08-19 標(biāo)簽:mems激光雷達(dá)自動(dòng)駕駛 3347 0
蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司成功登陸科創(chuàng)板
截至2019年12月31日,敏芯股份共擁有境內(nèi)外發(fā)明專利38項(xiàng)、實(shí)用新型專利19項(xiàng),正在申請(qǐng)的境內(nèi)外發(fā)明專利32項(xiàng)、實(shí)用新型專利24項(xiàng)。公司依靠核心技術(shù)...
2020-08-17 標(biāo)簽:mems核心技術(shù)科創(chuàng)板 3920 0
研究人員很可能制造了一個(gè)納米技術(shù)的巧克力模具
該項(xiàng)目于去年12月宣布,聯(lián)邦理工學(xué)院的科學(xué)家們利用了被稱為結(jié)構(gòu)色的方法。研究小組指出,它創(chuàng)造顏色的方式與變色龍相似,即利用其皮膚的結(jié)構(gòu)來(lái)散射特定波長(zhǎng)的光。
傳感器(英文名稱:transducer/sensor)是一種檢測(cè)裝置,能感受到被測(cè)量的信息,并能將感受到的信息,按一定規(guī)律變換成為電信號(hào)或其他所需形式的...
MEMS傳感器中國(guó)市場(chǎng)狀況及主要廠商
IHS MEMS及傳感器業(yè)務(wù)總監(jiān)Jérémie Bouchaud指出,在今后5到10年內(nèi),智能手機(jī)以及平板電腦仍然是MEMS主要應(yīng)用領(lǐng)域。今后MEMS的...
隨著高端汽車與智能汽車的普及,以及無(wú)人駕駛技術(shù)的推進(jìn),超聲波傳感器、圖像傳感器、激光雷達(dá)傳感器、微波傳感器、紅外傳感器等也都被采用。汽車傳感器已經(jīng)成為M...
近日,揚(yáng)州大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院副教授梁峰帶領(lǐng)的科研團(tuán)隊(duì)對(duì)“MEMS陀螺儀的動(dòng)力學(xué)特性”進(jìn)行了深入分析,研究發(fā)現(xiàn)采用壓電薄膜,可大大提高陀螺儀的靈敏度。
具有懸浮結(jié)構(gòu)的MEMS器件表面微加工方法
近年來(lái),微機(jī)電(MEMS)開關(guān)因其高線性度、低插損、低能耗、高開關(guān)比以及可集成性等優(yōu)異性能獲得了廣泛關(guān)注。MEMS開關(guān)可以被應(yīng)用于自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備、寬帶儀...
隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷成熟,以及電子學(xué)系統(tǒng)發(fā)展對(duì)器件小型化的要求,作為MEMS技術(shù)的重要分支,MEMS加速度計(jì)已成為慣性器件小型化的主...
MEMS器件和集成電路(IC)芯片是通過類似的過程制造的。兩者都始于基礎(chǔ)襯底晶圓(通常是硅或玻璃),然后通過后續(xù)步驟進(jìn)行構(gòu)建和雕刻。
2020-08-11 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)mems 2470 0
博世入局碳化硅 博世致力于研發(fā)符合車規(guī)級(jí)的碳化硅產(chǎn)品
博世集團(tuán)是世界先進(jìn)的技術(shù)及服務(wù)供應(yīng)商。從MEMS技術(shù)問世開始,博世始終處于MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的前沿位置。如今,博世已成為全球的MEMS傳感器的頭...
AlN射頻濾波器推進(jìn)了壓電MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展
減少極板之間的距離也會(huì)提高性能,但這就產(chǎn)生了另一個(gè)一直困擾靜電MEMS問題——靜摩擦。如果極板太近,他們會(huì)粘住,可能永遠(yuǎn)不會(huì)產(chǎn)生分開。靜電能量轉(zhuǎn)換的物理...
MEMS設(shè)備的產(chǎn)品特點(diǎn)與主要用途
為了提高汽車設(shè)計(jì)的安全性,村田(Murata)近期發(fā)布了其最新6軸一體封裝、3D MEMS慣性力傳感器“SCHA600系列”,慣性傳感器將其數(shù)據(jù)與GNS...
2020-08-05 標(biāo)簽:mems激光雷達(dá)自動(dòng)駕駛 2239 0
MEMS傳感器 應(yīng)用于無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè),檢測(cè)胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的...
環(huán)保傳感器與工業(yè)過程控制的應(yīng)用關(guān)系
生態(tài)農(nóng)業(yè)是知識(shí)密集和技術(shù)密集的領(lǐng)域。目前作為“電子感官”的傳感技術(shù)在農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、生物學(xué)研究、農(nóng)藥殘留量檢測(cè)等方面得到了廣泛的應(yīng)用。
2020-08-04 標(biāo)簽:傳感器mems計(jì)算機(jī) 1799 0
MEMS智能傳感器有助于實(shí)現(xiàn)器件的設(shè)計(jì)和驗(yàn)證
隨著時(shí)間的推移,壓力傳感器系統(tǒng)的電子器件,被集成至含有處理器的 IC 中,成本和尺寸都獲得縮減。汽車公司現(xiàn)在可以提供一個(gè)連接到安全氣囊裝置的完整系統(tǒng)。雖...
Unispectral可調(diào)諧MEMS濾光器實(shí)現(xiàn)低成本紅外相機(jī)的單光譜成像
該產(chǎn)品主要由組裝在攝像機(jī)模塊上的可調(diào)諧MEMS濾光器和控制板組成。RaspberryPi用于捕獲參數(shù),并通過USB和/或WiFi連接到顯示器、PC或移動(dòng)...
振動(dòng)環(huán)境下MEMS加速度計(jì)的可靠性評(píng)估
本文研究的MEMS加速度計(jì)為壓阻式硅微加速度計(jì),量程為10 gn,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。MEMS加速度計(jì)是由懸臂梁和質(zhì)量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結(jié)構(gòu)。
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