電子發(fā)燒友原創(chuàng) 章鷹

近日，中國半導體行業(yè)協(xié)會集成電路分會理事長葉甜春介紹了國內集成電路的最新形勢。2008年到2022年中國集成電路產業(yè)保持快速增長，2022年，中國IC設計銷售額達到5156.2億元，銷售額增長13.2倍，制造業(yè)銷售收入達到2995.1億元，銷售額增長9.8倍。2022年，國內14家代表設備廠商營業(yè)收入已經超過300億元。

近日，調研機構CINNO又發(fā)布最新的調研報告顯示，2023年上半年中國大陸半導體設備廠商市場規(guī)模前十大公司合計超160億元，同比增長39%，環(huán)比下降9%。

本文詳細解讀一下排名前10的中國半導體設備廠商財報和最新半導體設備產品進展。

2023年1H國產半導體設備廠商業(yè)績變化：7家業(yè)績和凈利潤高增長，3家同比下滑

半導體設備行業(yè)在2023年上半年實現(xiàn)了持續(xù)的高增長，看好未來的“資本開支+國產化率+政策支持”三輪驅動。2023年上半年，北方華創(chuàng)作為國內半導體設備行業(yè)龍頭企業(yè)，上半年營收達到84.27億元，遠超第二、第三名廠商，位列第一。中微公司排名第二，上半年營收達到25.27億，盛美上海排名第三，上半年營收達到16.1億。華海清科上半年營收達到12.34億，從2022年排名第6躍升到第四名，成績亮眼。

凈利潤方面，排名前四的半導體設備廠商利潤同比增長均超過85%，顯示盈利能力持續(xù)提升，北方華創(chuàng)上半年的凈利潤達到17.99億，同比增長138.43%，表現(xiàn)亮眼。中微半導體上半年凈利潤達到10.03億，同比增長114.40%。長川科技、華峰測控和新益昌出現(xiàn)了營收和凈利潤下滑。

近年來，半導體設備充分受益于國產自主可控以及晶圓廠擴建浪潮，持續(xù)保持逆周期強勁增長。不過，在行業(yè)去庫存深入推進背景下，半導體設備持續(xù)獲得新增訂單能力備受市場關注。

Top1北方華創(chuàng)：國產替代加速，公司收入和凈利潤創(chuàng)歷史新高

4月28日，北方華創(chuàng)發(fā)布2022年年度業(yè)績報告稱，年度實現(xiàn)營收146.88億元，同比增長51.68%，實現(xiàn)公司營業(yè)收入“百億級”跨越；歸屬于上市公司股東的凈利潤23.53億元，同比增長118.37%。2023年上半年，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營收84.27億，同比增加54.79%；實現(xiàn)歸母凈利潤17.99 億元，同比增加138.43%。

盈利能力大幅提升，在手訂單充裕。2023H1 公司電子工藝裝備、電子元器件的營收分別為73.49 億元和10.59 億元。產品層面，公司覆蓋刻蝕、薄膜、立式爐、外延、清洗、臥式爐等多個領域，無論是邏輯還是存儲，國內多家晶圓廠均與公司保持著密切的合作關系，公司2023年以來相繼推出12 英寸晶邊刻蝕機、12 英寸去膠機等新產品，同時各類標桿產品相繼達到銷量里程碑。

9月18日，北方華創(chuàng)在投資者平臺透露，公司前期已經發(fā)布了首臺國產12英寸CCP晶邊干法刻蝕設備研發(fā)成功的有關信息，目前已在客戶端實現(xiàn)量產，其優(yōu)秀的工藝均勻性、穩(wěn)定性贏得客戶高度評價。

Top2：中微公司：刻蝕設備國產替代領軍者，凈利潤同比增長114.4%

中微公司上半年實現(xiàn)營收25.27億元，同比增長28.13%。分產品來看，公司刻蝕設備在國內外的市占率不斷提高，實現(xiàn)收入17.22億元，同比增長約32.53%；MOCVD設備在藍綠光LED生產線上繼續(xù)保持絕對領先的地位，實現(xiàn)收入2.99億元，同比增長約24.11%。

中微公司董事長尹志堯表示，公司開發(fā)的刻蝕設備和MOCVD設備，已在性能和性價比上進入國際三強，部分產品在其細分領域全球領先。同時，LPCVD等多款新產品研發(fā)項目正在快速推進。在國際最先進的5納米芯片生產線及下一代更先進的生產線上，公司的CCP刻蝕設備實現(xiàn)了多次批量銷售，已有超過200臺反應臺在生產線合格運轉。

中微公司針對28nm及以下邏輯器件的一體化大馬士革刻蝕工藝開發(fā)的可調節(jié)電極間距的CCP刻蝕機PrimoSD-RIE已經進入客戶驗證階段。

Top3盛美上海：在手訂單總額68億，超過去年營收規(guī)模2倍

受益于國內半導體設備市場需求的不斷增加、盛美上海公司新產品訂單穩(wěn)步起量以及新客戶、新市場開拓取得的成效，2022年度公司營收、凈利潤持續(xù)保持高質量的快速增長。

盛美上海今年上半年營業(yè)收入實現(xiàn)16.10 億元，同比增長46.94%，公司實現(xiàn)歸屬凈利潤4.39億元，同比增長約八成。相比去年上半年同期歸屬凈利潤同比1.64倍增長，今年公司業(yè)績同期增速有所回落。

盛美上海從事清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備、前道涂膠顯影設備和等離子體增強化學氣相沉積設備等的開發(fā)、制造和銷售。截至2023年9月27日，公司在手訂單總金額為67.96億元，其中，已簽訂合同訂單總額65.26億元，同比增長約四成，已中標尚未簽訂合同訂單2.7億元，同比增長近16倍。

