掃描式太赫茲成像系統(tǒng)的原理是:太赫茲激光器產(chǎn)生連續(xù)的THz激光,光波首先通過斬波器,從而產(chǎn)生一系列的太赫茲脈沖。為了消除太赫茲光的發(fā)散,一般要采用一個(gè)聚乙烯透鏡準(zhǔn)直光路,將激光聚焦在待測(cè)樣品上。樣品被置于一個(gè)由計(jì)算機(jī)編程控制的、可沿x,y方向掃描的線性步進(jìn)平臺(tái)上,平臺(tái)載著待測(cè)樣品在光焦處二維移動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)較好的成像效果,系統(tǒng)通過一個(gè)透射率高,損耗小的聚乙烯透鏡將帶有樣品信息的THz光聚焦在探測(cè)器上,將光波的光強(qiáng)轉(zhuǎn)換為電壓值;轉(zhuǎn)換后的電信號(hào)經(jīng)過采樣、A/D轉(zhuǎn)化,然后傳輸給計(jì)算機(jī)構(gòu)建太赫茲圖像。
這里的主要工作是利用凌華公司生產(chǎn)的PCI-9812數(shù)據(jù)采集卡,針對(duì)美國相干公司生產(chǎn)的P4-42探測(cè)器,設(shè)計(jì)出用于太赫茲成像系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。
l PCI-9812數(shù)據(jù)采集卡介紹
PCI-9812是***凌華科技公司推出的基于32位PCI總線的四通道高速數(shù)據(jù)采集卡,12位的模擬量輸入分辨率,板內(nèi)帶有32 KB的FIFO緩沖器,最高采樣頻率可以達(dá)到20 MHz,這就保證了數(shù)據(jù)采集電路較高的精度和速度。它具有軟件觸發(fā)、前觸發(fā)、后觸發(fā)、中間觸發(fā)和延時(shí)觸發(fā)五種觸發(fā)方式,可以通過軟件編程選擇。此外,它還具有內(nèi)部脈沖、外部脈沖和外部正弦三種可供編程選擇的A/D時(shí)鐘源。在本文的采集系統(tǒng)中,采用了軟觸發(fā)的觸發(fā)模式,采用了內(nèi)部脈沖時(shí)鐘源。
采集卡能達(dá)到的最高采樣率與采樣的通道數(shù)、采集的數(shù)據(jù)量以及PCI總線帶寬有關(guān)。當(dāng)單次觸發(fā)采集的所有通道數(shù)據(jù)總量不超過32 KB的FIFO緩存時(shí),每通道都可以按最高的20 MHz A/D采樣速度來采樣。當(dāng)數(shù)據(jù)總量超過32 KWord的FIFO緩存區(qū)時(shí),要以DMA方式直接傳送數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)內(nèi)存。在本文的采集系統(tǒng)中,使用了一個(gè)通道,選擇的是通道0,可供FIFO達(dá)到32 KB,最大數(shù)據(jù)傳輸能力為40 MB/s。需要注意的是,在電路連接時(shí)不僅要考慮PCI-9812輸入電壓的范圍,還應(yīng)該考慮輸入阻抗的問題,PCI-9812具有四個(gè)能同時(shí)高速采集雙極性信號(hào)的A/D轉(zhuǎn)換器,輸入電壓范圍為-1~+1 V或-5~+5 V,可通過硬件的焊封進(jìn)行選擇,輸入阻抗也可通過電路板上的硬件焊封來選擇。可以選擇的阻抗值有:當(dāng)-1~+1 V輸入時(shí)的15 MΩ和50 Ω(默認(rèn)值);當(dāng)-5~+5 V輸入時(shí)的1.25 kΩ和50 Ω(默認(rèn)值)。P4-42探測(cè)器采用的是15 V電壓源,輸出電阻為50 Ω,其輸出最大電壓值約為12 V,所以在連接采集卡前要串聯(lián)一個(gè)分壓電阻。本文的采集卡輸入范圍為-5 V~+5 V,輸入電阻為1.25 kΩ,串聯(lián)的分壓電阻為1.8 kΩ。此時(shí),輸入到采集卡的最大電壓值為4.84 V。
2 軟件系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
PCI-9812采集卡支持VC/C++,VB,BorlandC++,Borland Delphi,Labview等軟件開發(fā)平臺(tái),主要使用VC++6.0。主要包括掃描控制模塊、數(shù)據(jù)采集模塊和數(shù)據(jù)處理模塊,軟件系統(tǒng)設(shè)計(jì)的流程圖如圖1所示。對(duì)于逐點(diǎn)掃描的太赫茲成像系統(tǒng),其成像過程就是一個(gè)循環(huán)掃描過程。