2020年8月14日至8月16日，由麥姆斯咨詢主辦，上海傳感信息科技有限公司和華強(qiáng)電子網(wǎng)協(xié)辦的《第24期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS技術(shù)進(jìn)階》在無錫圓滿落幕！本課程共邀請(qǐng)了七位產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)能力卓越的學(xué)術(shù)界大師和企業(yè)技術(shù)專家，為大家?guī)砭始姵实腗EMS知識(shí)盛宴。課程以熱門MEMS器件為主線，從原理、設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、可靠性分析及應(yīng)用等重要環(huán)節(jié)入手，為學(xué)員解析MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀以及發(fā)展脈絡(luò)，旨在幫助MEMS從業(yè)人員提升專業(yè)技能。

《第24期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS技術(shù)進(jìn)階》師生合影留念

培訓(xùn)現(xiàn)場(chǎng)圖：學(xué)員們認(rèn)真聆聽講師授課

囊括MEMS關(guān)鍵環(huán)節(jié)，“一站式”覆蓋產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn)！

8月14日上午，由中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究員王躍林為大家開啟了MEMS產(chǎn)業(yè)鏈之旅，帶來《從MEMS發(fā)展到NEMS的啟示》。王躍林老師憑借在國(guó)家級(jí)重大項(xiàng)目二十多年的錘煉，以自己的親身經(jīng)歷梳理出MEMS技術(shù)發(fā)展脈絡(luò)，與學(xué)員分享了對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)成長(zhǎng)的獨(dú)到看法。王躍林老師首先通過MEMS技術(shù)上的重大突破以及MEMS器件的廣泛應(yīng)用，凸顯了MEMS技術(shù)的重要地位。隨后對(duì)壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀以及熱電紅外傳感器等典型MEMS器件層層剖析，讓學(xué)員從中收獲頗豐。恰逢今年中國(guó)芯片遇到了歷史上較為艱難的時(shí)刻，雖然美國(guó)全產(chǎn)業(yè)鏈封殺華為等中國(guó)強(qiáng)企，但從亟需尋找***芯片和設(shè)備角度來看，也為中國(guó)芯片崛起創(chuàng)造了巨大機(jī)遇。王老師強(qiáng)調(diào)：整個(gè)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈中，制造仍是關(guān)鍵環(huán)節(jié)，我們需要通過不斷摸索發(fā)現(xiàn)、建設(shè)中試研發(fā)平臺(tái)來解決“研發(fā)難、驗(yàn)證難”的問題，在IC工廠建成MEMS規(guī)模制造平臺(tái)來解決量產(chǎn)難的問題，同時(shí)MEMS產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展的趨勢(shì)是“適應(yīng)個(gè)性化需求”。課程最后，王老師對(duì)NEMS的制造技術(shù)、工藝做了詳解。

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員王躍林老師的授課風(fēng)采

8月14日下午開啟了針對(duì)MEMS熱門器件的講解，首先邀請(qǐng)到中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究員焦繼偉為大家講解《慣性MEMS》。課程伊始焦繼偉老師即以兩句話總結(jié)了目前慣性MEMS傳感器市場(chǎng)大趨勢(shì)——“‘萬億傳感器’的AIoT時(shí)代，MEMS為王”以及“‘萬物皆運(yùn)動(dòng)，控制靠感知’，慣性傳感器地位依舊”。接著，焦老師從慣性傳感器的基礎(chǔ)理論知識(shí)入手，為學(xué)員逐一講解了MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的器件結(jié)構(gòu)、檢測(cè)/換能原理和主要制造工藝等關(guān)鍵技術(shù)以及典型應(yīng)用。隨后焦老師專門對(duì)消費(fèi)級(jí)、工業(yè)級(jí)和戰(zhàn)術(shù)級(jí)MEMS慣性傳感器做了對(duì)比分析。焦老師認(rèn)為，微慣性測(cè)量單元（MIMU）是目前組合式慣性傳感器的發(fā)展重點(diǎn)，另外還介紹了消費(fèi)類MEMS器件對(duì)晶圓級(jí)封裝（WLP）的強(qiáng)烈需求以及WLP技術(shù)在慣性MEMS器件的發(fā)展進(jìn)程和面臨的挑戰(zhàn)。課程最后，焦老師分析了目前慣性傳感器的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀以及主要供應(yīng)商。焦老師總結(jié)道，消費(fèi)類慣性傳感器市場(chǎng)早已是紅海，但中高端器件仍非常稀缺；隨著整體產(chǎn)業(yè)鏈成熟度的提升，傳統(tǒng)慣性產(chǎn)品研發(fā)突破難度非常大，需要持續(xù)提升平臺(tái)能力及開放性，整體生態(tài)鏈依舊脆弱。因此，人才培養(yǎng)、差異化競(jìng)爭(zhēng)、力搶價(jià)值高地是該產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)制勝的殺手锏。

