TCL華星光電獲芯片轉(zhuǎn)移裝置相關(guān)專利
近期，TCL華星光電技術(shù)有限公司獲得了一項名為“芯片轉(zhuǎn)移裝置和芯片轉(zhuǎn)移方法”的專利權(quán)，國字號編號為CN114447187B，生效日期為2024年5月7日。這項發(fā)明于2022年1月27日提交申請。
此項專利涉及一種新型的芯片轉(zhuǎn)移裝置及方法。其獨特之處在于，基板載臺由第一基板載臺與第二基板載臺組成，兩者均可移動。此外，轉(zhuǎn)移機構(gòu)包含至少兩個轉(zhuǎn)塔結(jié)構(gòu)，能夠根據(jù)不同基板選擇相應(yīng)的轉(zhuǎn)塔結(jié)構(gòu)進行芯片轉(zhuǎn)移。對于大型基板，還能通過拼接第一基板載臺與第二基板載臺來實現(xiàn)高效的芯片轉(zhuǎn)移。由于轉(zhuǎn)塔結(jié)構(gòu)上設(shè)置有多個固晶頭，這將大大提升芯片轉(zhuǎn)移速率，進而提高發(fā)光芯片的轉(zhuǎn)移效率。
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