平臺(tái)載著待測(cè)樣品移動(dòng)到待測(cè)位置后,計(jì)算機(jī)控制THz源發(fā)射激光,探測(cè)器接收光信號(hào)并轉(zhuǎn)換成電壓值,數(shù)據(jù)采集卡采集電壓值,并傳輸給計(jì)算機(jī),由計(jì)算機(jī)將數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,生成該位置點(diǎn)(x,y)的像素值并存儲(chǔ),然后再控制平臺(tái)移動(dòng)向下一個(gè)待測(cè)位置進(jìn)行掃描。掃描控制模塊用于實(shí)現(xiàn)對(duì)光路部分的控制,它主要包括了激光頻率的選擇,斬波頻率的設(shè)置,二維移動(dòng)平臺(tái)的設(shè)置等功能。為了保證各個(gè)像素點(diǎn)之間信息無錯(cuò)亂,信息傳輸?shù)倪^程中就要確保二維平臺(tái)的移動(dòng)與數(shù)據(jù)采集記錄的同步。計(jì)算機(jī)通過串口來控制平臺(tái)伺服系統(tǒng),設(shè)置步幅和方向。為了節(jié)省掃描時(shí)間,移動(dòng)平臺(tái)則采取“S”型移動(dòng),系統(tǒng)運(yùn)行時(shí),由參數(shù)z的符號(hào)決定平臺(tái)的移動(dòng)方向,將Z的初始數(shù)值設(shè)置為1,通過Y+Z就可以得出此時(shí)采集點(diǎn)的準(zhǔn)確像素點(diǎn)坐標(biāo),這就保證了計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的各個(gè)像素點(diǎn)(x,y)與掃描樣品中各個(gè)投射位置是對(duì)應(yīng)的,不會(huì)出現(xiàn)像素點(diǎn)混亂的現(xiàn)象。
數(shù)據(jù)采集模塊主要是編程驅(qū)動(dòng)采集卡工作。首先利用Register_Card()函數(shù)對(duì)采集卡注冊(cè),系統(tǒng)的BIOS將會(huì)返回一個(gè)PCI-9812的注冊(cè)號(hào),然后可以用AI_9812_Config()函數(shù)來完成采集卡的初始化,設(shè)置采集的觸發(fā)模式、觸發(fā)源、觸發(fā)后的采樣點(diǎn)數(shù)等。設(shè)置這些參數(shù)后,可以使用激光器產(chǎn)生太赫茲激光,在對(duì)每一個(gè)透射點(diǎn)掃描后,調(diào)用AI_ContReadChannel()函數(shù)(采用多通道時(shí)應(yīng)該調(diào)用函數(shù)AI_ContScanChannels())啟動(dòng)對(duì)探測(cè)器輸出電壓值的A/D采樣,然后調(diào)用AI_AsyncCheck()函數(shù)查詢采集卡是否采樣完畢。在采樣過程中,采集卡自動(dòng)以DMA方式把采集到的數(shù)據(jù)寫入所申請(qǐng)的DMA內(nèi)存,計(jì)算機(jī)通過讀取DMA內(nèi)存來獲取掃描數(shù)據(jù)。在數(shù)據(jù)處理時(shí),還要調(diào)用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換函數(shù)AI_ContScale()將采集數(shù)據(jù)量轉(zhuǎn)換到相應(yīng)的電壓值。在掃描過程結(jié)束后,采集結(jié)束時(shí),要用AI_AsyncClear()函數(shù)停止采集卡,用Release_Card()函數(shù)釋放采集卡。
數(shù)據(jù)處理模塊主要用于對(duì)各個(gè)點(diǎn)獲取的掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算機(jī)比較分析,構(gòu)建采樣物品的太赫茲圖像。太赫茲波對(duì)每個(gè)點(diǎn)掃描時(shí),可以獲取的信息量是很大的,可以通過分析光強(qiáng)、相位、時(shí)間延時(shí)等來構(gòu)建采樣物品的圖像,分析每個(gè)參數(shù)都要采用各自的算法。這里主要針對(duì)P4-42熱釋電探測(cè)器,將太赫茲光的強(qiáng)度轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào),因此本文通過分析電壓信號(hào)的峰峰值,來獲取樣品上每個(gè)點(diǎn)對(duì)太赫茲光波的吸收強(qiáng)度,作為太赫茲圖像中各個(gè)像素的像素值。在成像系統(tǒng)對(duì)各個(gè)位置點(diǎn)掃描后,得到格式為x*y*t的太赫茲成像數(shù)據(jù),通過對(duì)各個(gè)像素點(diǎn)的數(shù)據(jù)進(jìn)行歸一化處理。可以得到待測(cè)樣品的太赫茲灰度圖像。
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