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員焦繼偉老師的授課風(fēng)采

8月15日上午，由山東大學(xué)的陶繼方教授為大家傳授《光學(xué)MEMS》。陶繼方老師在硅基微納光電子器件的設(shè)計(jì)、制造和封裝工藝方面擁有多年實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，首先就從硅基集成光學(xué)器件和光學(xué)MEMS器件的基礎(chǔ)知識(shí)入手，為大家梳理了硅光芯片的關(guān)鍵組成、基本工藝和應(yīng)用；另外還介紹了微鏡/微振鏡、紅外熱電堆、光開關(guān)、光子麥克風(fēng)以及波長(zhǎng)可調(diào)激光器等典型光學(xué)MEMS器件。陶老師提到，MEMS器件設(shè)計(jì)占20%，而工藝技術(shù)要占到80%，可見制造工藝的重要性。為了能夠讓學(xué)員對(duì)此類型傳感器有更清晰的認(rèn)知，陶老師以自己的研究成果與學(xué)員分享。都說基礎(chǔ)知識(shí)比較枯燥，但在陶老師的課堂中，時(shí)而提問問答、時(shí)而歡聲笑語，氣氛異常熱烈。接著，陶繼方老師又分別對(duì)揮發(fā)性有機(jī)化合物檢測(cè)、集成高精度露點(diǎn)傳感器以及集成紅外氣體傳感器的角度等硅基光電子熱門器件進(jìn)行了深入講解，主要對(duì)器件工作原理及測(cè)量結(jié)果進(jìn)行對(duì)比分析，同時(shí)還結(jié)合對(duì)市場(chǎng)發(fā)展趨勢(shì)的分析。陶老師通過對(duì)比梳理典型器件技術(shù)，總結(jié)認(rèn)為目前光學(xué)氣體傳感器市場(chǎng)非常集中，產(chǎn)業(yè)格局正處于大調(diào)整中。課程最后，陶老師還與學(xué)員們分享了自己在“納米光子集成傳感器”和“光學(xué)MEMS傳感器”的成果經(jīng)驗(yàn)。

山東大學(xué)陶繼方教授的授課風(fēng)采

當(dāng)天上午第二節(jié)課《紅外探測(cè)器》由上海巨哥電子科技有限公司總經(jīng)理沈憧棐為大家?guī)?。沈憧棐老師在紅外成像精確測(cè)溫、低成本紅外探測(cè)器等方向上具有眾多前瞻性的研發(fā)成果和豐富的行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。課程伊始，沈憧棐老師即結(jié)合日常生活中大家常見的物品，對(duì)微測(cè)輻射熱計(jì)的工作原理和分類進(jìn)行了詳細(xì)講解，隨后過渡到對(duì)其性能的闡述。對(duì)于評(píng)估性能的主要參數(shù)，沈老師向大家展示了NETD、響應(yīng)時(shí)間常數(shù)、測(cè)溫動(dòng)態(tài)范圍、陣列響應(yīng)一致性以及溫度穩(wěn)定性等參數(shù)的定義和意義。接著沈老師分別對(duì)氧化釩和非晶硅微測(cè)輻射熱計(jì)的加工工藝進(jìn)行了剖析，沈老師總結(jié)道，氧化釩微測(cè)輻射熱計(jì)主要應(yīng)用于成像型熱像儀，而非晶硅微測(cè)輻射熱計(jì)則在測(cè)溫型和成像型應(yīng)用均有涉及，同時(shí)探測(cè)器的最終性能是由讀出電路、MEMS電阻結(jié)構(gòu)和真空封裝等多因素共同決定。而針對(duì)“如何制造出性能最佳的探測(cè)器”，沈老師分別從柱孔連接、應(yīng)力平衡、材料性能優(yōu)化、噪聲改善以及極限線寬等多方面提出了獨(dú)特見解，以期為學(xué)員們帶來更多的啟發(fā)。課程的最后，沈老師對(duì)非制冷型微測(cè)輻射熱計(jì)的國(guó)內(nèi)外供應(yīng)商進(jìn)行了梳理，同時(shí)也解析了紅外探測(cè)器技術(shù)未來的發(fā)展方向。

