據(jù)天眼查公司透露，上海國(guó)納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的“晶圓盒搬運(yùn)裝置及方法”專利于7月11日公布，申請(qǐng)編號(hào)為cn116417389a。

紀(jì)要顯示，本發(fā)明專利晶片箱搬運(yùn)裝置及方法，公開，其中晶片箱子運(yùn)輸裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)制的作用下，沿著軌道移動(dòng)的w行走機(jī)構(gòu)組成，驅(qū)動(dòng)機(jī)制行走機(jī)構(gòu)位移檢查機(jī)制的第1部設(shè)有位移檢查。同步移動(dòng)器具包括電動(dòng)齒輪和齒輪，齒輪固定連接在鋼軌上，齒輪安裝在浮動(dòng)機(jī)構(gòu)上，浮動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在步行器具上，可以與步行器具同時(shí)移動(dòng)。

浮動(dòng)機(jī)構(gòu)可以推動(dòng)齒輪與齒輪相對(duì)不同，齒輪上設(shè)有第二位移檢測(cè)部，用以檢測(cè)其位移。同步移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括檢查齒輪是否跳出來(lái)的檢查部，位移修正裝置，修正裝置根據(jù)修正部的修正結(jié)果測(cè)定修正第一位移檢測(cè)部或第二位移檢測(cè)部的位移。

據(jù)悉，該發(fā)明的晶圓盒搬運(yùn)裝置及方法可以通過(guò)調(diào)整和修改移動(dòng)銅的位移，保證移動(dòng)銅位移的準(zhǔn)確度。