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ADXRS290用于穩(wěn)定應(yīng)用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術(shù)手冊(cè)

要長(zhǎng)高 ? 2025-05-07 11:35 ? 次閱讀

概述
ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動(dòng)(層內(nèi)雙軸)角速率傳感器陀螺儀),設(shè)計(jì)用于穩(wěn)定應(yīng)用。

ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能,靈敏度為200 LSB/°/s,其諧振磁盤傳感器結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)圍繞封裝側(cè)層內(nèi)軸垂直轉(zhuǎn)動(dòng)的角速率測(cè)量。 角速率數(shù)據(jù)為16位二進(jìn)制補(bǔ)碼格式,可通過(guò)SPI數(shù)字接口訪問(wèn)。 ADXRS290具有0.004°/s/√Hz低噪底特性,集成可編程高通和低通濾波器。

ADXRS290提供4.5 mm × 5.8 mm × 1.2 mm、18引腳空腔層壓封裝。
數(shù)據(jù)表:*附件:ADXRS290用于穩(wěn)定應(yīng)用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術(shù)手冊(cè).pdf

應(yīng)用

  • 光學(xué)圖像穩(wěn)定
  • 平臺(tái)穩(wěn)定
  • 佩戴式產(chǎn)品

特性

  • 俯仰和滾動(dòng)速率陀螺儀
  • 超低噪聲:0.004°/s/√Hz
  • 可在寬頻率范圍內(nèi)提供高振動(dòng)抑制特性
  • 節(jié)能待機(jī)模式
    待機(jī)模式下功耗為80 μA
    從待機(jī)模式啟動(dòng)時(shí)間短:<100 ms
  • 低延遲:<0.5 ms(最寬帶寬設(shè)置下的30 Hz輸入)
  • 串行外設(shè)接口(SPI)數(shù)字輸出
  • 可編程高通和低通濾波器
  • 抗加速度能力:2000 g
  • 工作電壓:2.7 V至5.0 V
  • 工作溫度:-25°C至+85°C
  • 4.5 mm × 5.8 mm × 1.2 mm空腔層壓封裝

框圖
image.png

引腳配置描述
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典型性能特征
image.png

工作原理

ADXRS290旨在感測(cè)x軸和y軸的滾動(dòng)(roll)和俯仰(pitch)角速率。ADXRS290基于振動(dòng)速率陀螺儀原理工作。圖23展示了四個(gè)耦合多晶硅傳感結(jié)構(gòu)中其中一個(gè)的簡(jiǎn)化示意圖。每個(gè)傳感結(jié)構(gòu)包含一個(gè)通過(guò)靜電驅(qū)動(dòng)至諧振狀態(tài)的諧振盤,該諧振盤在受到角速率作用時(shí),會(huì)產(chǎn)生必要的旋轉(zhuǎn)速度分量,以生成科里奧利力轉(zhuǎn)矩。image.png

當(dāng)傳感結(jié)構(gòu)受到角速率作用時(shí),產(chǎn)生的科里奧利力轉(zhuǎn)矩會(huì)使每個(gè)圓盤發(fā)生傾斜運(yùn)動(dòng),這種運(yùn)動(dòng)由圓盤下方的極板進(jìn)行檢測(cè)。圓盤和極板構(gòu)成一個(gè)電容式拾取結(jié)構(gòu),用于感測(cè)角速率。產(chǎn)生的信號(hào)會(huì)傳輸至增益和同步解調(diào)級(jí),以產(chǎn)生電角速率輸出。該傳感器的設(shè)計(jì)能夠抑制線性和角加速度,因?yàn)橥獠恐亓铀俣龋╣ - force)會(huì)以共模信號(hào)的形式出現(xiàn),并通過(guò)ADXRS290的全差分架構(gòu)予以去除。

諧振器在工作時(shí)通常需要31V(典型值)的電壓。由于大多數(shù)應(yīng)用僅提供5V電壓,所以芯片內(nèi)置了一個(gè)開(kāi)關(guān)穩(wěn)壓器。為使電荷泵電路正常工作,需要一個(gè)額定電壓為50V的外部1μF電容。

經(jīng)過(guò)同步解調(diào)和模數(shù)轉(zhuǎn)換后,速率信號(hào)會(huì)通過(guò)一個(gè)單極點(diǎn)帶通濾波器進(jìn)行濾波。該濾波器的高通和低通極點(diǎn)可通過(guò)數(shù)字接口進(jìn)行編程設(shè)置。

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