上海巨哥電子科技有限公司總經(jīng)理沈憧棐的授課風(fēng)采

8月15日下午，由蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司總經(jīng)理王云翔為大家?guī)怼禡EMS制造及封裝技術(shù)》。課程上半程，王云翔老師首先為學(xué)員分析了MEMS與IC在制造設(shè)備、材料的需求差異，突出了MEMS器件制造的特殊性。進(jìn)而對(duì)體微加工、表面微加工、CMOS MEMS以及非硅加工技術(shù)等典型MEMS制造工藝流程進(jìn)行了講解，尤其細(xì)致剖析了玻璃、塑料、金屬、橡膠與纖維等非硅材料及其加工技術(shù)。隨后，王老師對(duì)單步特殊制造工藝進(jìn)行了重點(diǎn)闡述，以Bosch工藝為例解讀了深硅刻蝕；后又結(jié)合市場(chǎng)上主流***、光刻膠講解了特殊光刻和噴膠工藝，同時(shí)還為學(xué)員介紹了各類鍵合技術(shù)、應(yīng)用場(chǎng)景以及所用到的特殊材料。課程下半程，王老師結(jié)合著MEMS結(jié)構(gòu)特征解析了MEMS封裝技術(shù)以及與IC封裝的差異。隨后結(jié)合案例分別對(duì)典型的MEMS器件級(jí)封裝工藝和MEMS晶圓級(jí)封裝工藝做了剖析。王云翔老師的課程內(nèi)容詳實(shí)豐富，并結(jié)合自身經(jīng)驗(yàn)以及對(duì)市場(chǎng)發(fā)展前景的分析，讓學(xué)員收獲滿滿。

蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司總經(jīng)理王云翔的授課風(fēng)采

8月16日上午，由東南大學(xué)副研究員王磊為大家?guī)怼禡EMS可靠性分析》，這是我們本次課程學(xué)員最為喜愛也是最為關(guān)注的課程之一。課程之初，王磊老師就為大家點(diǎn)明了對(duì)MEMS器件可靠性至關(guān)重要的環(huán)境、失效機(jī)理以及壽命等關(guān)鍵因素，王磊老師告訴大家，可靠性需求一般來源于應(yīng)用背景和器件類型綜合考慮，包括器件預(yù)期工作壽命、器件預(yù)期貯存壽命、器件裝配失效概率、器件工作失效概率。王老師主要針對(duì)MEMS器件應(yīng)用背景、各類MEMS器件對(duì)可靠性的不同需求進(jìn)行介紹，從貯存和工作壽命來看，軍用MEMS器件對(duì)可靠性的要求遠(yuǎn)高于民用MEMS器件。MEMS材料力學(xué)性能評(píng)價(jià)及評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)MEMS器件實(shí)用化有著顯著的意義，因此王老師為我們?cè)敿?xì)介紹了楊氏模量、殘余應(yīng)力/應(yīng)變、泊松比、疲勞性能、熱導(dǎo)率等主流的力學(xué)性能評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)向大家強(qiáng)調(diào)“對(duì)于給定設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，工藝一致性、穩(wěn)定性是可靠性的唯一評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)”。接著，王磊老師以自身的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，生動(dòng)地為大家展示了沖擊斷裂、沖擊粘附、鍵合線脫落或斷裂、絕緣層漏電流、ESD等常見的MEMS失效模式及失效機(jī)理。隨后，通過分析現(xiàn)行的國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)，讓學(xué)員系統(tǒng)地了解了關(guān)于可靠性測(cè)試及分析的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。王磊老師承擔(dān)和參與過多項(xiàng)國(guó)家科研項(xiàng)目以及企業(yè)合作項(xiàng)目，因此在MEMS結(jié)構(gòu)和工藝的可靠性問題中非常有發(fā)言權(quán)，利用自己研究中的實(shí)例為學(xué)員展示了多種工藝問題，讓學(xué)員大開眼界，王老師直言，可靠性問題就好比探案，抽絲剝繭得到的原因往往是你未曾想到的。課程的最后，王老師針對(duì)產(chǎn)業(yè)界關(guān)注的幾種器件（加速度計(jì)、陀螺儀、微鏡）做了專題介紹。