Top4 華海清科：CMP設備領域國產化領跑者，多品類并行發(fā)展

華海清科是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體設備供應商，公司在納米級拋光、納米精度膜厚在線檢測、納米顆粒超潔凈清洗、大數(shù)據(jù)分析及智能化控制等關鍵技術層面取得了有效突破和系統(tǒng)布局，開發(fā)出了Universal系列CMP設備、Versatile系列減薄設備、HSDS/HCDS系列供液系統(tǒng)、膜厚測量設備，初步實現(xiàn)了“裝備+服務”的平臺化戰(zhàn)略布局。

這家公司在2022年6月上市，上半年半導體裝備相關營收12.3億元，同比增長72%。在設備領域，2022年度，公司CMP設備在邏輯芯片、DRAM存儲芯片、3DNAND存儲芯片等領域的成熟制程均完成了90%以上CMP工藝類型和工藝數(shù)量的覆蓋度，部分關鍵CMP工藝類型成為工藝基準（Baseline）機臺。今年9月1日，華海清科首臺12英寸單片終端清洗機HSC-F3400機臺發(fā)往國內大硅片龍頭企業(yè)。HSC-F3400機臺是這家公司在濕法設備系列產品中推出的一項重要成果。

Top5 拓荊科技：營收和凈利潤同增長，SACVD和HDPCVD設備實現(xiàn)產業(yè)化

拓荊科技聚焦于半導體薄膜沉積設備，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜設備產品系列，該產品系列已廣泛應用于國內集成電路邏輯芯片、存儲芯片等制造產線。公司上半年收入10.04億元，同比增長91.83%；歸屬母公司凈利潤1.25億元，同比增長15.22%。受益于國內晶圓廠持續(xù)擴產，

報告期內，拓荊科技的PECVD設備實現(xiàn)銷售收入9.08億元，較上年同期增長94.35%；HDPCVD設備、應用于晶圓級三維集成領域的混合鍵合設備順利通過客戶端產業(yè)化驗證，實現(xiàn)了首臺的產業(yè)化應用，ALD設備、SACVD設備持續(xù)獲得客戶驗收，均實現(xiàn)銷售收入。

Top6長川科技：上半年營收和凈利潤下滑，數(shù)字SoC測試機開始放量

長川科技主營半導體測試設備，包括測試機、分選機、探針臺等，今年上半年半導體裝備相關營收7.6億元，同比下降36%。今年上半年，行業(yè)景氣度影響下游擴產節(jié)奏，公司傳統(tǒng)測試、分選機等業(yè)務營收同比承壓，同時客戶短期訂單節(jié)奏等也一定程度影響了數(shù)字SoC 測試機等的收入表現(xiàn)。公司上半年測試和分選機收入為2.5 億元和4.3億元，分別同比下滑48%和33%。

Top 7 芯源微：涂膠顯影龍頭，上半年業(yè)績大幅度提升

芯源微主營半導體晶圓制造中的濕制程設備，包括涂膠顯影、刻蝕、清洗設備等，1H'23半導體裝備相關營收7.0億元，同比增長38%。

上半年，芯源微浸沒式涂膠顯影機在客戶端導入進展良好，其中超高溫Barc 設備取得客戶重復性訂單；公司前道物理清洗機產品具備高產能、高顆粒去除能力、高性價比等優(yōu)勢，上半年需求旺盛，已成為國內邏輯、功率器件廠商主流機型。

Top 8 至純科技：凈利潤和營收同比正增長，多元化策略見效

至純科技主營業(yè)務包括高純工藝集成系統(tǒng)、半導體濕制程設備、光傳感及光器件等，1H'23半導體裝備相關業(yè)務營收4.4億元，同比增長17%。

在2023年上半年，至純科技獲得的新訂單總額高達32.66億元，年增38.28%，其中半導體行業(yè)占比73.65%。同時，公司也成功吸引了來自泛半導體和生物醫(yī)藥行業(yè)的訂單，證明其市場影響力和多元化策略開始見效。

Top 9 華峰測控：業(yè)績承壓，面向SoC領域推出新一代測試平臺

華峰測控主營業(yè)務為半導體自動化測試系統(tǒng)的研發(fā)、生產和銷售，產品主要用于模擬、數(shù)?；旌?、分立器件和功率模塊等集成電路的測試，今年上半年半導體裝備相關業(yè)務營收3.8億元，同比下降30%。受行業(yè)周期下行影響，華峰測控訂單下降，導致上半年營收、凈利潤下滑。但公司訂單環(huán)比逐步向好，大客戶批量訂單增加。

今年 6月，華峰測控推出了面向SoC領域的新一代測試平臺 STS8600，該機型擁有更多的測試道道數(shù)以及更高的測試頻事，進一步完善了公司的產品線，拓寬了公司產品的可測試范圍。

Top10 新益昌：LED固晶機龍頭，營收和凈利潤承壓

新益昌聚焦封裝用固晶機、電容老化測試設備，其在中國大陸LED固晶機領域有領先地位，新益昌在國內固晶機市場的占有率已經超過70%，客戶普及率也已超過9 成。

2023年上半年，新益昌實現(xiàn)營業(yè)收入5.39億元，較上年同期減少16.43%；實現(xiàn)歸母凈利潤4409.86萬元，較上年同期減少63.90%。伴隨下游擴產逐步回暖，公司預計下半年高毛利的Mini LED 固晶設備收入占比有望提升，盈利能力存優(yōu)化空間。