據(jù)digitimes報道，美國智庫CSET的報告顯示，以5nm節(jié)點制造的12英寸晶圓成本約1.6988萬美元，遠高于7nm節(jié)點制造的相同規(guī)格9346美元的成本。若使用600平方毫米晶粒（大小約相當(dāng)于NVIDIA RTX 3080和3090所使用的GA102 GPU），7nm和5nm節(jié)點每個芯片成本分別約233美元和238美元。

Tech Spot報道指出，5nm芯片成本更高除了因為其是新產(chǎn)品外，另一個重要原因是需要特殊的處理，5nm芯片重度仰賴極紫外光（EUV）技術(shù)，每臺EUV機器要價1.2億美元，昂貴的設(shè)備推高了成本，而且每一片5nm晶圓可能需要14層以上EUV光罩。

根據(jù)官方數(shù)據(jù)，相較于7nm（第一代DUV），5nm芯片能夠提供1.8倍的邏輯密度、速度提升15%，或功耗降低30%。而且5nm節(jié)點據(jù)稱也有較好的良率，基于這些優(yōu)點，盡管臺積電5nm芯片造價不斐，市場需求仍旺盛。

此前供應(yīng)鏈透露，AMD、英偉達、聯(lián)發(fā)科、高通與蘋果即將迎來出貨旺季，已陸續(xù)加大5nm訂單。臺積電5nm目前由每月5萬片逐步提升，原定2021年上半8萬~9萬片月產(chǎn)能目標(biāo)，近日已上調(diào)至10.5萬片。
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