東南大學(xué)副研究員王磊的授課風(fēng)采

8月16日下午，由北京大學(xué)王瑋教授帶來本次課程的最后一課《生物MEMS》。王瑋教授憑借在微納流體技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域研究所數(shù)十載積累的經(jīng)驗(yàn)，為學(xué)員們帶來了一場(chǎng)生物MEMS的盛宴。首先，王瑋教授首先為大家梳理了生物MEMS技術(shù)所涵蓋的基本概念，以及生物MEMS在傳感器市場(chǎng)的地位和應(yīng)用。后為學(xué)員重點(diǎn)介紹了生物MEMS領(lǐng)域的幾種主要襯底材料及加工方法。王偉老師強(qiáng)調(diào)，微流控從研究到產(chǎn)業(yè)成功的關(guān)鍵在于研發(fā)出臨床診斷等高性價(jià)比的殺手锏應(yīng)用。隨后通過對(duì)研究進(jìn)展的逐步梳理為大家勾勒出基于微流控和濾膜技術(shù)的液態(tài)活檢技術(shù)的成長(zhǎng)圖。近年來，隨著檢測(cè)技術(shù)的不斷完善，新興液體活檢研究對(duì)象：循環(huán)腫瘤DNA（ctDNA）與外泌體（exosome）在腫瘤精準(zhǔn)醫(yī)療的臨床應(yīng)用領(lǐng)域各放異彩，王瑋老師結(jié)合自身研究方向，詳細(xì)剖析了相關(guān)概念、臨床應(yīng)用現(xiàn)狀和檢測(cè)所面臨的挑戰(zhàn)。課程最后，在談到液態(tài)活檢的應(yīng)用前景及商業(yè)化現(xiàn)狀時(shí)，王老師總結(jié)分析了液態(tài)活檢全產(chǎn)業(yè)鏈、典型產(chǎn)品以及市場(chǎng)現(xiàn)狀和預(yù)測(cè)；同時(shí)還將液體活檢技術(shù)在臨床應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)利用示例對(duì)比體現(xiàn)地淋漓盡致。王偉老師的課堂充滿了各類微流控領(lǐng)域的有趣實(shí)驗(yàn)，讓學(xué)員在興味盎然中飽獲知識(shí)營(yíng)養(yǎng)，廣受學(xué)員贊譽(yù)。

北京大學(xué)王瑋教授的授課風(fēng)采

勤學(xué)好問，共商共討；彼此交流，加持收獲！

本次培訓(xùn)中不僅有講師辛勤的付出，更有學(xué)員們不懈的努力；學(xué)員間熱烈、酣暢的交流，可以讓每位學(xué)員對(duì)知識(shí)和技能的學(xué)習(xí)成果進(jìn)化、升華，真正實(shí)現(xiàn)“講師傳授知識(shí)+學(xué)員吸收理解+交流融合”成為“碩果滿堂”。根據(jù)學(xué)員對(duì)思想碰撞的強(qiáng)烈期待，麥姆斯咨詢工作人員特意在課程中安排了“介紹自己，互換資源”的環(huán)節(jié)，為學(xué)員提供了更廣闊的溝通平臺(tái)。學(xué)員們也給予我們此次培訓(xùn)高度評(píng)價(jià)，認(rèn)為這是每年的MEMS技術(shù)盛會(huì)，也是對(duì)MEMS行業(yè)的整合。為學(xué)員創(chuàng)造收獲知識(shí)、挖掘資源的平臺(tái)，幫助大家實(shí)現(xiàn)資源升級(jí)、技術(shù)勇攀高峰，是麥姆斯咨詢最重要的價(jià)值體現(xiàn)！

學(xué)員們交流環(huán)節(jié)

至此，麥姆斯咨詢舉辦的《第24期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS技術(shù)進(jìn)階》圓滿完成！麥姆斯咨詢將繼續(xù)保持專業(yè)精神，為廣大學(xué)員求得賢師；同時(shí)還將繼續(xù)秉承精益求精的精神，不斷開拓進(jìn)??；麥姆斯咨詢將持續(xù)為大家?guī)砀嗟木氛n程！新學(xué)員，期待下次相見，老學(xué)員，期待再次重逢！