在半導(dǎo)體行業(yè)的核心—晶圓制造中，材料的選擇至關(guān)重要。PEEK具有耐高溫、耐化學(xué)腐蝕、耐磨、尺寸穩(wěn)定性和抗靜電等優(yōu)異性能，在晶圓制造的各個(gè)階段發(fā)揮著重要作用。其中晶圓夾用于在制造中抓取和處理晶圓。注塑加工的PEEK晶圓夾的耐磨性和低排氣性能使其成為晶圓制造的理想工具，確保了晶圓表面的清潔和完整性。

PEEK晶圓夾——提升晶圓制造效率與良率

1.PEEK晶圓夾能夠在260℃的高溫環(huán)境下長(zhǎng)期使用，且保持高強(qiáng)度、尺寸穩(wěn)定和較小的線脹系數(shù)。因其耐滑動(dòng)磨損和微動(dòng)磨損性能優(yōu)異，在夾取晶圓、硅片時(shí)不會(huì)對(duì)表面產(chǎn)生劃痕或殘留物，從而確保了晶圓、硅片的表面潔凈度。

2.其出色的防靜電特性，表面電阻率可達(dá)10^5-10^10Ω，夾頭部分更是高達(dá)10^7-10^8Ω，有效防止了瞬間靜電放電對(duì)硅晶片的破壞，為晶片提供了全方位的保護(hù)。

注塑工藝——PEEK晶圓夾的加工關(guān)鍵

注塑成型是PEEK晶圓夾具制造的核心工藝，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和性能有著決定性的影響。

1.在注塑加工過程中，PEEK需要在360℃至400℃的高溫下熔化，通過精確控制注塑壓力和注射速度，確保材料能夠充分填充模具。

2.模具設(shè)計(jì)是重要環(huán)節(jié)，需要考慮PEEK的低熱膨脹系數(shù)和收縮率，以保證夾具在冷卻后的尺寸精度。

3.加工設(shè)備的精度和穩(wěn)定性也至關(guān)重要。先進(jìn)的注塑機(jī)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和調(diào)整溫度、壓力等參數(shù)，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性。

4.后處理環(huán)節(jié)包括熱處理以去除殘余應(yīng)力，以及表面處理以提升夾具的耐磨性和抗靜電性能。

通過注塑成型技術(shù)和精密的工藝控制，PEEK晶圓夾不僅能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)和高精度的制造，還能顯著降低生產(chǎn)成本，大幅提升生產(chǎn)效率。隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的持續(xù)進(jìn)步，注塑加工PEEK晶圓夾將繼續(xù)發(fā)揮其優(yōu)異之處，為行業(yè)提供更加高效、可靠的解決方案，推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。

瑞璐塑業(yè)專注于特種工程塑料零部件成型及其應(yīng)用開發(fā)，專注于工程塑料：PE、PPSU、PSU、PPS、PI、PEI等材料的注塑加工，集手板打樣、模具制作、精密注塑、成品裝配一站式解決方案。

審核編輯 黃宇