在晶圓劃切過程中，不僅需要選擇適合的劃片刀，而且要關(guān)注加工條件的優(yōu)化。合適的劃片刀和良好的加工條件，對于獲得滿足工藝要求的切割效果都起著至關(guān)重要的作用。

加工條件主要涉及以下兩個方面：

什么是主軸轉(zhuǎn)速？

刀片固定在精密切割設備主軸上，并以非常高的速度旋轉(zhuǎn)。主軸轉(zhuǎn)速通常在每分鐘10,000至60,000轉(zhuǎn)之間。刀片旋轉(zhuǎn)速度是影響切割效果的關(guān)鍵因素之一。

需要注意的是，在相同轉(zhuǎn)速下，刀片外徑不同，外圓線速度也是不同的。刀片外徑越大，外圓線速度越大，如下圖所示：

不同的刀片外徑為了獲得相同的外圓線速度，必須調(diào)整轉(zhuǎn)速，以保證切割質(zhì)量及穩(wěn)定性。

主軸轉(zhuǎn)速對刀片壽命的影響

當主軸轉(zhuǎn)速增加時，刀片的切割能力提高，金剛石的加工負荷減少，從而提高了刀片壽命，同時降低了被切產(chǎn)品正面崩邊產(chǎn)生的風險。另一方面，金剛石加工負荷減少會阻礙刀片自銳，這往往導致被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的增加，此時降低主軸轉(zhuǎn)速，加速刀片自銳，就是減少被切產(chǎn)品背面崩邊發(fā)生率的有效措施之一。

主軸轉(zhuǎn)速對切割品質(zhì)的影響

不同主軸轉(zhuǎn)速下的正面和背面崩邊尺寸的變化

相同切割條件下，主軸轉(zhuǎn)速越高被切產(chǎn)品正面崩邊尺寸越小，背面崩邊尺寸越大。

不同主軸轉(zhuǎn)速下的正面切割刀痕變化

相同切割條件下，主軸轉(zhuǎn)速越高，刀片蛇形切割的發(fā)生概率越高。

為了使被切產(chǎn)品保持良好的正面和背面切割質(zhì)量表現(xiàn)，并達到預期的使用壽命，需要選擇一個主軸轉(zhuǎn)速平衡點。

主軸轉(zhuǎn)速與加工質(zhì)量的平衡點

由于主軸轉(zhuǎn)速對正面、背面崩邊尺寸和刀片壽命均有影響，因此有必要根據(jù)被切產(chǎn)品、刀片規(guī)格和加工質(zhì)量標準對主軸轉(zhuǎn)速進行平衡選擇。

以上是主軸轉(zhuǎn)速對切割品質(zhì)及切割壽命的影響，下期我們將講述進給速度的影響。

西斯特科技

深圳西斯特科技有限公司 (簡稱SST西斯特) ，以“讓一切磨削加工變得容易”為主旨，倡導磨削加工系統(tǒng)方法論，2015年創(chuàng)立于中國深圳，植根于技術(shù)創(chuàng)新的精神，屹立于追求夢想、創(chuàng)造價值的企業(yè)文化。

基于對客戶現(xiàn)場的深度解讀、創(chuàng)新性的磨具設計和磨削系統(tǒng)方法 論的實際應用，西斯特的磨削理念可服務于航空航天、醫(yī)療器械、集成電路、磁性材料、汽車與船舶制造、藍寶石與功能陶瓷等領域的磨削加工，并為半導體制造、消費電子制造、汽車制造等行業(yè)提供高端磨具產(chǎn)品。

西斯特科技始終以先進的技術(shù)、高性能的產(chǎn)品、優(yōu)質(zhì)服務的理念，帶領產(chǎn)業(yè)革命，創(chuàng)造無限可能。

西斯特科技

專業(yè)切磨鉆拋解決方案提供商