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3d光學(xué)輪廓儀是干什么用的?

中圖儀器 ? 2022-10-26 15:45 ? 次閱讀
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以白光干涉技術(shù)為原理的3d光學(xué)輪廓儀主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓,是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。它能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。

結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;
3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;
6、微電子表面分析和MEMS表征。

pYYBAGK6yzKAT7VxAAE6n_sV9wM631.png薄膜粗糙度測(cè)量pYYBAGNY4RuAQHuBAAJ9UXgD0iY299.png晶圓IC的輪廓檢測(cè)poYBAGKCCNyAJuXKAAJroI4U5c4396.jpg晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè)

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀結(jié)合結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,除測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

poYBAGNQ7rCAQgaUAAIOPB7t2bY083.pngpYYBAGKHKPGAJuLlAANDDCh11kQ386.png對(duì)wafer減薄后無(wú)圖晶圓粗糙度測(cè)量poYBAGKHKPiAJnLaAAIk5geqJhA032.png封裝制程中對(duì)Wafer的切割poYBAGKHKP-AdU__AAMTRRHaNMM661.png對(duì)Die的輪廓分析及蝕刻深度測(cè)量

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